JPH04308125A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH04308125A JPH04308125A JP7531991A JP7531991A JPH04308125A JP H04308125 A JPH04308125 A JP H04308125A JP 7531991 A JP7531991 A JP 7531991A JP 7531991 A JP7531991 A JP 7531991A JP H04308125 A JPH04308125 A JP H04308125A
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- electromagnet
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- protrusion
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005339 levitation Methods 0.000 abstract 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空のチャンバ内に有
するウエハ等を搬送する搬送装置に関し、特に装置を小
型化するものである。
するウエハ等を搬送する搬送装置に関し、特に装置を小
型化するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は図８に示す如
く柱状の浮上体１がベース２上に配設されており、浮上
体１はその端面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は真
空のチャンバ内に設置されている。
く柱状の浮上体１がベース２上に配設されており、浮上
体１はその端面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は真
空のチャンバ内に設置されている。
【０００３】また、浮上体１の長手方向における３箇所
には磁気軸受部４〜６が設けられており、各磁気軸受部
４〜６はベース２と一体に形成されているとともに、複
数の電磁石７及びセンサ部８を有し、電磁石７及びセン
サ部８は浮上体１の外周円弧面に対向するように配設さ
れている。
には磁気軸受部４〜６が設けられており、各磁気軸受部
４〜６はベース２と一体に形成されているとともに、複
数の電磁石７及びセンサ部８を有し、電磁石７及びセン
サ部８は浮上体１の外周円弧面に対向するように配設さ
れている。
【０００４】すなわち、このような各磁気軸受部４〜６
は、センサ部８が浮上体１の浮上位置を検出し、この検
出値に基づいて各電磁石７が励磁され、このようにして
生じた磁力が浮上体１の外周円弧面に作用して、浮上体
１を非接触支持している。
は、センサ部８が浮上体１の浮上位置を検出し、この検
出値に基づいて各電磁石７が励磁され、このようにして
生じた磁力が浮上体１の外周円弧面に作用して、浮上体
１を非接触支持している。
【０００５】ところで、このような支持だけでは、外乱
等により浮上体１が軸芯Ｏ１ 回りに回転することは避
けられないので、この装置には浮上体１に関して回転防
止用の電磁石（図示省略）が設けられている。
等により浮上体１が軸芯Ｏ１ 回りに回転することは避
けられないので、この装置には浮上体１に関して回転防
止用の電磁石（図示省略）が設けられている。
【０００６】また、上記浮上体１はリニアモータ９を駆
動することにより矢印イの方向に移動しかつ停止するが
、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送する
条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部４〜６のうち
少なくとも２つで支持する必要がある。したがって、こ
のような装置では図９に示す如く最大の搬送距離Ｌ１
まで搬送棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
動することにより矢印イの方向に移動しかつ停止するが
、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送する
条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部４〜６のうち
少なくとも２つで支持する必要がある。したがって、こ
のような装置では図９に示す如く最大の搬送距離Ｌ１
まで搬送棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く浮上体１に
関する回転防止用の電磁石が設けられているため、その
分、装置が大型化することは避けられない。
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く浮上体１に
関する回転防止用の電磁石が設けられているため、その
分、装置が大型化することは避けられない。
【０００８】また、このような装置は真空のチャンバ内
に設置されているが、真空のチャンバ内では真空引の時
間が装置の容積に比例するので、装置が大きい分、真空
引に時間がかかる等の問題点がある。
に設置されているが、真空のチャンバ内では真空引の時
間が装置の容積に比例するので、装置が大きい分、真空
引に時間がかかる等の問題点がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは小型の
搬送装置を提供することにあり、上記目的を達成するた
めに請求項１に記載の発明は、ベース上に位置する柱状
の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有するとともに、
上記浮上体の長手方向における複数箇所にはその浮上体
を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受部が配設
された搬送装置において、上記浮上体の外周面に突出部
を設けるとともに、この突出部を上記電磁石のコアに対
向させたことを特徴とする。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは小型の
搬送装置を提供することにあり、上記目的を達成するた
めに請求項１に記載の発明は、ベース上に位置する柱状
の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有するとともに、
上記浮上体の長手方向における複数箇所にはその浮上体
を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受部が配設
された搬送装置において、上記浮上体の外周面に突出部
を設けるとともに、この突出部を上記電磁石のコアに対
向させたことを特徴とする。
【００１０】請求項２に記載の発明は、ベース上に位置
する柱状の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有すると
ともに、上記浮上体の長手方向における複数箇所にはそ
の浮上体を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受
部が配設された搬送装置において、上記電磁石のコア及
びコイルをベース表面と平行に設置したことを特徴とす
る。
する柱状の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有すると
ともに、上記浮上体の長手方向における複数箇所にはそ
の浮上体を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受
部が配設された搬送装置において、上記電磁石のコア及
びコイルをベース表面と平行に設置したことを特徴とす
る。
【００１１】請求項３に記載の発明は、浮上体の外周面
に突出部を設けるとともに、この突出部に向けてコアの
一部を屈曲形成したことを特徴とする。
に突出部を設けるとともに、この突出部に向けてコアの
一部を屈曲形成したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】請求項１の発明によれば、突出部に電磁石の磁
力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調
芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止される
ので、回転防止用の電磁石等を省略できる。
力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調
芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止される
ので、回転防止用の電磁石等を省略できる。
【００１３】請求項２の発明にあっては、各電磁石が互
いに近接し合うので、磁気軸受部の高さが低くなりかつ
磁気軸受部が小型になる。
いに近接し合うので、磁気軸受部の高さが低くなりかつ
磁気軸受部が小型になる。
【００１４】請求項２の発明によれば、上記と同様に磁
気軸受部が小型になり、しかも回転防止用の電磁石等を
省略できる。
気軸受部が小型になり、しかも回転防止用の電磁石等を
省略できる。
【００１５】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて、図１ないし図７を用いて詳細に説明する。
ついて、図１ないし図７を用いて詳細に説明する。
【００１６】なお、従来と同一部材には同一符号を付す
。
。
【００１７】この搬送装置は図１に示す如く柱状の浮上
体１がベース２上に配設されており、浮上体１はその端
面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は図２に示すよう
な真空のチャンバ１０内に設置されている。
体１がベース２上に配設されており、浮上体１はその端
面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は図２に示すよう
な真空のチャンバ１０内に設置されている。
【００１８】また、上記浮上体１の長手方向における複
数箇所には磁気軸受部１１〜１３が設けられている一方
、上記ベース２には図３に示す如く磁気軸受部１２に向
かって透穴１４が穿設されており、このような透穴１４
に挿入されるネジ１５によって、磁気軸受部１２はベー
ス２上に着脱可能に取り付けられている。
数箇所には磁気軸受部１１〜１３が設けられている一方
、上記ベース２には図３に示す如く磁気軸受部１２に向
かって透穴１４が穿設されており、このような透穴１４
に挿入されるネジ１５によって、磁気軸受部１２はベー
ス２上に着脱可能に取り付けられている。
【００１９】なお、他の磁気軸受部１１，１３も上記磁
気軸受部１２と同様にベース２上に着脱可能に取り付け
られている。
気軸受部１２と同様にベース２上に着脱可能に取り付け
られている。
【００２０】ところで、上記のような各磁気軸受部１１
〜１３は４つの電磁石１６〜１９をそれぞれ有するもの
で、各電磁石１６〜１９は浮上体２の外周面に対向する
ように設けられており、このうち２つの電磁石１６，１
７のコア１６ａ，１７ａ及びコイル１６ｂ，１７ｂは、
軸線Ｖ上にて浮上体１を介して互いに向かい合うように
設置されている。他の電磁石１８，１９のコア１８ａ，
１９ａ及びコイル１８ｂ，１９ｂは、軸線Ｗ上にて浮上
体１を介して互いに向かい合うように設置されている。
〜１３は４つの電磁石１６〜１９をそれぞれ有するもの
で、各電磁石１６〜１９は浮上体２の外周面に対向する
ように設けられており、このうち２つの電磁石１６，１
７のコア１６ａ，１７ａ及びコイル１６ｂ，１７ｂは、
軸線Ｖ上にて浮上体１を介して互いに向かい合うように
設置されている。他の電磁石１８，１９のコア１８ａ，
１９ａ及びコイル１８ｂ，１９ｂは、軸線Ｗ上にて浮上
体１を介して互いに向かい合うように設置されている。
【００２１】ここで、軸線Ｖはベース２の表面に対して
４５度傾くように、軸線Ｗはベース２の表面に対してー
４５度傾くように設けられている。
４５度傾くように、軸線Ｗはベース２の表面に対してー
４５度傾くように設けられている。
【００２２】また、上記各磁気軸受部１１〜１３には図
４に示す如くセンサ部２０が設けられており、センサ部
２０は軸線Ｖ上における浮上体１の浮上位置を検出する
ように構成されている。なお、上記各磁気軸受部１１〜
１３には上記センサ部２０の他に図示しないセンサ部を
有し、このセンンサ部は軸線Ｗ上における浮上体１の浮
上位置を検出するように構成されている。
４に示す如くセンサ部２０が設けられており、センサ部
２０は軸線Ｖ上における浮上体１の浮上位置を検出する
ように構成されている。なお、上記各磁気軸受部１１〜
１３には上記センサ部２０の他に図示しないセンサ部を
有し、このセンンサ部は軸線Ｗ上における浮上体１の浮
上位置を検出するように構成されている。
【００２３】一方、浮上体１の外周面には４つの突出部
２２〜２５が一体に設けられており、これらの突出部２
２〜２５は、上記電磁石１６〜１９の各コア１６ａ〜１
９ａに対向するように、かつ浮上体１の長手方向に亘っ
て形成されている。
２２〜２５が一体に設けられており、これらの突出部２
２〜２５は、上記電磁石１６〜１９の各コア１６ａ〜１
９ａに対向するように、かつ浮上体１の長手方向に亘っ
て形成されている。
【００２４】ところで、上記のような２つの磁気軸受部
１１，１２間には駆動モータユニット２６が配設されて
おり（図１参照）、駆動モータユニット２６は図５に示
す如く非接触駆動モータとしてリニアモータ２７を備え
、リニアモータ２７は浮上体１の外周面に対向するよう
に設けられている。この一方、浮上体１には図示しない
モータ２次導体が配設されており、そのモータ２次導体
は上記リニアモータ２７に対向するように設置されてい
る。
１１，１２間には駆動モータユニット２６が配設されて
おり（図１参照）、駆動モータユニット２６は図５に示
す如く非接触駆動モータとしてリニアモータ２７を備え
、リニアモータ２７は浮上体１の外周面に対向するよう
に設けられている。この一方、浮上体１には図示しない
モータ２次導体が配設されており、そのモータ２次導体
は上記リニアモータ２７に対向するように設置されてい
る。
【００２５】なお、この駆動モータユニット２６も上記
磁気軸受部１１〜１３と同様にベース２上に着脱可能に
取り付けられている。
磁気軸受部１１〜１３と同様にベース２上に着脱可能に
取り付けられている。
【００２６】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について、図１ないし図６を用いて説明する。
作について、図１ないし図６を用いて説明する。
【００２７】この搬送装置によれば、各磁気軸受部１１
〜１３を起動すると（図１及び図２参照）、センサ部２
０が浮上体１の浮上位置を検出し（図４参照）、この検
出値に基づいて図３に示す如く電磁石１６〜１９が励磁
され、このようにして生じた磁力が浮上体１の突出部２
２〜２５に集中的に作用する。これにより、浮上体１は
所定の位置に非接触支持されるとともに、いわゆる電磁
気的調芯性により軸心Ｏ１ 回りの回転運動が拘束され
る。
〜１３を起動すると（図１及び図２参照）、センサ部２
０が浮上体１の浮上位置を検出し（図４参照）、この検
出値に基づいて図３に示す如く電磁石１６〜１９が励磁
され、このようにして生じた磁力が浮上体１の突出部２
２〜２５に集中的に作用する。これにより、浮上体１は
所定の位置に非接触支持されるとともに、いわゆる電磁
気的調芯性により軸心Ｏ１ 回りの回転運動が拘束され
る。
【００２８】すなわち、このような装置では、例えば外
乱によって浮上体１を軸心Ｏ１ 回りに回転させる力が
働いても、その浮上体１を元の位置へ戻そうとする力が
即座に働き、その結果、浮上体１の回転が防止される。
乱によって浮上体１を軸心Ｏ１ 回りに回転させる力が
働いても、その浮上体１を元の位置へ戻そうとする力が
即座に働き、その結果、浮上体１の回転が防止される。
【００２９】また、上記の如く支持された浮上体１はリ
ニアモータ２７を駆動することにより（図５参照）、図
６（ａ）に示す如く矢印イの方向に移動しかつ停止する
が、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送す
る条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部１１〜１３
のうち少なくとも２つで支持する必要がある。したがっ
て、このような装置では最大の搬送距離Ｌ２ まで搬送
棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
ニアモータ２７を駆動することにより（図５参照）、図
６（ａ）に示す如く矢印イの方向に移動しかつ停止する
が、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送す
る条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部１１〜１３
のうち少なくとも２つで支持する必要がある。したがっ
て、このような装置では最大の搬送距離Ｌ２ まで搬送
棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
【００３０】ところで、この装置にあっては、図６（ａ
）において各磁気軸受部１１〜１３ならびにリニアモー
タ２７をベース２から取り外し、これらを図６（ｂ）に
示すような他のベース２８へ取り付けるとともに、他の
浮上体２９を用意すれば、上記のような最大の搬送距離
Ｌ２ を搬送距離Ｌ３ まで延長できる。
）において各磁気軸受部１１〜１３ならびにリニアモー
タ２７をベース２から取り外し、これらを図６（ｂ）に
示すような他のベース２８へ取り付けるとともに、他の
浮上体２９を用意すれば、上記のような最大の搬送距離
Ｌ２ を搬送距離Ｌ３ まで延長できる。
【００３１】したがって、上記のような実施例によれば
、浮上体の外周面に突出部を設けるとともに、突出部を
電磁石のコアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力
が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯
性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるの
で、回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型にな
る。
、浮上体の外周面に突出部を設けるとともに、突出部を
電磁石のコアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力
が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯
性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるの
で、回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型にな
る。
【００３２】また、このような装置は上記の如く装置が
小型化する分、チャンバ内における真空引きの時間を短
縮できる。
小型化する分、チャンバ内における真空引きの時間を短
縮できる。
【００３３】図７に示すものは、請求項２及び請求項３
の発明に係る搬送装置の要部を示すもので、装置の基本
的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材には同一
符号を付して、その詳細説明は省略する。
の発明に係る搬送装置の要部を示すもので、装置の基本
的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材には同一
符号を付して、その詳細説明は省略する。
【００３４】この装置には、図１に示すような磁気軸受
部１１〜１３に代えて磁気軸受部３０が３つ配設されて
いる。
部１１〜１３に代えて磁気軸受部３０が３つ配設されて
いる。
【００３５】また、磁気軸受部３０は４つの電磁石３１
〜３４を有するもので、各電磁石３１〜３４は浮上体１
の外周面に対向するように設けられており、電磁石３１
〜３４のコア３１ａ〜３４ａ及びコイル３１ｂ〜３４ｂ
は、ベース２の表面と平行に設置されている。さらに、
そのコア３１ａ〜３４ａの一部のみは、浮上体１の突出
部２２〜２５に向けて屈曲形成されている。
〜３４を有するもので、各電磁石３１〜３４は浮上体１
の外周面に対向するように設けられており、電磁石３１
〜３４のコア３１ａ〜３４ａ及びコイル３１ｂ〜３４ｂ
は、ベース２の表面と平行に設置されている。さらに、
そのコア３１ａ〜３４ａの一部のみは、浮上体１の突出
部２２〜２５に向けて屈曲形成されている。
【００３６】したがって、このような実施例によれば、
電磁石のコア及びコイルがベースの表面と平行に設置さ
れているため、各電磁石が互いに近接し合うので、磁気
軸受部の高さＨが低くなりかつ磁気軸受部が小型になる
。
電磁石のコア及びコイルがベースの表面と平行に設置さ
れているため、各電磁石が互いに近接し合うので、磁気
軸受部の高さＨが低くなりかつ磁気軸受部が小型になる
。
【００３７】しかも、この実施例は、突出部に向けてコ
アの一部が屈曲形成されているため、突出部に電磁石の
磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的
調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止され
るので、回転防止用の電磁石等を省略できる。
アの一部が屈曲形成されているため、突出部に電磁石の
磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的
調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止され
るので、回転防止用の電磁石等を省略できる。
【００３８】これにより、装置の小型化及び真空引きの
時間短縮をより一層図ることができる。
時間短縮をより一層図ることができる。
【００３９】
【発明の効果】請求項１の発明に係る搬送装置は、上記
の如く浮上体の外周面に突出部を設けるとともに、その
突出部を電磁石のコアに対向させたため、突出部に電磁
石の磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁
気的調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止
されるので、回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が
小型になる。
の如く浮上体の外周面に突出部を設けるとともに、その
突出部を電磁石のコアに対向させたため、突出部に電磁
石の磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる電磁
気的調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が防止
されるので、回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が
小型になる。
【００４０】また、請求項２の発明に係る搬送装置あっ
ては、電磁石のコア及びコイルをベース表面と平行に設
置したため、各電磁石が互いに近接し合うので、磁気軸
受部の高さが低くなりかつ磁気軸受部が小型になる。そ
の結果、装置の小型化を図ることができる。
ては、電磁石のコア及びコイルをベース表面と平行に設
置したため、各電磁石が互いに近接し合うので、磁気軸
受部の高さが低くなりかつ磁気軸受部が小型になる。そ
の結果、装置の小型化を図ることができる。
【００４１】さらに、請求項３の発明に係る搬送装置に
よれば、上記と同様に磁気軸受部が小型になり、しかも
回転防止用の電磁石等を省略できるので、装置の小型化
をより一層図ることができる。
よれば、上記と同様に磁気軸受部が小型になり、しかも
回転防止用の電磁石等を省略できるので、装置の小型化
をより一層図ることができる。
【００４２】そのため、このような装置を真空のチャン
バ内に設置した場合には、上記の如く装置が小型化する
分、真空引きの時間を短縮できる。
バ内に設置した場合には、上記の如く装置が小型化する
分、真空引きの時間を短縮できる。
【図１】この発明に係る搬送装置の外観図。
【図２】図１に示す装置を収納するチャンバの平面図。
【図３】図１に示す ＩＩＩーＩＩＩ 線断面図。
【図４】図３に示すＩＶーＩＶ線での説明用断面図。
【図５】図１に示す ＶーＶ 線断面図。
【図６】図１に示す装置の動作説明図。
【図７】請求項２の発明に係る搬送装置の要部を示す断
面図。
面図。
【図８】従来の搬送装置の説明用断面図。
【図９】従来の搬送装置の動作説明図。
１ 浮上体
２ ベース
３ 搬送棒
１６〜１９ 電磁石
１６ａ〜１９ａ コア
１６ｂ〜１９ｂ コイル
１１〜１３ 磁気軸受部
２２〜２５ 突出部
２７ リニアモータ
Claims (3)
- 【請求項１】ベース上に位置する柱状の浮上体はその端
面延長上に搬送棒を有するとともに、上記浮上体の長手
方向における複数箇所にはその浮上体を電磁石の磁力に
より非接触支持する磁気軸受部が配設された搬送装置に
おいて、上記浮上体の外周面に突出部を設けるとともに
、この突出部を上記電磁石のコアに対向させたことを特
徴とする搬送装置。 - 【請求項２】ベース上に位置する柱状の浮上体はその端
面延長上に搬送棒を有するとともに、上記浮上体の長手
方向における複数箇所にはその浮上体を電磁石の磁力に
より非接触支持する磁気軸受部が配設された搬送装置に
おいて、上記電磁石のコア及びコイルをベース表面と平
行に設置したことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項３】浮上体の外周面に突出部を設けるとともに
、この突出部に向けてコアの一部を屈曲形成したことを
特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7531991A JPH04308125A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7531991A JPH04308125A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04308125A true JPH04308125A (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=13572824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7531991A Withdrawn JPH04308125A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04308125A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100977466B1 (ko) * | 2008-07-04 | 2010-08-23 | 한국전기연구원 | 원통형 자기부상 스테이지 |
-
1991
- 1991-04-08 JP JP7531991A patent/JPH04308125A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100977466B1 (ko) * | 2008-07-04 | 2010-08-23 | 한국전기연구원 | 원통형 자기부상 스테이지 |
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