JP2007227703A - 基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板を機能部に分割するとともに分割された機能部を容易にピックアップすることができる基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器を提案する。
【解決手段】切断予定ラインDx,Dyの少なくとも一部に切断を補助する切断補助改質層Rcが形成されたマザー基板10を機能部としての液晶表示パネル20ごとに分割する基板分割方法であって、切断補助改質層Rcを起点として、マザー基板10の両面に渡って亀裂を成長させて、液晶表示パネル20ごとに分割するとともに、隣接する液晶表示パネル20同士を引き離すように、マザー基板10をマザー基板10の面に対して曲面としての円柱面81aを有するローラ81に巻き付ける巻付工程を有する。
【選択図】図5
【解決手段】切断予定ラインDx,Dyの少なくとも一部に切断を補助する切断補助改質層Rcが形成されたマザー基板10を機能部としての液晶表示パネル20ごとに分割する基板分割方法であって、切断補助改質層Rcを起点として、マザー基板10の両面に渡って亀裂を成長させて、液晶表示パネル20ごとに分割するとともに、隣接する液晶表示パネル20同士を引き離すように、マザー基板10をマザー基板10の面に対して曲面としての円柱面81aを有するローラ81に巻き付ける巻付工程を有する。
【選択図】図5
Description
本発明は、基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器に関する。
従来、基板の分割方法は、例えば、特許文献1に示すように、拡張シートに貼り付けられた基板としてのシリコンウエハに対してレーザ光を照射してシリコンウエハの内部に改質層を形成する。そして、改質層を起点にしてシリコンウエハに割れを発生させた後に、拡張シートを外方側にエキスパンドする。エキスパンドすることにより、シリコンウエハは、シリコンウエハに発生した割れに沿って個片の半導体チップに分割され、個片に分割された半導体チップを個々に拡張シートから剥ぎ取るようにピックアップしている。
しかしながら、上記の分割方法では、半導体チップは、拡張シート上において個片に分割されるため、個片に分割された半導体チップに対する拡張シートの接着力が強く容易にピックアップできないという問題があった。また、拡張シートの接着力を低減させるために拡張シートに対して紫外線光照射や加熱等を行う方法を採用することもできるが、さらに設備の増加や加工工数が増えるとともに製品に対する品質劣化が懸念される。
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、基板を機能部に分割するとともに分割された機能部を容易にピックアップすることができる基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器を提案することにある。
上記課題を解決するために、本発明は、基板の切断予定ラインの少なくとも一部に基板の切断を補助する切断補助溝または切断補助改質層が形成された基板を機能部ごとに分割する基板分割方法であって、切断補助溝または切断補助改質層を起点として、基板の両面に渡って亀裂を成長させて、基板を機能部ごとに分割するとともに、隣接する機能部同士を引き離すように、基板を基板の面に対して曲面を有する曲面体に巻き付ける巻付工程を有すること要旨とする。
本発明に係る基板分割方法によれば、基板の一部に切断補助溝または切断補助改質層が形成された基板を曲面体に巻き付けると、基板の面に対して曲面体の曲面が接することにより、切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中して、切断補助溝または切断補助改質層を起点として、亀裂が基板の両面に達する。これにより、基板が機能部ごとに分割される。さらに、分割された機能部は、隣接する機能部同士が引き離されるので、機能部を容易にピックアップすることができる。
本発明の基板分割方法では、巻付工程の前に、曲面体の曲面に対向する基板の面に、エキスパンドシートを貼り付けるシート貼付工程を有し、巻付工程では、基板が貼り付けられたエキスパンドシートを巻き付けてもよい。
これによれば、基板が接着シートに接着されるので、機能部ごとに分割された状態となったときに、機能部の落下を防止することができる。
本発明の基板分割方法の巻付工程では、曲面体に基板を吸着させながら巻き付けてもよい。
これによれば、基板面を吸着させながら曲面体に巻き付けることにより、機能部等の落下を防止することができるとともに、安定した基板の分割作業を行うことができる。
本発明の基板分割方法の巻付工程では、曲面体の中心軸を回転させながら基板を巻き付けてもよい。
これによれば、基板は回転する曲面体に巻き付けられるので、作業効率を向上させることができる。
本発明の基板分割方法の巻付工程では、基板と曲面体とが接する接線方向に、エキスパンドシートを引っ張りながら巻き付けてもよい。
これによれば、接線方向の引っ張り力に伴って、接線方向に対して垂直な方向に形成された切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中するので、さらに容易に基板を分割させることができる。
本発明の基板分割方法では、巻付工程によって分割させた後、機能部を個別に取り出すピックアップ工程を有してもよい。
これによれば、巻付工程と同時期に分割された機能部をピックアップするので、作業効率を向上させることができる。
本発明は、基板の切断予定ラインの少なくとも一部に基板の切断を補助する切断補助溝または切断補助改質層が形成された基板を機能部ごとに分割する基板分割装置であって、基板を巻き付けることにより、切断補助溝または切断補助改質層を起点として、基板の両面に渡って亀裂を成長させ、基板が機能部ごとに分割されるとともに、隣接する機能部同士を引き離すように、基板の面に対して曲面を有する曲面体を備えたことを要旨とする。
本発明に係る基板分割装置によれば、基板の一部に切断補助溝または切断補助改質層が形成された基板を曲面体に巻き付けると、基板の面に対して曲面体の曲面が接することにより、切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中して、亀裂が基板の両面に達する。これにより、基板が機能部に分割される。さらに、分割された機能部は、隣接する機能部同士が引き離されるので、機能部を容易にピックアップすることができる。
本発明の基板分割装置の曲面体は、円柱面を有するローラであってもよい。
これによれば、基板の面とローラの曲面が線接触することにより、切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中して、亀裂が基板の両面に達する。これにより、基板が機能部に分割される。さらに、分割された機能部は、ローラの円柱面に倣って隣接する機能部同士が引き離されるので、基板から分割された機能部を容易にピックアップすることができる。
本発明の基板分割装置のローラには、円柱面と基板の面が接する接線方向に、基板を引っ張るための引張り手段を備えてもよい。
これによれば、接線方向の引っ張り力に伴って、接線方向に対して垂直な方向に形成された切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中するので、さらに容易に基板を分割させることができる。
本発明の基板分割装置の曲面体は、全体にわたって基板側に凸平面を有してもよい。
これによれば、基板の面と全体にわたって凸平面を有する曲面体の曲面が略点接触することにより、切断補助溝または切断補助改質層に応力が集中して、亀裂が基板の両面に達する。これにより、基板が機能部に分割される。さらに、分割された機能部は、凸平面に倣って隣接する機能部同士が引き離されるので、基板から分割された機能部を容易にピックアップすることができる。
本発明の基板分割装置では、曲面体の中心軸を回転させる回転手段を備えてもよい。
これによれば、曲面体を回転させながら基板を巻き付けることができるので、作業効率を向上させることができる。
本発明の基板分割装置の曲面体には、基板を吸着させる基板吸着手段を備えてもよい。
これによれば、基板面を吸着させながら曲面体に巻き付けることにより、機能部等の落下を防止することができるとともに、安定した基板の分割作業を行うことができる。
本発明の基板分割装置では、分割された機能部をピックアップするピックアップ手段を備えてもよい。
これによれば、分割された機能部がピックアップされるので、作業効率を向上させることができる。
本発明の電気光学装置は、上記の基板分割方法または基板分割装置によって分割されたことを要旨とする。
これによれば、基板分割作業の簡略化に伴い、安価で品質の良い電気光学装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを要旨とする。
これによれば、安価で品質の良い電子機器を提供することができる。
以下、本発明の実施形態1〜3について図面を用いて説明する。なお、本発明の実施形態では、基板としてのマザー基板に形成された機能部としての液晶表示パネルに分割する基板分割方法と、基板分割装置を例に説明する。
[第1実施形態]
(マザー基板の構成)
まず、マザー基板の構成について説明する。図1は、マザー基板の構成を示し、図1(a)は平面図を示し、同図(b)は同図(a)のA−A線で切った概略断面図を示す。
(マザー基板の構成)
まず、マザー基板の構成について説明する。図1は、マザー基板の構成を示し、図1(a)は平面図を示し、同図(b)は同図(a)のA−A線で切った概略断面図を示す。
図1において、マザー基板10は、図1(a),(b)に示すように、ウエハ形状であり、対向基板12が個々にパターン形成されたパターン基板11と接着され、複数の機能部としての液晶表示パネル20で構成されている。1つの液晶表示パネル20は、液晶表示パネル20の区画形成領域となる切断予定ラインDx,Dyに沿って切断され、マザー基板10から分割される。
(機能部の構成)
次に、機能部の構成について説明する。図2は、機能部及び電気光学装置としての液晶表示パネルの構成を示し、図2(a)は平面図を示し、同図(b)は同図(a)のB−B線で切った概略断面図を示す。
次に、機能部の構成について説明する。図2は、機能部及び電気光学装置としての液晶表示パネルの構成を示し、図2(a)は平面図を示し、同図(b)は同図(a)のB−B線で切った概略断面図を示す。
図2において、液晶表示パネル20は、図2(a)および(b)に示すように、TFT(Thin Film Transistor)素子23を有するパターン基板11と、対向電極26を有する対向基板12と、シール材24によって接着された両基板11,12の隙間に充填された液晶25とを備えている。パターン基板11は対向基板12より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。
パターン基板11は、厚みおよそ1.2mmの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極(図示省略)と、3端子のうちの一つが画素電極に接続されたTFT素子23が形成されている。TFT素子23の残りの2端子は、画素電極を囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線(図示省略)と走査線(図示省略)とに接続されている。データ線は、Y軸方向に引き出されて端子部11aにおいてデータ線駆動回路部29に接続されている。走査線は、X軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された2つの走査線駆動回路部33に個々に接続されている。各データ線駆動回路部29および走査線駆動回路部33の入力側配線は、端子部11aに沿って配列した実装端子31にそれぞれ接続されている。端子部11aとは反対側の額縁領域には、2つの走査線駆動回路部33を繋ぐ配線32が設けられている。
対向基板12は、厚みおよそ1.2〜1.1mmの透明なガラス基板を用いており、共通電極としての対向電極26が設けられている。対向電極26は、対向基板12の四隅に設けられた上下導通部34を介してパターン基板11側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部11aに設けられた実装端子31に接続されている。
液晶25に面するパターン基板11の表面および対向基板12の表面には、それぞれ配向膜27,28が形成されている。
さらに、パターン基板11と対向基板12のそれぞれに防塵ガラス35,36が接着され、パネルユニット30が構成される。パネルユニット30では、光源からの光が入射する側の防塵ガラス35と対向基板12には、入射光が表示領域以外に入射しないようにそれぞれ額縁状に遮光膜35a,12aが形成されている。なお、これらの遮光膜35a,12aは、いずれも遮光性の金属材料等から構成されている。
液晶表示パネル20は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子31に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部29および走査線駆動回路部33に入力されることにより、TFT素子23が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極26との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
(レーザ照射装置の構成)
次に、マザー基板10に形成された液晶表示パネル20の区画形成領域にレーザ光を照射して、当該レーザ光が照射された部分にマザー基板10の切断を補助する切断補助改質層を形成するためのレーザ照射装置の構成について説明する。
次に、マザー基板10に形成された液晶表示パネル20の区画形成領域にレーザ光を照射して、当該レーザ光が照射された部分にマザー基板10の切断を補助する切断補助改質層を形成するためのレーザ照射装置の構成について説明する。
図3は、レーザ照射装置の構成を示す模式図である。図3において、レーザ照射装置40は、パルスレーザ光を出射するレーザ光源41と、出射されたパルスレーザ光を反射するダイクロイックミラー42と、反射したパルスレーザ光を集光する集光手段としての集光レンズ43とを備えている。また、マザー基板10を載置するステージ47と、ステージ47を集光レンズ43に対してX,Y軸方向に移動させる移動手段としてのX軸スライド部48およびY軸スライド部51とを備えている。また、ステージ47に載置されたマザー基板10に対して集光レンズ43のZ軸方向の位置を変えて、パルスレーザ光の集光点の位置を調整する調整手段としてのZ軸スライド機構54を備えている。さらに、ダイクロイックミラー42を挟んで集光レンズ43と反対側に位置する撮像装置55を備えている。
レーザ照射装置40は、上記各構成を制御するメインコンピュータ60を備えており、メインコンピュータ60には、CPUや各種メモリーの他に撮像装置55が撮像した画像情報を処理する画像処理部61を有している。撮像装置55は、同軸落射型光源とCCD(固体撮像素子)が組み込まれたものである。同軸落射型光源から出射した可視光は、集光レンズ43を透過して焦点を結ぶ。
メインコンピュータ60には、レーザ加工の際に用いられる各種加工条件のデータを入力する入力部63とレーザ加工時の各種情報を表示する表示部64が接続されている。また、レーザ光源41の出力やパルス幅、パルス周期を制御するレーザ制御部66と、Z軸スライド機構54を駆動して集光レンズ43のZ軸方向の位置を制御するレンズ制御部67とが接続されている。さらに、X軸スライド部48とY軸スライド部51をそれぞれレール68,69に沿って移動させるサーボモータ(図示省略)を駆動するステージ制御部70が接続されている。
集光レンズ43をZ軸方向に移動させるZ軸スライド機構54には、移動距離を検出可能な位置センサが内蔵されており、レンズ制御部67は、この位置センサの出力を検出して集光レンズ43のZ軸方向の位置を制御可能となっている。したがって、撮像装置55の同軸落射型光源から出射した可視光の焦点がマザー基板10の表面と合うように集光レンズ43をZ軸方向に移動させれば、マザー基板10の厚みを計測することが可能である。
レーザ光源41は、例えばチタンサファイアを固体光源とするレーザ光をフェムト秒のパルス幅で出射するいわゆるフェムト秒レーザである。この場合、パルスレーザ光は、波長分散特性を有しており、中心波長が800nmであり、その半値幅はおよそ20nmである。またパルス幅はおよそ300fs(フェムト秒)、パルス周期は1kHz、出力はおよそ700mWである。
集光レンズ43は、この場合、倍率が100倍、開口数(NA)が0.8、WD(Working Distance)が3mmの対物レンズである。集光レンズ43はZ軸スライド機構54から延びたスライドアーム54aによって支持されている。
なお、本実施形態では、ステージ47は、Y軸スライド部51に支持されているが、X軸スライド部48とY軸スライド部51との位置関係を逆転させてX軸スライド部48に支持される形態としてもよい。また、ステージ47をθテーブル(図示せず)を介してY軸スライド部51に支持することが好ましい。これによれば、マザー基板10を光軸41aに対してより垂直な状態とすることが可能である。
(基板分割装置の構成)
次に、基板分割装置の構成について説明する。図4は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す模式図である。
次に、基板分割装置の構成について説明する。図4は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す模式図である。
図4において、基板分割装置80は、曲面体としてのローラ81と、回転手段としてのモータ82と、ローラ81の外側周縁部に設けられた引張り手段としてのフック84等で構成されている。
ローラ81は、円柱面81aとその母線に交わって互いに平行な2つの平面81bとによって囲まれた円柱形状を有している。円柱面81aは、マザー基板10の面に対して曲面となっている。ローラ81は、同図に示すように、ローラ81の円柱面81aにマザー基板10を巻き付けるため、円柱面81aの円周がマザー基板10の直径と同等或いはそれよりも大きくなるように設定されている。ローラ81には、ステンレスやゴム等の材質を用いることができる。なお、ローラ81は、曲面として円柱面81aを有していればよく、例えば、円筒形状を有していてもよい。
モータ82は、ローラ81の中心軸83に接続されており、モータ82の駆動により、ローラ81が回転するように構成されている。
ローラ81の円柱面81aの端部には、引張り手段としての複数のフック84が備えられている。フック84は、ローラ81の長手方向に延在しており、同図に示すように、マザー基板10に貼り付けられたエキスパンドシート19をフック84に引っ掛けることにより、エキスパンドシート19がローラ81の長手方向に引っ張られ、これに伴い、エキスパンドシート19に貼り付けられたマザー基板10もローラ81の長手方向に引っ張られるようになっている。フック84の設置数及び大きさは、ローラ81の円周、エキスパンドシート19の大きさ等を考慮して適宜設定することができる。
(基板分割方法)
次に、基板分割方法について説明する。図5は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
次に、基板分割方法について説明する。図5は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
図5(a)のシート貼付工程では、マザー基板10のパターン基板11の面をエキスパンドシート19に貼り付ける。なお、貼り付けるマザー基板10は、予めレーザ照射装置40を用いて、マザー基板10の液晶表示パネル20の切断予定ラインDx,Dyに切断補助改質層Rcが形成されている。本実施形態では、マザー基板10のパターン基板11の面にエキスパンドシート19を貼り付けたが、対向基板12の面に貼り付けてもよい。また、シート貼付工程は、レーザ光を照射する工程で行ってもよい。
図5(b)の巻付工程では、モータ82の駆動により回転するローラ81の円柱面81aに、マザー基板10が貼り付けられたエキスパンドシート19を巻き付ける。巻き付ける際、エキスパンドシート19の2端辺部をフック84に引っ掛けながら巻き付ける。また、ローラ81の円柱面81aとエキスパンドシート19との間に空気が入り込まないように、エキスパンドシート19の巻き付け開始位置P1を含む端部をローラ81に固定した後、エキスパンドシート19を徐々に巻き付けて巻き付け終了位置P2の含む端部まで巻き付けていくようにする。
巻付工程において、同図(c)に示すように、マザー基板10の切断補助改質層Rcを起点にマザー基板10の深さ方向に進行して、液晶表示パネル20ごとに分割されるとともに、分割された隣接する液晶表示パネル20同士が引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成される。また、分割された液晶表示パネル20は、エキスパンドシート19の接着力によって、接着維持されるが、円柱面81aの接線方向に維持されるので、液晶表示パネル20の周縁部分は、エキスパンドシート19の接着力が低下して、剥がれ易くなる。
巻付工程で分割された液晶表示パネル20のパターン基板11と対向基板12のそれぞれに、防塵ガラス35,36を接着する。接着には、透明な2液混合型シリコーン接着剤等を用い、貼り付け後は、およそ80℃に加温した乾燥炉内に一定時間放置して接着剤を硬化させる。これによりパネルユニット30が形成される。
(電気光学装置の構成)
電気光学装置としての液晶表示パネル20の構成については、上記に説明した内容と同じため説明を省略する(図2参照)。
電気光学装置としての液晶表示パネル20の構成については、上記に説明した内容と同じため説明を省略する(図2参照)。
(電子機器の構成)
次に、電子機器の構成について説明する。図6は、電子機器としてのプロジェクタの構成を示す斜視図である。
次に、電子機器の構成について説明する。図6は、電子機器としてのプロジェクタの構成を示す斜視図である。
図6において、プロジェクタ200を構成する光学系に液晶表示パネル20が搭載されている。
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
(1)マザー基板10をローラ81の円柱面81aに巻きつけると、マザー基板10の面がエキスパンドシート19を介して円柱面81aに線接触することにより、マザー基板10に形成された切断補助改質層Rcに応力が集中して、切断補助改質層Rcを起点として亀裂がマザー基板10の両面に達する。これにより、マザー基板10が液晶表示パネル20に分割される。分割された液晶表示パネル20は、円柱面81aに倣って、隣接した液晶表示パネル20同士が引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成されるとともに液晶表示パネル20の端辺部はエキスパンドシート19との接着力が弱まって、ローラ81の円柱面81aに対して接線方向に液晶表示パネル20が保持されるので、容易にピックアップすることができる。
(2)エキスパンドシート19をフック84に引っ掛けながらローラ81に巻きつけることにより、エキスパンドシート19がマザー基板10と円柱面81aが接する接線方向に引っ張られる。これに伴って、当該接線方向に対して垂直な方向に形成された切断補助改質層Rcにも応力が集中するので、容易に亀裂を成長させやすくすることができる。
[第2実施形態]
次に、第2実施形態について説明する。なお、基板の構成、機能部としての液晶表示パネルの構成、電気光学装置の構成および電子機器の構成については、第1実施形態と同じなので説明を省略する。
次に、第2実施形態について説明する。なお、基板の構成、機能部としての液晶表示パネルの構成、電気光学装置の構成および電子機器の構成については、第1実施形態と同じなので説明を省略する。
(基板分割装置の構成)
まず、基板分割装置の構成について説明する。図7は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す斜視図である。
まず、基板分割装置の構成について説明する。図7は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す斜視図である。
図7において、基板分割装置100は、床上に設置された複数の支持脚101と、支持脚101の上側に設置された定盤102を備え、マザー基板10を載置可能なステージ110と、曲面体としてのローラ120と、分割された液晶表示パネル20をピックアップするピックアップ手段としてのピックアップ装置140と、ローラ120とピックアップ装置140にそれぞれエアーチューブ130a,130bを介して接続されるエアー吸引・供給装置130と、マザー基板10とローラ120を相対移動させるための第1移動装置108と、分割された液晶表示パネル20をピックアップするピックアップ装置140と、ピックアップ装置140を移動させる第2移動装置109と、これらの装置等を統括的に制御する制御部150等を備えている。
ステージ110は、マザー基板10を載置するための略平坦を有する載置面を有しており、当該載置面に弾力性のあるシート、例えば、ゴムシート119が敷かれている。そして、ステージ110をX軸方向に移動させる第1移動装置108が備えられている。第1移動装置108は、ステージ110をX軸方向への移動をガイドする第1X軸ガイド111と、第1X軸ガイド111の側方に第1X軸ガイド111と平行に設置された第1X軸リニアモータ112を備えている。図示しないが、ステージ110から第1X軸リニアモータ112側へ張り出している突起部が、第1X軸リニアモータ112と係合して駆動力を得ることにより、ステージ110が第1X軸ガイド111に沿って任意の位置に移動することが可能となる。
ステージ110の上方には、ローラ120が設けられ、ローラ120に接続された中心軸122を介して、定盤102に固定された2本の支持柱121で支持されている。ローラ120は、円柱面120aとその母線に交わって互いに平行な2つの平面120bとによって囲まれた円柱形状を有しており、円柱面120aは、マザー基板10の面に対して曲面となっている。ローラ120は、同図に示すように、ローラ120の円柱面120aにマザー基板10を巻き付けるため、円柱面120aの円周がマザー基板10の直径と同等或いはそれよりも大きくなるように設定されている。ローラ120には、ステンレスやゴム等の材質を用いることができる。また、円柱面120aには、複数の吸引孔123が設けられ、エアーチューブ130aを介してエアー吸引・供給装置130に接続されている。吸引孔123は、吸着する液晶表示パネル20の大きさ、数量を考慮して適宜設定することができる。
ローラ120の高さは、ローラ120の円柱面120aが、X軸方向に移動されるステージ110に載置されたマザー基板10の表面に接したときに、マザー基板10を圧迫し、マザー基板10の直下のゴムシートが沈み込む程度に適宜調整される。
ステージ110の上方であって、ローラ120と対向する位置にピックアップ装置140が備えられている。ピックアップ装置140は、分割された液晶表示パネル20をピックアップするための複数の吸引孔144が備えられ、エアーチューブ130bを介してエアー吸引・供給装置130に接続されている。吸引孔144は、吸着する液晶表示パネル20の大きさ、数量を考慮して適宜設定することができる。そして、ピックアップ装置140をX軸方向に移動させるための第2移動装置109が、第1移動装置108の側方に配置されている。第2移動装置109は、ピックアップ装置140をX軸方向への移動をガイドする第2X軸ガイド141と、第2X軸ガイド141の側方に第2X軸ガイド141と平行に設置された第2X軸リニアモータ142を備えている。図示しないが、ピックアップ装置140から第2X軸リニアモータ142側へ張り出している突起部が、第2X軸リニアモータ142と係合して駆動力を得ることにより、ピックアップ装置140が第2X軸ガイド141に沿って任意の位置に移動することが可能となる。また、定盤102の外周部であって、ピックアップ装置140の下方には、ピックアップした液晶表示パネル20を収納するための収納容器148が配置されている。
エアー吸引・供給装置130は、エアーを吸引するポンプを有するエアー吸引装置とエアーを供給するエアー供給装置で構成されている。エアー吸引・供給装置130は、エアーチューブ130a,130bを介して、それぞれ、ローラ120、ピックアップ装置140に接続されている。
次に、以上述べた装置等を制御する制御部150の構成について説明する。図8は、制御部150の構成を示すブロック図である。制御部150は、指令部160と駆動部170とを備え、指令部160は、CPU162,記憶手段としてのROM163,RAM164および入出力インターフェース161からなり、CPU162が入出力インターフェース161を介して入力される各種信号を、ROM163、RAM164のデータに基づき処理し、入出力インターフェース161を介して駆動部170へ制御信号を出力する。
駆動部170は、モータドライバ171、ポンプドライバ172から構成されている。モータドライバ171は、指令部160の制御信号により、第1X軸リニアモータ112、第2X軸リニアモータ142を制御し、それぞれの移動を制御する。ポンプドライバ172は、エアー吸引・供給装置130を制御し、マザー基板10または液晶表示パネル20に対する吸着/開放を行う。
(基板分割方法)
次に、基板分割方法について説明する。図9は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
次に、基板分割方法について説明する。図9は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
図9(a)の基板載置工程では、ステージ110のゴムシート119の上にマザー基板10を載置する。マザー基板10は、レーザ照射装置40を用いて、マザー基板10の液晶表示パネル20の区画領域に切断補助改質層Rcが形成されたものである。本実施形態では、マザー基板10の対向基板12側がゴムシート119に面するように載置したが、パターン基板11側の面を載置面としてもよい。
図9(b)の巻付工程では、マザー基板10をローラ120に巻き付ける。まず、ステージ110をローラ120側に移動させる。ローラ120は、マザー基板10と接すると中心軸122を中心にして、吸引孔123部分でマザー基板10の液晶表示パネル20を吸着しながら回転する。マザー基板10の面は、ローラ120の円柱面120aによって圧迫されるので、マザー基板10の最も弱い個所、すなわち切断補助改質層Rcを起点にして亀裂がマザー基板10の深さ方向に進行して液晶表示パネル20ごとに分割される。また、隣接する液晶表示パネル20同士が引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成される。
図9(c)のピックアップ工程では、分割された液晶表示パネル20をピックアップする。ピックアップ装置140がローラ120側に移動して、分割され、ローラ120に吸着された液晶表示パネル20を吸引孔144部分でピックアップする。その後、ピックアップ装置140を配置された収納容器148まで移動させ、吸引孔144にエアー供給することにより液晶表示パネル20を開放して、液晶表示パネル20を収納容器148に収納する。
その後、液晶表示パネル20のパターン基板11と対向基板12のそれぞれに、防塵ガラス35,36を接着する。接着には、透明な2液混合型シリコーン接着剤等を用い、貼り付け後は、およそ80℃に加温した乾燥炉内に一定時間放置して接着剤を硬化させる。これによりパネルユニット30が形成される。
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
(1)マザー基板10をローラ120の円柱面120aに巻きつけると、マザー基板10の面が円柱面120aに線接触することにより、マザー基板10に形成された切断補助改質層Rcに応力が集中して、切断補助改質層Rcを起点として亀裂がマザー基板10の両面に達する。これにより、マザー基板10が液晶表示パネル20に分割される。隣接する液晶表示パネル20同士は、円柱面120aに倣って引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成されるので、容易にピックアップすることができる。
(2)ステージ110に載置されたマザー基板10は、第1移動装置108の移動によってローラ120に巻き付けられるので、安定した巻き付けを行うことができる。
(3)マザー基板10の液晶表示パネル20は、ローラ120に吸着されながら分割させるので、エキスパンドテープ等の補助材をマザー基板10に貼り付ける工程を省き、加工工程を簡略化させることができる。
[第3実施形態]
次に、第3実施形態について説明する。なお、基板の構成、機能部としての液晶表示パネルの構成、電気光学装置の構成および電子機器の構成については、第1実施形態と同じなので説明を省略する。
次に、第3実施形態について説明する。なお、基板の構成、機能部としての液晶表示パネルの構成、電気光学装置の構成および電子機器の構成については、第1実施形態と同じなので説明を省略する。
(基板分割装置の構成)
まず、基板分割装置の構成について説明する。図10は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す模式図である。
まず、基板分割装置の構成について説明する。図10は、本実施形態における基板分割装置の構成を示す模式図である。
図10において、基板分割装置180は、曲面体としてのローラ181と、回転手段としてのモータ182等で構成されている。
ローラ181は、楕円面181aによって囲まれた立体形状を有している。楕円面181aは、エキスパンドシート19に貼り付けられたマザー基板10の面に対して曲面となっている。ローラ181は、同図に示すように、ローラ181の楕円面181aにマザー基板10を巻き付けるため、楕円面181aの外周がマザー基板10の直径と同等或いはそれよりも大きくなるように設定されている。ローラ181には、ステンレスやゴム等の材質を用いることができる。なお、ローラ181は、曲面として楕円面181aを有していればよく、例えば、中空形状を有していてもよい。
モータ182は、ローラ181の中心軸183に接続されており、ローラ181は、モータ182を駆動により回転するように構成されている。
(基板分割方法)
次に、基板分割方法について説明する。図11は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
次に、基板分割方法について説明する。図11は、本実施形態における基板分割方法を示す工程図である。
図11(a)のシート貼付工程では、レーザ照射装置40を用いることにより、マザー基板10の液晶表示パネル20の区画領域に亀裂としての切断補助改質層Rcが形成されたマザー基板10をエキスパンドシート19に貼り付ける。なお、本実施形態では、マザー基板10のパターン基板11の面にエキスパンドシート19を貼り付けたが、対向基板12の面に貼り付けてもよい。また、シート貼付工程は、レーザ光を照射する前の工程で行ってもよい。
図11(b)の巻付工程では、モータ182の駆動により回転するローラ181の楕円面181aに、マザー基板10が貼り付けられたエキスパンドシート19を巻き付ける。また、ローラ181の楕円面181aとエキスパンドシート19との間に空気が入り込まないように、エキスパンドシート19の巻き付け開始位置P1を含む端部をローラ181に固定した後、巻き付け終了位置P2の含む端部までエキスパンドシート19を徐々に巻き付けていくようにする。
巻付工程において、同図(c)に示すように、マザー基板10の切断補助改質層Rcを起点にマザー基板10の深さ方向に亀裂が進行して、液晶表示パネル20ごとに分割される。また、分割された隣接する液晶表示パネル20同士は、引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成される。
その後、液晶表示パネル20のパターン基板11と対向基板12のそれぞれに、防塵ガラス35,36を接着する。接着には、透明な2液混合型シリコーン接着剤等を用い、貼り付け後は、およそ80℃に加温した乾燥炉内に一定時間放置して接着剤を硬化させる。これによりパネルユニット30が形成される。
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
(1)マザー基板10をローラ181の楕円面181aに巻きつけると、マザー基板10の面がエキスパンドシート19を介して楕円面181aとほぼ点接触することにより、マザー基板10の液晶表示パネル20の区画領域に形成された切断補助改質層Rcに応力が集中して、切断補助改質層Rcを起点として亀裂がマザー基板10の両面に達するので、容易にマザー基板10が液晶表示パネル20に分割される。また、楕円面181aに倣って、隣接する液晶表示パネル20同士は引き離され、液晶表示パネル20間には空間領域Gが形成されるとともに液晶表示パネル20の端辺部はエキスパンドシート19との接着力が弱まって、ローラ181の楕円面181aに対して接線方向に液晶表示パネル20が保持されるので、容易にピックアップすることができる。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
(変形例1)第1実施形態において、引張り手段としてフック84を設けたが、これに限定されない。例えば、フック84に替えてクリップ等を用いていもよい。このようにしても、エキスパンドシート19を引っ張ることができる。
(変形例2)第1実施形態において、基板分割装置80にフック84を設けたが、この構成に限定されず、フック84を省略してもよい。この場合において、巻付工程で、マザー基板10に1方向に亀裂を形成させた後、マザー基板10を90°回転させ、さらに、ローラ81に巻き付ける。このようにすれば、液晶表示パネル20の4辺方向に亀裂が形成され、個々に分割することができる。
(変形例3)第1および第3実施形態において、ローラ81,181を回転させるためのモータ82,182を備えたが、この構成に限定されず、モータ82,182を省略してもよい。このようにしても、マザー基板10を巻き付け、液晶表示パネル20に分割することができる。
(変形例4)第1〜第3実施形態において、ローラ81,120,181は、それぞれ1枚のマザー基板10を巻き付ける程度の大きさにしたが、これに限定されず、2枚以上のマザー基板10が巻き付けられる程度の大きさとしてもよい。このようにすれば、複数毎のマザー基板10を同時期に分割することができる。
(変形例5)第1および第3実施形態において、マザー基板10を曲面を有するローラ81,181に巻きつけたが、これに限定されない。例えば、凸形状の曲面を有するかまぼこ状の曲面体に巻き付けてもよい。このようにしても、マザー基板10を液晶表示パネル20に分割することができる。
(変形例6)第2実施形態において、ピックアップ装置140は、分割された液晶表示パネル20を随時、第2移動装置109により移動させたが、これに限定されない。例えば、ピックアップ装置をローラ型としてもよい。このようにすれば、随時移動させることなく液晶表示パネル20をピックアップすることができる。
(変形例7)第1〜第3実施形態において、レーザ照射装置40を用いて切断補助改質層が形成したマザー基板10を用いたが、これに限定されない。例えば、ダイシングやスクライブ刃によって切断補助溝が形成された基板を用いることもできる。
(変形例8)第1〜第3実施形態において、液晶表示パネル20を用いて説明したがマザー基板10、これに限定されない。例えば、半導体ウエハであってもよい。この場合において、半導体ウエハを機能部としての半導体チップに分割することができる。
10…基板、19…エキスパンドシート、20…機能部としての液晶表示パネル、30…パネルユニット、80,100,180…基板分割装置、81,120,181…ローラ、81a…曲面としての円柱面、82,182…モータ、83…中心軸、84…引張り手段としてのフック、108…第1移動装置、109…第2移動装置、110…ステージ、111…第1X軸ガイド、112…第1X軸リニアモータ、119…ゴムシート、120a…曲面としての円柱面、123…吸引孔、130…エアー吸引・供給装置、140…ピックアップ装置、141…第2X軸ガイド、142…第2X軸リニアモータ、144…吸引孔、148…収納容器、150…制御部、181a…曲面としての楕円面、200…プロジェクタ、Dx,Dy…切断予定ライン、G…空間領域。
Claims (15)
- 基板の切断予定ラインの少なくとも一部に前記基板の切断を補助する切断補助溝または切断補助改質層が形成された前記基板を機能部ごとに分割する基板分割方法であって、
前記切断補助溝または切断補助改質層を起点として、前記基板の両面に渡って亀裂を成長させて、前記基板を前記機能部ごとに分割するとともに、隣接する前記機能部同士を引き離すように、前記基板を前記基板の面に対して曲面を有する曲面体に巻き付ける巻付工程を有することを特徴とする基板分割方法。 - 請求項1に記載の基板分割方法において、
前記巻付工程の前に、前記曲面体の前記曲面に対向する前記基板の面に、エキスパンドシートを貼り付けるシート貼付工程を有し、
前記巻付工程では、前記基板が貼り付けられた前記エキスパンドシートを巻き付けることを特徴とする基板分割方法。 - 請求項1または2に記載の基板分割方法において、
前記巻付工程では、前記曲面体に前記基板を吸着させながら巻き付けることを特徴とする基板分割方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板分割方法において、
前記巻付工程では、前記曲面体の中心軸を回転させながら前記基板を巻き付けることを特徴とする基板分割方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板分割方法において、
前記巻付工程では、前記エキスパンドシートを引っ張りながら巻き付けることを特徴とする基板分割方法。 - 請求項1〜5に記載の基板分割方法において、
前記巻付工程によって分割させた後、前記機能部を個別に取り出すピックアップ工程を有することを特徴とする基板分割方法。 - 基板の切断予定ラインの少なくとも一部に前記基板の切断を補助する切断補助溝または切断補助改質層が形成された前記基板を機能部ごとに分割する基板分割装置であって、
前記基板を巻き付けることにより、前記切断補助溝または切断補助改質層を起点として、前記基板の両面に渡って亀裂を成長させ、前記基板が前記機能部ごとに分割されるとともに、隣接する前記機能部同士を引き離すように、前記基板の面に対して曲面を有する曲面体を備えたことを特徴とする基板分割装置。 - 請求項7に記載の基板分割装置において、
前記曲面体は、円柱面を有するローラであることを特徴とする基板分割装置。 - 請求項8に記載の基板分割装置において、
前記ローラの前記円柱面の端部に、前記基板を引っ張るための引張り手段を備えたことを特徴とする基板分割装置。 - 請求項7に記載の基板分割装置において、
前記曲面体は、全体にわたって前記基板側に凸平面を有することを特徴とする基板分割装置。 - 請求項7〜10のいずれか一項に記載の基板分割装置において、
前記曲面体の中心軸を回転させる回転手段を備えたことを特徴とする基板分割装置。 - 請求項7〜11のいずれか一項に記載の基板分割装置において、
前記曲面体には、前記基板を吸着させる基板吸着手段を備えたことを特徴とする基板分割装置。 - 請求項7〜12のいずれか一項に記載の基板分割装置において、
分割された前記機能部をピックアップするピックアップ手段を備えたことを特徴とする基板分割装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載の基板分割方法または基板分割装置によって分割されたことを特徴とする前記機能部としての電気光学装置。
- 請求項14に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
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JP2006047886A JP2007227703A (ja) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | 基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器 |
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JP2006047886A JP2007227703A (ja) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | 基板分割方法、基板分割装置、電気光学装置、電子機器 |
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---|---|---|---|---|
JP2012129473A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Sekisui Chem Co Ltd | ダイシング−ダイボンディングテープ |
JP2014078606A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法 |
CN105308507A (zh) * | 2013-06-14 | 2016-02-03 | 株式会社尼康 | 基板处理装置、器件制造方法以及曝光方法 |
CN108655561A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-10-16 | 合肥泰沃达智能装备有限公司 | 一种曲面加工用结构图案加工镭射机台 |
-
2006
- 2006-02-24 JP JP2006047886A patent/JP2007227703A/ja not_active Withdrawn
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