JPH04298419A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH04298419A JPH04298419A JP6310891A JP6310891A JPH04298419A JP H04298419 A JPH04298419 A JP H04298419A JP 6310891 A JP6310891 A JP 6310891A JP 6310891 A JP6310891 A JP 6310891A JP H04298419 A JPH04298419 A JP H04298419A
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- JP
- Japan
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- floating body
- magnetic bearing
- magnetic
- electromagnets
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000005188 flotation Methods 0.000 abstract 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0472—Active magnetic bearings for linear movement
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空のチャンバ内に有
するウエハ等を搬送する搬送装置に関する。
するウエハ等を搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は図８に示す如
く柱状の浮上体１がベース２上に配設されており、浮上
体１はその端面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は真
空のチャンバ内に設置されている。
く柱状の浮上体１がベース２上に配設されており、浮上
体１はその端面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は真
空のチャンバ内に設置されている。
【０００３】また、上記浮上体１の長手方向における複
数箇所には、磁気軸受部４〜６が設けられており、各磁
気軸受部４〜６はベース２と一体に形成されているとと
もに、複数の電磁石７及びセンサ部８を有し、電磁石７
及びセンサ部８は浮上体１の外周円弧面に対向するよう
に配設されている。
数箇所には、磁気軸受部４〜６が設けられており、各磁
気軸受部４〜６はベース２と一体に形成されているとと
もに、複数の電磁石７及びセンサ部８を有し、電磁石７
及びセンサ部８は浮上体１の外周円弧面に対向するよう
に配設されている。
【０００４】すなわち、このような各磁気軸受部４〜６
は、センサ部８が浮上体１の浮上位置を検出し、この検
出値に基づいて各電磁石７が励磁され、このようにして
生じた磁力が浮上体１の外周円弧面に作用して、浮上体
１を非接触支持している。
は、センサ部８が浮上体１の浮上位置を検出し、この検
出値に基づいて各電磁石７が励磁され、このようにして
生じた磁力が浮上体１の外周円弧面に作用して、浮上体
１を非接触支持している。
【０００５】しかして、このような支持だけでは、外乱
等により浮上体１が軸芯Ｏ１ 回りに回転することは避
けられないので、この装置には浮上体１に関して回転防
止用の電磁石（図示省略）が設けられている。
等により浮上体１が軸芯Ｏ１ 回りに回転することは避
けられないので、この装置には浮上体１に関して回転防
止用の電磁石（図示省略）が設けられている。
【０００６】また、上記浮上体１はリニアモータ９を駆
動することにより矢印イの方向に移動しかつ停止するが
、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送する
条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部４〜６のうち
少なくとも２つで支持する必要がある。したがって、こ
のような装置では図９に示す如く最大の搬送距離Ｌ１
まで搬送棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
動することにより矢印イの方向に移動しかつ停止するが
、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送する
条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部４〜６のうち
少なくとも２つで支持する必要がある。したがって、こ
のような装置では図９に示す如く最大の搬送距離Ｌ１
まで搬送棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く各磁気軸受
部４〜６がベース２と一体に形成されているので、軸受
間隔を変えて最大の搬送距離Ｌ１ を変更することがで
きない。そのため、必要に応じて最大の搬送距離Ｌ１
を長く設定する場合、その長さに合わせて装置全体を作
り直す必要があり、コスト高になる。
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く各磁気軸受
部４〜６がベース２と一体に形成されているので、軸受
間隔を変えて最大の搬送距離Ｌ１ を変更することがで
きない。そのため、必要に応じて最大の搬送距離Ｌ１
を長く設定する場合、その長さに合わせて装置全体を作
り直す必要があり、コスト高になる。
【０００８】また、真空のチャンバ内では真空引の時間
が装置の容積に比例するにもかかわらず、従来の装置に
は回転防止用の電磁石が設けられているため、その分装
置が大型化しかつ装置の容積が大きくなるので、真空引
に要する時間がかかる等の問題点がある。
が装置の容積に比例するにもかかわらず、従来の装置に
は回転防止用の電磁石が設けられているため、その分装
置が大型化しかつ装置の容積が大きくなるので、真空引
に要する時間がかかる等の問題点がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、最大
の搬送距離を低コストに変更できるようにすること、並
びに装置を小型化することにあり、上記目的を達成する
ために請求項１に記載の発明は、ベース上に位置する柱
状の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有するとともに
、上記浮上体の長手方向における複数位置にはその浮上
体を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受部が配
設された搬送装置において、上記磁気軸受部をベース上
に着脱可能に取り付けたことを特徴とする。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、最大
の搬送距離を低コストに変更できるようにすること、並
びに装置を小型化することにあり、上記目的を達成する
ために請求項１に記載の発明は、ベース上に位置する柱
状の浮上体はその端面延長上に搬送棒を有するとともに
、上記浮上体の長手方向における複数位置にはその浮上
体を電磁石の磁力により非接触支持する磁気軸受部が配
設された搬送装置において、上記磁気軸受部をベース上
に着脱可能に取り付けたことを特徴とする。
【００１０】請求項２に記載の発明は、浮上体の外周面
に突出部を設けるとともに、この突出部を電磁石に対向
させたことを特徴とする。
に突出部を設けるとともに、この突出部を電磁石に対向
させたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】この発明によれば、磁気軸受部がベース上に着
脱可能に取り付けられるため、各磁気軸受部をベースか
ら取り外した後、それらをそのベース上または新しいベ
ース上に異なる軸受間隔で取り付ければ、最大の搬送距
離を変更できる。
脱可能に取り付けられるため、各磁気軸受部をベースか
ら取り外した後、それらをそのベース上または新しいベ
ース上に異なる軸受間隔で取り付ければ、最大の搬送距
離を変更できる。
【００１２】特に、請求項２の発明によれば、突出部に
電磁石の磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる
電磁気的調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が
防止されるので、回転防止用の電磁石を省略できる。
電磁石の磁力が集中的に作用する。その結果、いわゆる
電磁気的調芯性により浮上体の軸芯回りにおける回転が
防止されるので、回転防止用の電磁石を省略できる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて、図１ないし図７を用いて詳細に説明する。
ついて、図１ないし図７を用いて詳細に説明する。
【００１４】なお、従来と同一部材には同一符号を付す
。
。
【００１５】この搬送装置は図１に示す如く柱状の浮上
体１がベース２上に配設されており、浮上体１はその端
面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は図２に示すよう
な真空のチャンバ１０内に設置されている。
体１がベース２上に配設されており、浮上体１はその端
面延長上に搬送棒３を有し、ベース２は図２に示すよう
な真空のチャンバ１０内に設置されている。
【００１６】また、上記浮上体１の長手方向における３
箇所には、磁気軸受部１１〜１３が配設されている一方
、上記ベース２には図３に示す如く磁気軸受部１２に向
かって透穴１４が穿設されており、このような透穴１４
に挿入されるネジ１５によって、磁気軸受部１２はベー
ス２上に着脱可能に取り付けられている。
箇所には、磁気軸受部１１〜１３が配設されている一方
、上記ベース２には図３に示す如く磁気軸受部１２に向
かって透穴１４が穿設されており、このような透穴１４
に挿入されるネジ１５によって、磁気軸受部１２はベー
ス２上に着脱可能に取り付けられている。
【００１７】なお、他の磁気軸受部１１，１３も上記磁
気軸受部１２と同様にベース２上に着脱可能に取り付け
られている。
気軸受部１２と同様にベース２上に着脱可能に取り付け
られている。
【００１８】ところで、上記のような各磁気軸受部１１
〜１３は４つの電磁石１６〜１９をそれぞれ有するもの
で、各電磁石１６〜１９は浮上体１の外周面に対向する
ように設けられており、このうち２つの電磁石１６，１
７のコア１６ａ，１７ａ及びコイル１６ｂ，１７ｂは、
軸線Ｖ上にて浮上体１を介して互いに向かい合うように
設置されている。他の電磁石１８，１９のコア１８ａ，
１９ａ及びコイル１８ｂ，１９ｂは、軸線Ｗ上にて浮上
体１を介して互いに向かい合うように設置されている。
〜１３は４つの電磁石１６〜１９をそれぞれ有するもの
で、各電磁石１６〜１９は浮上体１の外周面に対向する
ように設けられており、このうち２つの電磁石１６，１
７のコア１６ａ，１７ａ及びコイル１６ｂ，１７ｂは、
軸線Ｖ上にて浮上体１を介して互いに向かい合うように
設置されている。他の電磁石１８，１９のコア１８ａ，
１９ａ及びコイル１８ｂ，１９ｂは、軸線Ｗ上にて浮上
体１を介して互いに向かい合うように設置されている。
【００１９】ここで、軸線Ｖはベース２の表面に対して
４５度傾くように、軸線Ｗはベース２の表面に対してー
４５度傾くように設けられている。
４５度傾くように、軸線Ｗはベース２の表面に対してー
４５度傾くように設けられている。
【００２０】また、上記各磁気軸受部１１〜１３には図
４に示す如くセンサ部２０が設けられており、センサ部
２０は軸線Ｖ上における浮上体１の浮上位置を検出する
ように構成されている。なお、上記各磁気軸受部１１〜
１３には上記センサ部２０の他に図示しないセンサ部を
有し、このセンサ部は軸線Ｗ上における浮上体１の浮上
位置を検出するように構成されている。
４に示す如くセンサ部２０が設けられており、センサ部
２０は軸線Ｖ上における浮上体１の浮上位置を検出する
ように構成されている。なお、上記各磁気軸受部１１〜
１３には上記センサ部２０の他に図示しないセンサ部を
有し、このセンサ部は軸線Ｗ上における浮上体１の浮上
位置を検出するように構成されている。
【００２１】一方、浮上体１の外周面には４つの突出部
２２〜２５が一体に設けられており、これらの突出部２
２〜２５は、上記電磁石１６〜１９の各コア１６ａ〜１
９ａに対向するように、かつ浮上体１の長手方向に亘っ
て形成されている。
２２〜２５が一体に設けられており、これらの突出部２
２〜２５は、上記電磁石１６〜１９の各コア１６ａ〜１
９ａに対向するように、かつ浮上体１の長手方向に亘っ
て形成されている。
【００２２】しかして、上記のような２つの磁気軸受部
１１，１２間には駆動モータユニット２６が配設されて
おり（図１参照）、駆動モータユニット２６は図５に示
す如く非接触駆動モータとしてリニアモータ２７を備え
、リニアモータ２７は浮上体１の外周面に対向するよう
に設けられている。この一方、浮上体１には図示しない
モータ２次導体が配設されており、そのモータ２次導体
は上記リニアモータ２７に対向するように設置されてい
る。
１１，１２間には駆動モータユニット２６が配設されて
おり（図１参照）、駆動モータユニット２６は図５に示
す如く非接触駆動モータとしてリニアモータ２７を備え
、リニアモータ２７は浮上体１の外周面に対向するよう
に設けられている。この一方、浮上体１には図示しない
モータ２次導体が配設されており、そのモータ２次導体
は上記リニアモータ２７に対向するように設置されてい
る。
【００２３】なお、この駆動モータユニット２６も上記
磁気軸受部１１〜１３と同様にベース２上に着脱可能に
取り付けられている。
磁気軸受部１１〜１３と同様にベース２上に着脱可能に
取り付けられている。
【００２４】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について、図１ないし図６を用いて説明する。
作について、図１ないし図６を用いて説明する。
【００２５】この搬送装置によれば、各磁気軸受部１１
〜１３を起動すると（図１及び図２参照）、センサ部２
０が浮上体１の浮上位置を検出し（図４参照）、この検
出値に基づいて図３に示す如く電磁石１６〜１９が励磁
され、このようにして生じた磁力が浮上体１の突出部２
２〜２５に集中的に作用する。これにより、浮上体１は
その磁力により所定の位置に非接触支持されるとともに
、いわゆる電磁気的調芯性により軸心Ｏ１ 回りの回転
運動が拘束される。
〜１３を起動すると（図１及び図２参照）、センサ部２
０が浮上体１の浮上位置を検出し（図４参照）、この検
出値に基づいて図３に示す如く電磁石１６〜１９が励磁
され、このようにして生じた磁力が浮上体１の突出部２
２〜２５に集中的に作用する。これにより、浮上体１は
その磁力により所定の位置に非接触支持されるとともに
、いわゆる電磁気的調芯性により軸心Ｏ１ 回りの回転
運動が拘束される。
【００２６】すなわち、このような装置では、例えば外
乱によって浮上体１を軸心Ｏ１ 回りに回転させる力が
働いても、その浮上体１を元の位置へ戻そうとする力が
即座に働き、その結果、浮上体１の回転が防止される。
乱によって浮上体１を軸心Ｏ１ 回りに回転させる力が
働いても、その浮上体１を元の位置へ戻そうとする力が
即座に働き、その結果、浮上体１の回転が防止される。
【００２７】また、上記の如く支持された浮上体１はリ
ニアモータ２７を駆動することにより（図５参照）、図
６（ａ）に示す如く矢印イの方向に移動しかつ停止する
が、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送す
る条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部１１〜１３
のうち少なくとも２つで支持する必要がある。したがっ
て、このような装置では最大の搬送距離Ｌ２ まで搬送
棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
ニアモータ２７を駆動することにより（図５参照）、図
６（ａ）に示す如く矢印イの方向に移動しかつ停止する
が、この場合には、搬送棒３がウエハＷを安定に搬送す
る条件として、浮上体１を３つの磁気軸受部１１〜１３
のうち少なくとも２つで支持する必要がある。したがっ
て、このような装置では最大の搬送距離Ｌ２ まで搬送
棒３がウエハＷを安定に搬送できる。
【００２８】ところで、このような装置では、例えば磁
気軸受部１２を磁気軸受部１１側に近付けて取り付けれ
ば、上記のような最大の搬送距離Ｌ２ を延長できる。
気軸受部１２を磁気軸受部１１側に近付けて取り付けれ
ば、上記のような最大の搬送距離Ｌ２ を延長できる。
【００２９】また、この装置にあっては、図６（ａ）に
おいて各磁気軸受部１１〜１３ならびにリニアモータ２
７をベース２から取り外した後、それらを図６（ｂ）に
示すような他のベース２８へ異なる軸受間隔で取り付け
る一方、他の浮上体２９を用意すれば、上記のような最
大の搬送距離Ｌ２ を搬送距離Ｌ３ まで延長できる。
おいて各磁気軸受部１１〜１３ならびにリニアモータ２
７をベース２から取り外した後、それらを図６（ｂ）に
示すような他のベース２８へ異なる軸受間隔で取り付け
る一方、他の浮上体２９を用意すれば、上記のような最
大の搬送距離Ｌ２ を搬送距離Ｌ３ まで延長できる。
【００３０】したがって、上記実施例にあっては、各磁
気軸受部をベース上に着脱可能に取り付けたため、必要
に応じて最大の搬送距離を変更する場合、そのベース上
または新しいベース上に各磁気軸受部を異なる軸受間隔
で取り付ければよいので、装置全体を作り直すことなく
、最大の搬送距離を低コストに変更できる。
気軸受部をベース上に着脱可能に取り付けたため、必要
に応じて最大の搬送距離を変更する場合、そのベース上
または新しいベース上に各磁気軸受部を異なる軸受間隔
で取り付ければよいので、装置全体を作り直すことなく
、最大の搬送距離を低コストに変更できる。
【００３１】しかも、上記のような実施例では、浮上体
の外周面に突出部を設けるとともに、突出部を電磁石の
コアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力が集中的
に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯性により
浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるので、回転
防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型になるととも
に装置の容積が小さくなる。よって、チャンバ内におけ
る真空引きの時間も短縮できる。
の外周面に突出部を設けるとともに、突出部を電磁石の
コアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力が集中的
に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯性により
浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるので、回転
防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型になるととも
に装置の容積が小さくなる。よって、チャンバ内におけ
る真空引きの時間も短縮できる。
【００３２】なお、図７に示すものは磁気軸受部の他の
実施例を示すもので、この磁気軸受部３０は４つの電磁
石３１〜３４を有するもので、各電磁石３１〜３４は浮
上体１の外周面に対向するように設けられており、電磁
石３１〜３４のコア３１ａ〜３４ａ及びコイル３１ｂ〜
３４ｂは、ベース２の表面と平行に設置されているとと
もに、そのコア３１ａ，３２ａの一部のみが浮上体１の
突出部２２〜２５に向けて屈曲形成されている。
実施例を示すもので、この磁気軸受部３０は４つの電磁
石３１〜３４を有するもので、各電磁石３１〜３４は浮
上体１の外周面に対向するように設けられており、電磁
石３１〜３４のコア３１ａ〜３４ａ及びコイル３１ｂ〜
３４ｂは、ベース２の表面と平行に設置されているとと
もに、そのコア３１ａ，３２ａの一部のみが浮上体１の
突出部２２〜２５に向けて屈曲形成されている。
【００３３】ところで、このような構成によれば、各電
磁石が互いに近接し合うので、磁気軸受部の高さが低く
なりかつ磁気軸受部が小型になる。その結果、装置の小
型化、及び真空引きの時間短縮をより一層図ることがで
きる。
磁石が互いに近接し合うので、磁気軸受部の高さが低く
なりかつ磁気軸受部が小型になる。その結果、装置の小
型化、及び真空引きの時間短縮をより一層図ることがで
きる。
【００３４】
【発明の効果】この発明に係る搬送装置は、上記の如く
浮上体両端側及び両端間の磁気軸受部をベース上に着脱
可能に取り付けたため、必要に応じて最大の搬送距離を
変更する場合、ベース上に各磁気軸受部を異なる軸受間
隔で取り付ければよいので、装置全体を作り直すことな
く、低コストに最大の搬送距離を変更できる。
浮上体両端側及び両端間の磁気軸受部をベース上に着脱
可能に取り付けたため、必要に応じて最大の搬送距離を
変更する場合、ベース上に各磁気軸受部を異なる軸受間
隔で取り付ければよいので、装置全体を作り直すことな
く、低コストに最大の搬送距離を変更できる。
【００３５】特に、請求項２の発明にあっては、浮上体
の外周面に突出部を設けるとともに、その突出部を電磁
石のコアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力が集
中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯性に
より浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるので、
回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型になると
ともに装置の容積が小さくなる。
の外周面に突出部を設けるとともに、その突出部を電磁
石のコアに対向させたため、突出部に電磁石の磁力が集
中的に作用する。その結果、いわゆる電磁気的調芯性に
より浮上体の軸芯回りにおける回転が防止されるので、
回転防止用の電磁石等を省略でき、装置が小型になると
ともに装置の容積が小さくなる。
【００３６】したがって、このような装置を真空のチャ
ンバ内に設置した場合には、上記の如く装置の容積が小
さくなる分、真空引きの時間を短縮できる。
ンバ内に設置した場合には、上記の如く装置の容積が小
さくなる分、真空引きの時間を短縮できる。
【図１】この発明に係る搬送装置の外観図。
【図２】図１に示す装置を収納するチャンバの平面図。
【図３】図１に示す ＩＩＩーＩＩＩ 線断面図。
【図４】図３に示すＩＶーＩＶ線での説明用断面図。
【図５】図１に示す ＶーＶ 線断面図。
【図６】図１に示す装置の動作説明図。
【図７】磁気軸受部の他の実施例を示す断面図。
【図８】従来の搬送装置の説明用断面図。
【図９】従来の搬送装置の動作説明図。
１ 浮上体
２ ベース
３ 搬送棒
１４ 透穴
１５ ネジ
１６〜１９ 電磁石
１６ａ〜１９ａ コア
１１〜１３ 磁気軸受部
２２〜２５ 突出部
２７ リニアモータ
Claims (2)
- 【請求項１】ベース上に位置する柱状の浮上体はその端
面延長上に搬送棒を有するとともに、上記浮上体の長手
方向における複数箇所にはその浮上体を電磁石の磁力に
より非接触支持する磁気軸受部が配設された搬送装置に
おいて、上記磁気軸受部をベース上に着脱可能に取り付
けたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】浮上体の外周面に突出部を設けるとともに
、この突出部を電磁石に対向させたことを特徴とする請
求項１に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6310891A JPH04298419A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6310891A JPH04298419A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04298419A true JPH04298419A (ja) | 1992-10-22 |
Family
ID=13219768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6310891A Withdrawn JPH04298419A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04298419A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110848256A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-28 | 常州工学院 | 一种磁悬浮轴承系统中转子所受干扰力实时补偿的方法 |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP6310891A patent/JPH04298419A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110848256A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-28 | 常州工学院 | 一种磁悬浮轴承系统中转子所受干扰力实时补偿的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |