JP2011527883A - 円筒状の磁気浮上ステージ - Google Patents
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Abstract
また、上記コイルの配列に熱が発生することを解消するために、上記コイルの配列が組み立てられた固定子に冷却フィンで接触し、上記固定子の内部に形成された冷却管路を含む冷媒循環ループを含む円筒状の磁気浮上ステージ用の冷却装置を提供する。
【選択図】図1
Description
11 第1円筒状の基板ホルダー
12 第2円筒状の基板ホルダー
13 第1結合部
14 第2結合部
21 第1永久磁石の配列
21‐a 永久磁石の配列A
21‐b 永久磁石の配列B
21‐c 永久磁石の配列C
21‐d 永久磁石の配列D
22 第1コイルの配列
23 第1可動子
25 冷却管路
31 第2永久磁石の配列
31‐a 永久磁石の配列E
31‐b 永久磁石の配列F
31‐c 永久磁石の配列G
31‐d 永久磁石の配列H
32 第2コイルの配列
33 第2可動子
41 第1固定子
51 第2固定子
Claims (29)
- 円筒状の基板と、
上記円筒状の基板の両端に連結された第1円筒状の基板ホルダー及び第2円筒状の基板ホルダーと、
それぞれ第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列が付着された第1可動子及び第2可動子と、
上記第1可動子と上記第1円筒状の基板ホルダーとが連動し、また、上記第2可動子と第2円筒状の基板ホルダーとが連動するように、上記第1及び第2可動子を上記第1及び第2円筒状の基板ホルダーに連結する第1結合部及び第2結合部と、
それぞれ上記第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列の下部に配置された第1固定子及び第2固定子であって、それぞれ上記第1及び第2永久磁石と前記第1及び第2固定子との間に差し挟まれた第1コイルの配列と第2コイルの配列を有する前記第1固定子及び前記第2固定子と、
を含んでなる円筒状の磁気浮上ステージ。 - 上記第1円筒状の基板ホルダーと上記第2円筒状の基板ホルダーは、上記円筒状の基板の両端に結合または分離できることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列は、それぞれ第1可動子と第2可動子の円筒状の表面に沿って付着されることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列に任意の外力が印加されたとき、この外力が第1可動子と第2可動子にそれぞれ伝達され、第1可動子と第2可動子に伝達された外力は、それぞれ第1結合部と第2結合部に伝達され、この伝達された外力は、さらに第1円筒状の基板ホルダーと第2円筒状の基板ホルダーを経て上記円筒状の基板に伝達されることにより、上記円筒状の基板の微細移送及び回転ができることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1コイルの配列と上記第2コイルの配列にそれぞれ電流が印加されたとき、上記第1コイルの配列と上記第2コイルの配列の表面からそれぞれ磁場が発生し、上記発生した磁場と、第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列それぞれの磁場とが相互作用して磁気力が発生し、上記発生する磁気力が制御され第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列に印加されることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記発生する磁気力が制御されることにより、上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列が非接触式に浮上し、上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列を微細移送及び回転させることができることを特徴とする、請求項5に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第1コイルの配列の磁場の相互作用によって発生する磁気力により、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸に対して回転方向の回転力を発生させることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第2永久磁石の配列と上記第2コイルの配列の磁場の相互作用によって発生する磁気力により、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸方向の移送力を発生させることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列それぞれの磁場と、上記第1コイルの配列と上記第2コイルの配列それぞれの磁場との相互作用により、上記永久磁石の配列と上記コイルの配列との間に上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸に対して回転方向の回転力と、上記円筒状の基板の軸方向の移送力とを発生させることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列と上記第1コイルの配列と上記第2コイルの配列それぞれの相互間に発生した浮上力と回転力と移送力とを用いて、上記円筒状の基板を非接触方式で微細浮上と回転と移送ができることを特徴とする、請求項9に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列は、4つの異なる磁化方向を有するそれぞれの棒状の永久磁石片A、永久磁石片B、永久磁石片C、永久磁石片Dからなるハルバッハ配列(Halbach Array)を形成する円筒形状に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 円筒形状に形成された第1永久磁石の配列は、上記第1可動子の円筒状の表面に沿って付着されることを特徴とする、請求項11に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1コイルの配列は、磁場の発生面が平面状である複数の第1コイル片をアーチ状に配置して形成されることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第1コイルの配列それぞれから発生する磁場の相互作用により、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸に対して回転方向の回転力とを発生させ、さらに上記発生した浮上力及び回転力を用いて上記円筒状の基板を微細浮上及び回転させることができることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第2永久磁石の配列は、4つの異なる磁化方向を有するアーチ状の永久磁石片E、永久磁石片F、永久磁石片G、永久磁石片Hからなるハルバッハ配列を形成する円筒形状に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 円筒形状に形成された第2永久磁石の配列は、上記第2可動子の円筒状の表面に沿って付着されることを特徴とする、請求項15に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第2コイルの配列は、磁場の発生面がアーチ状に窪んだ複数の第2コイル片をアーチ状に配置して形成されることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第2永久磁石の配列と上記第2コイルの配列それぞれから発生する磁場の相互作用により、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸方向の移送力とを発生させ、さらに上記発生した移送力を用いて上記円筒状の基板を微細浮上及び移送させることができることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 第1永久磁石の配列と第2永久磁石の配列を形成する永久磁石片A、永久磁石片B、永久磁石片C、永久磁石片D、永久磁石片E、永久磁石片F、永久磁石片G、永久磁石片Hは、混合して組み立てられて2次元のハルバッハ配列で円筒形状に形成され、上記第1永久磁石の配列と上記第2永久磁石の配列とが同一の構造を有するように構成されることを特徴とする、請求項1に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列は、上記第1可動子の円筒状の表面に付着され、上記第2永久磁石の配列は、上記第2可動子の円筒状の表面に付着されることを特徴とする、請求項19に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1コイルの配列と上記第2コイルの配列とは、第1コイル片の6個を一組にし、また、第2コイル片の6個を一組にしており、各組のコイル片が、アーチ形状になるように2次元パターンに混合配置されていることを特徴とする、請求項19に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第1永久磁石の配列と上記第1コイルの配列それぞれの磁場により発生する磁気力は、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸に対して回転方向の回転力と、上記円筒状の基板の軸方向の移送力とを同時に発生させることを特徴とする、請求項19ないし請求項21のうちのいずれか1項に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 上記第2永久磁石の配列と上記第2コイルの配列それぞれの磁場により発生する磁気力は、上記円筒状の基板の軸に対して垂直方向の浮上力と、上記円筒状の基板の軸に対して回転方向の回転力と、上記円筒状の基板の軸方向の移送力とを同時に発生させることを特徴とする、請求項19ないし請求項21のうちのいずれか1項に記載の円筒状の磁気浮上ステージ。
- 第1固定子と、
上記第1固定子に配置された熱交換のための冷却フィンと、
上記第1固定子の内部に形成された冷却管路と冷媒引入管と冷媒排出管とを含む冷媒循環ループと、を備えた、円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。 - 第2固定子と、
上記第2固定子に配置される熱交換のための冷却フィンと、
上記第2固定子の内部に形成された冷却管路と冷媒引入管と冷媒排出管とを含む冷媒循環ループと、を備えた、円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。 - 上記第1固定子または上記第2固定子に複数の冷却フィンが一定間隔で配置されており、上記冷却フィン間には、第1コイルの配列または第2コイルの配列が挿入されて結合し、また、上記第1コイルの配列または上記第2コイルの配列の側面が上記冷却フィンの側面と接触するように、上記第1コイルの配列または上記第2コイルの配列が、上記冷却フィンに接着されていることを特徴とする、請求項24または請求項25に記載の円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。
- 上記第1コイルの配列または上記第2コイルの配列に電流が印加されたとき、電流の強度に応じて上記第1コイルの配列または上記第2コイルの配列から熱が発生し、上記発生した熱は、上記冷却フィンを介して第1固定子または第2固定子に伝導されることを特徴とする、請求項24または請求項25に記載の円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。
- 上記第1固定子または上記第2固定子の内部に形成された冷却管路を通して冷媒が流れ、第1固定子に伝導された熱を放熱することにより、第1固定子または第2固定子の温度上昇と第1コイルの配列または第2コイルの配列の温度上昇を抑制することを特徴とする、請求項27に記載の円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。
- 上記第1固定子または上記第2固定子の動きが発生した場合、上記冷媒引入管及び上記冷媒排出管と上記第1固定子または上記第2固定子との間の直角度及び平行度を維持するために、固定型曲げ管が第1固定子に結合され、上記冷媒循環ループで上記冷媒引入管及び上記冷媒排出管を固定することを特徴とする、請求項24または請求項25に記載の円筒状の磁気浮上ステージ用冷却装置。
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