JP2012011758A - 分断装置 - Google Patents
分断装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012011758A JP2012011758A JP2010153353A JP2010153353A JP2012011758A JP 2012011758 A JP2012011758 A JP 2012011758A JP 2010153353 A JP2010153353 A JP 2010153353A JP 2010153353 A JP2010153353 A JP 2010153353A JP 2012011758 A JP2012011758 A JP 2012011758A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scribe line
- brittle material
- substrate
- material substrate
- pressing member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 表面にスクライブラインSが形成された脆性材料基板1を載置するテーブル10と、スクライブラインSの上方でその左右近傍に跨がるように配置され、脆性材料基板1の表面を押さえる左右一対の上部ブレイクバー4と、スクライブラインSの直下に配置され、脆性材料基板1をスクライブラインSの直下から突き上げて脆性材料基板1を分断するための下部ブレイクバー5と、スクライブラインSの直上に配置され、脆性材料基板1が分断された際に分断端縁部分を弾力的に押圧して上方への跳ね上がりを阻止する弾性押さえ部材6とから構成する。
【選択図】 図5
Description
スクライブ予定ラインLに沿って走査機構22によりレーザ光学系23のビームスポットを走査し、続いて直後を追従するように冷却機構24のノズル24aから冷媒を噴射することにより、基板内の熱応力分布を利用してスクライブラインSを形成する。このスクライブ形成工程の後に、スクライブラインを形成した面とは反対側の面からスクライブラインに相対する部分をブレイクバーやローラ等で押圧することにより脆性材料基板を撓ませ、曲げモーメントによりスクライブラインに沿ってブレイクする。
図11は板状のブレイクバーを用いた一般的な3点曲げ方式によるブレイク方式を示すものである。基板21の分断すべきスクライブラインSを跨いでその左右位置に一対の上部ブレイクバー25,25を配置し、スクライブラインSを設けた面とは反対側の面でスクライブラインSの直下に下部ブレイクバー26を配置し、上下ブレイクバーの何れか一方を基板21に押圧することによって、曲げモーメントを生じさせて分断している。
このブレイクバーによる3点曲げ方式で分断する方法は、例えば特許文献2でも開示されている。なお、ブレイクバーに代えて、ローラを用いた押圧による3点曲げ方式で分断する手段も特許文献1の図3に開示されている。
そこで本発明は、3点曲げ方式によって脆性材料基板を分断するものでありながら、分断の際に欠けや破損のないきれいな分断面を得ることのできる分断装置を提供することを目的とする。
これにより、分断の瞬間に加わる大きな衝撃によって分断端縁角部に欠けや破損が生じることを防止してきれいな分断面を得ることができるとともに、破片屑の飛散による不良品の発生を抑制することができるといった優れた効果がある。
本発明において、弾性押さえ部材の先端を、幅をもたせた平面に形成して、スクライブラインの上面近傍を面接触で接するようにするのがよい。
これにより、分断の際に分断端縁を余裕をもって弾接し、上方への跳ね上がりを確実になくすことができる。
また、スプリングを省略して弾性押さえ部材全体、若しくは、少なくともその一部を、弾力性を有する材料で形成するようにしてもよい。
これにより、構成の簡略化とコストの低減化を図ることができる。
ブレイク機構Bは、分断すべきLTCC基板1の上方に配置された左右一対の上部ブレイクバー4と、LTCC基板1の下方に配置された下部ブレイクバー5と、LTCC基板1の上方で上部ブレイクバー4の間の中心に配置された弾性押さえ部材6とから構成される。
上部ブレイクバー4、下部ブレイクバー5並びに弾性押さえ部材6は何れもX方向に延びる帯状の板材で形成され、先端部を細くしてある。またその材質は金属等の硬質材で作られている。
なお、上記下部ブレイクバー5の昇降、並びに上部ブレイクバー4と弾性押さえ部材6を保持するホルダー部材7の昇降は、駆動機構(図示外)により行われる。
この分断の際、スクライブラインSの上面部分は弾性押さえ部材6によって弾力的に押さえられているので、LTCC基板1の分断端縁が上方に弾かれることがなく、分断の瞬間に分断端縁角部に欠けや破損が生じることを未然に防止することができる。また、分断の際、LTCC基板1はテーブル10によって下面が受けられているので、上部ブレイクバー4とテーブル10の上面との間でLTCC基板1を安定よく保持することができ、正確にスクライブラインに沿って分断することができる。
その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
B ブレイク機構
S スクライブライン
1 LTCC基板(脆性材料基板)
2 粘着フイルム
3 ダイシングフレーム
4 上部ブレイクバー
5 下部ブレイクバー
6 弾性押さえ部材
6a 弾性押さえ部材の先端部
6b 弾性押さえ部材の先端面
7 ホルダー部材
8 スプリング
9 開口部
10 テーブル
Claims (4)
- 表面にスクライブラインが形成された脆性材料基板を載置するテーブルと、
スクライブラインの上方でその左右近傍に跨がるように配置され、脆性材料基板の表面を押さえる左右一対の上部ブレイクバーと、
スクライブラインの直下に配置され、脆性材料基板をスクライブラインの直下から突き上げて脆性材料基板を分断するための下部ブレイクバーと、
スクライブラインの直上に配置され、脆性材料基板が分断された際に分断端縁部分を弾力的に押圧して上方への跳ね上がりを阻止する弾性押さえ部材とからなる分断装置。 - 弾性押さえ部材の先端を、幅をもたせた平面に形成して、スクライブラインの上面近傍を面接触で接するようにした請求項1に記載の分断装置。
- 前記弾性押さえ部材は硬質材で形成され、スプリングにより脆性材料基板に向かって付勢されている構成とした請求項1に記載の分断装置。
- 前記弾性押さえ部材は、少なくともその一部が弾力性を有する材料で形成されている請求項1に記載の分断装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153353A JP5161928B2 (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 分断装置 |
TW100120842A TWI529790B (zh) | 2010-07-05 | 2011-06-15 | Breaking device |
KR1020110065622A KR101278056B1 (ko) | 2010-07-05 | 2011-07-01 | 분단 장치 |
CN201110192261.4A CN102329075B (zh) | 2010-07-05 | 2011-07-04 | 分断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153353A JP5161928B2 (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 分断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012011758A true JP2012011758A (ja) | 2012-01-19 |
JP5161928B2 JP5161928B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=45598744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010153353A Expired - Fee Related JP5161928B2 (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 分断装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5161928B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04228438A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-08-18 | Peter Lisec | ガラスシート切断用方法および装置 |
JPH06171967A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-21 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板断裁装置 |
JP2001235734A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-31 | Shirai Tekkosho:Kk | 液晶パネルの折割装置 |
DE10205320A1 (de) * | 2002-02-08 | 2003-08-21 | Hegla Fahrzeug Und Maschb Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Brechen von Glasplatten |
JP2006289625A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Sony Corp | 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法 |
US20070158381A1 (en) * | 2003-11-06 | 2007-07-12 | Peter Lisec | Method and device for breaking scored glass sheets |
JP2010089361A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料プライヤ |
-
2010
- 2010-07-05 JP JP2010153353A patent/JP5161928B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04228438A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-08-18 | Peter Lisec | ガラスシート切断用方法および装置 |
JPH06171967A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-21 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板断裁装置 |
JP2001235734A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-31 | Shirai Tekkosho:Kk | 液晶パネルの折割装置 |
DE10205320A1 (de) * | 2002-02-08 | 2003-08-21 | Hegla Fahrzeug Und Maschb Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Brechen von Glasplatten |
US20070158381A1 (en) * | 2003-11-06 | 2007-07-12 | Peter Lisec | Method and device for breaking scored glass sheets |
JP2006289625A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Sony Corp | 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法 |
JP2010089361A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料プライヤ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5161928B2 (ja) | 2013-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5216040B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法 | |
KR101278056B1 (ko) | 분단 장치 | |
JP6039363B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 | |
JP4909657B2 (ja) | サファイア基板の加工方法 | |
CN102300688B (zh) | 基板分断装置 | |
JP5824365B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク方法 | |
CN102097310B (zh) | 光器件晶片的加工方法 | |
JP5210409B2 (ja) | ブレイク装置 | |
KR101369211B1 (ko) | 레이저 할단 장치 | |
JP2009525601A (ja) | ウェハ個片切断用支持体 | |
KR102379114B1 (ko) | 디바이스 칩의 제조 방법 | |
JP5161926B2 (ja) | 分断装置 | |
JP2011060985A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP5796774B2 (ja) | 脆性板材の割断方法と割断装置 | |
JP5161925B2 (ja) | 分断装置 | |
JP5161927B2 (ja) | 分断装置 | |
JP5161928B2 (ja) | 分断装置 | |
JP7340838B2 (ja) | ウエハーのブレイク方法並びにブレイク装置 | |
KR102351927B1 (ko) | 브레이크 장치 및 브레이크 장치에 있어서의 취성 재료 기판의 분단 방법 | |
JP2007227703A (ja) | 基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器 | |
JP5913483B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 | |
JPH11138523A (ja) | スクライブ装置及び基板のスクライブ方法 | |
JP2011162395A (ja) | 基板加工装置 | |
JP2004026545A (ja) | 基板の割断加工装置 | |
KR20140070337A (ko) | 취성 재료 기판의 스크라이브용 지그, 스크라이브 방법 및 분단 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |