JP2011517079A - 二重パターン化を用いたフォトレジスト像形成方法 - Google Patents
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Abstract
a) 第一のフォトレジスト組成物から基材上に第一のフォトレジストの層を形成し; b) 第一のフォトレジストを像様露光し; c) 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターンを形成し; d) 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも二つのアミノ(NH2)基を含む硬化性化合物で処理して、硬化された第一のフォトレジストパターンを形成し; e) 硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材の領域上に、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジスト層を形成し; f) 第二のフォトレジストを像様露光し、g) 像様露光された第二のフォトレジストを現像して、第一のフォトレジストパターン間に第二のフォトレジストパターンを形成し、それによって二重フォトレジストパターンを供することを含む、デバイス上にフォトレジストパターンを形成する方法。
Description
本発明は、二重像様パターン化(double imagewise patterning)を用いてデバイス上に微細なフォトレジストパターンを形成する方法に関する。
フォトレジスト組成物は、コンピュータチップ及び集積回路の製造などの微細化された電子部品の製造のためのマイクロリソグラフィプロセスに使用されている。一般的に、これらのプロセスでは、先ずフォトレジスト組成物のフィルムの薄い塗膜が基材、例えば集積回路の製造に使用されるケイ素ウェハ上に供される。次いで、この被覆された基材をベーク処理してフォトレジスト組成物中の溶剤を蒸発させて、基材上に被膜を定着させる。基材上に被覆されたこのフォトレジストを次に放射線による像様露光に付す。
放射線露光は、被覆された表面の露光された領域において化学的な変化を引き起こす。可視光、紫外線(uv)、電子ビーム及びX線放射エネルギーが、マイクロリソグラフィプロセスに現在常用されている放射線種である。この像様露光の後に、被覆された基材は場合によりベークされ、次いで現像剤溶液で処理され、フォトレジストの放射線露光された領域(ポジ型フォトレジスト)または未露光の領域(ネガ型フォトレジスト)のいずれかを溶解、除去する。
ポジ型フォトレジストは、放射線に像様露光されると、フォトレジスト組成物の放射線に曝された領域が現像剤溶液により可溶性になり、他方で、未露光の領域は、現像剤溶液に対して比較的不溶性のまま留まる。それ故、露光されたポジ型フォトレジストを現像剤で処理すると、被膜の露光された領域が除去され、フォトレジスト被膜にポジ型の像が形成される。この場合もまた、下にある表面の所望の部分が裸出される。
ネガ型フォトレジストは、放射線に像様露光されると、フォトレジスト組成物の放射線に曝された領域が現像剤溶液に不溶性になり、他方で、未露光の領域は、現像剤溶液に対し比較的可溶性のまま留まる。それ故、未露光のネガ型フォトレジストを現像剤で処理すると、被膜の未露光の領域が除去され、フォトレジスト被膜にネガ型の像が形成される。この場合もまた、下にある表面の所望の部分が裸出される。
フォトレジスト解像度は、フォトレジスト組成物が、露光及び現像の後に、高いレベルの鋭い像縁をもってフォトマスクから基材へと転写できる最小の図形(feature)と定義される。現在の多くの最先端の製造用途では、100nm未満のオーダーのフォトレジスト解像度が必要である。加えて、現像されたフォトレジストの壁の側面が基材に対してほぼ垂直であることが大概の場合に望ましい。フォトレジスト被膜の現像された領域と現像されていない領域との間のこのような明確な境界画定が基材へのマスク像の正確なパターン転写に繋がる。微細化に向かう動向がデバイス上での微小寸法を小さくしているのでこのことはより一層重要な事柄となっている。
半ミクロン以下の幾何形状が必要な場合には約100nm〜約300nmの短波長に感度を示すフォトレジストがしばしば使用される。特に好ましいものは、非芳香族系ポリマー、光酸発生剤、場合により溶解防止剤、塩基クエンチャー、及び溶剤を含む、200nm未満、例えば193nm及び157nmに感度を示す深紫外線(deep uv)フォトレジストである。
四分の一ミクロン(μm)未満の幾何形状を有する像をパターン化するためには、高解像度の化学増幅型深紫外線(100〜300nm)ポジ型及びネガ型フォトレジストを利用できる。
フォトレジストの主たる機能は、露光ツールによってそれに投影された像強度プロファイルを正確に複製することである。このことは、マスク上での図形間の間隔が小さくなっているので益々困難になっている。というのも、像の強度コントラストが低下し、そしてその間隔が露光ツールの回折限界未満になるとついには無くなってしまうからである。デバイス密度という観点では、主に重要ななのは図形のピッチである、なぜならば、これが、どれだけ密に図形を詰め込むことができるかに関するからである。0.5λ/NA(λは露光放射線の波長であり、NAは露光用レンズの開口数である)未満のピッチでフォトレジストフィルム中にパターンを形成するために使用されてきた技術の一つは二重パターン化である。二重パターン化は、微細電子デバイスにおけるフォトレジストパターンの密度を高めるための方法を提供する。典型的には、二重パターン化では、基材上に第一のフォトレジストパターンを0.5λ/NAより大きいピッチで画定し、次いで他の段階で、第二のフォトレジストパターンを、前記第一のフォトレジストパターンの間に第一のパターンと同じピッチで画定する。両方の像は、基材に同時に転写され、単一露光の半分のピッチとなる。現在利用可能なデュアルパターニングの方策は、二つのパターン転写プロセスを介して二つのハードマスク像を形成することに基づく。二重パターン化は、典型的には、ピッチ分割を介して、フォトレジスト図形を互いに近接して存在させることを可能にする。
パターン化された第一のフォトレジストの上に第二のフォトレジストをコートできるようにするためには、第一のフォトレジストパターンは、典型的には安定化/硬化または凍結(frozen)させて、第二のフォトレジストとの相互混合や第一のフォトレジストパターンの変形がないようにする。第一のフォトレジストパターンの上に第二のフォトレジストをコーティングする前に第一のフォトレジストパターンを安定化もしくは凍結させる様々なタイプの二重パターン化法が既知であり、例えば第一のフォトレジストパターンの熱硬化、UV硬化、e−ビーム硬化、及びイオン注入などがある。熱硬化は、フォトレジストポリマーのガラス転移温度が、安定化温度よりも高いフォトレジストにしか使用できず、この方法は、全てのフォトレジストに有用というわけではない。第一のフォトレジストパターンの安定化は、第一のフォトレジストパターンと第二のフォトレジスト層との間の相互混合を防ぎ、これは、基材上に良好なリソグラフィ像を形成すること可能にする。それで、広い範囲のフォトレジストに有用な第一のフォトレジストパターンを安定化する方法への要望がある。
本発明は、第二のフォトレジスト溶剤中への溶解及び水性アルカリ性現像剤に対する耐性を高め及び加えて第二のフォトレジストとの相互混合を防ぐために、第一のフォトレジストパターンを硬化処理することを含む二重パターン化方法に関する。
Shun−ichi Kodama et al Advances in Resist Technology and Processing XIX, Proceedings of SPIE Vol. 4690 p76 2002
本発明は、デバイス上にフォトレジストパターンを形成する方法であって、a) 第一のフォトレジスト組成物から基材上に第一のフォトレジストの層を形成し; b) 第一のフォトレジストを像様露光し; c) 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターンを形成し; d) 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも二つのアミノ(NH2)基を含む硬化性化合物で処理して、それによって硬化された第一のフォトレジストパターンを形成し; e) 硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材の領域上に、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジスト層を形成し; f) 第二のフォトレジストを像様露光し; 及びg) 像様露光された第二のフォトレジストを現像して、第一のフォトレジストパターンの間に第二のフォトレジストパターンを形成し、それによって二重フォトレジストパターンを供することを含む前記方法に関する。
本方法は、更に、次の構造(1)を有する硬化性化合物を含む。
式中、WはC1−C8アルキレンであり、そしてnは1〜3である。
[発明の詳細な説明]
本発明は、二つのフォトレジスト層の二重像様パターン化を用いて微細電子デバイス上に微細パターンを像形成する方法に関する。該方法は、第一のフォトレジスト層をパターン化し、その後、この第一のパターンと組み合った(interdigitated)パターンを形成する、第二の(マスクまたはレチクルを用いた)像様フォトレジストパターン化工程を含む。組み合ったとは、第一のパターンの間に置かれた第二のパターンの交互パターンのことを言う。二重パターン化工程は、単一パターン化工程と比べてパターン密度を高めることを可能にする。本発明方法を図1に示す。ここで、該プロセスは、a) 第一のフォトレジスト組成物(11)から、基材上に第一のフォトレジストの層を形成し; b) 第一のフォトレジストを像様露光し; c) 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターン(12)を形成し; d) 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも2つのアミノ(NH2)基を含む硬化性化合物で処理または凍結し、それによって硬化された第一のフォトレジストパターン(14)を形成し; e) 硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材領域上に、第二のフォトレジスト組成物(15)から第二のフォトレジスト層を形成し; f) 第二のフォトレジストを像様露光し; 及びg) 第一のフォトレジストパターンの間で第二のフォトレジストパターンを現像して、それによって二重フォトレジストパターン(16)を形成することを含む。第二のパターンは、第一のパターンに組み合わされ、すなわち交互の第一及び第二パターンが形成される。
本発明は、二つのフォトレジスト層の二重像様パターン化を用いて微細電子デバイス上に微細パターンを像形成する方法に関する。該方法は、第一のフォトレジスト層をパターン化し、その後、この第一のパターンと組み合った(interdigitated)パターンを形成する、第二の(マスクまたはレチクルを用いた)像様フォトレジストパターン化工程を含む。組み合ったとは、第一のパターンの間に置かれた第二のパターンの交互パターンのことを言う。二重パターン化工程は、単一パターン化工程と比べてパターン密度を高めることを可能にする。本発明方法を図1に示す。ここで、該プロセスは、a) 第一のフォトレジスト組成物(11)から、基材上に第一のフォトレジストの層を形成し; b) 第一のフォトレジストを像様露光し; c) 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターン(12)を形成し; d) 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも2つのアミノ(NH2)基を含む硬化性化合物で処理または凍結し、それによって硬化された第一のフォトレジストパターン(14)を形成し; e) 硬化された第一のフォトレジストパターンを含む基材領域上に、第二のフォトレジスト組成物(15)から第二のフォトレジスト層を形成し; f) 第二のフォトレジストを像様露光し; 及びg) 第一のフォトレジストパターンの間で第二のフォトレジストパターンを現像して、それによって二重フォトレジストパターン(16)を形成することを含む。第二のパターンは、第一のパターンに組み合わされ、すなわち交互の第一及び第二パターンが形成される。
フォトレジストの第一の層は、フォトレジスト組成物からフォトレジストの層を形成するのに既知の技術を用いて基材上で像形成される。このフォトレジストはポジ型またはネガ型であることができる。このフォトレジストは、ポリマー、光酸発生剤、溶剤を含み、そして更に、塩基性クエンチャ、界面活性剤、染料及び架橋剤などの添加剤を含むことができる。コーティング工程の後に、当技術分野において周知の方法を用いてエッジビーズリムーバを適用して基材の縁を清掃することができる。フォトレジスト層はソフトベークしてフォトレジスト溶剤を除去する。次いで、フォトレジスト層は、マスクもしくはレチクルを通して像様露光し、場合により露光後ベークし、次いで水性アルカリ性現像剤を用いて現像する。コーティング工程の後、フォトレジストは、像形成放射線、例えば13nm〜450nmの範囲の放射線を用いて像様露光することができる。典型的な放射線源は、157nm、193nm、248nm、365nm及び436nmである。露光は、典型的な乾式露光を用いて行うことができるかまたは液浸リソグラフィを用いて行うことができる。露光されたフォトレジストは次いで水性現像剤中で現像してフォトレジストパターンを形成する。現像剤は、好ましくは、水性アルカリ性溶液、例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシドを含む水性アルカリ性溶液である。現像の前及び露光の後に任意の加熱工程をプロセスに組み入れることができる。コーティング、ベーク、像の形成及び現像の正確な条件は、使用するフォトレジストによって決定される。
フォトレジスト被膜が形成される基材は、半導体工業において典型的に使用されるものの任意のものであることができる。適当な基材としては、限定はされないが、ケイ素、金属表面で被覆されたケイ素基材、銅で被覆されたケイ素ウェハ、銅、アルミニウム、ポリマー性樹脂、二酸化ケイ素、金属、ドープされた二酸化ケイ素、窒化ケイ素、タンタル、ポリシリコン、セラミック、アルミニウム/銅混合物; ヒ化ガリウム、及び他のこのような第III/V族化合物が挙げられる。基材は、上記の材料から作られた任意数の層を含むことができる。これらの記載は、更に、フォトレジスト層をコーティングする前に単一または複数の反射防止膜の被膜を有することができる。この被膜は、無機、有機またはこれらの混合物であることができる。これらの被膜は、炭素含有量が高い反射防止膜の上のシロキサンまたはシリコーンであることができる。当業界において既知の任意のタイプの反射防止膜を使用できる。
本方法は、深紫外線露光に特に適している。典型的には化学増幅型フォトレジストが使用される。これらはネガ型もしくはポジ型であることができる。これまで、微細化に大きな進展をもたらした幾つかの主要な深紫外線(uv)露光技術があり、これらは248nm、193nm、157nm及び13.5nmの放射線である。248nm用のフォトレジストは、典型的には、置換されたポリヒドロキシスチレン及びそれのコポリマー/オニウム塩に基づき、例えば米国特許第4,491,628号明細書(特許文献1)及び米国特許第5,350,660号明細書(特許文献2)に記載のものなどがある。他方、200nm未満の露光用のフォトレジストは、芳香族類がこの波長で不透明であるため非芳香族系ポリマーを必要とする。米国特許第5,843,624号明細書(特許文献3)及び米国特許第6,866,984号明細書(特許文献4)は、193nm露光用に有用なフォトレジストを開示している。200nm未満の露光用のフォトレジストには、一般的に、脂肪環式炭化水素を含むポリマーが使用される。脂肪環式炭化水素は多くの理由からポリマーに組み入れられる。というのも、主には、これらは、耐エッチング性を高める比較的高い炭素:水素比を有し、またこれらは低い波長で透明性を供し、そしてこれらは比較的高いガラス転移温度を有するからである。米国特許第5,843,624号明細書(特許文献3)は、無水マレイン酸と不飽和環状モノマーとの遊離基重合によって得られるフォトレジスト用ポリマーを開示している。任意の既知のタイプの193nmフォトレジスト、例えば米国特許第6,447,980号明細書(特許文献5)及び米国特許第6,723,488号明細書(特許文献6)に記載のものを使用できる。なお、これらの特許文献の内容は本明細書に掲載されたものとする。
フルオロアルコール側基を有するフッ素化ポリマーに基づく157nmに感度を示す二つの基本的な部類のフォトレジストが、この波長に実質的に透明であることが知られている。一つの部類の157nmフルオロアルコールフォトレジストは、フッ素化ノルボルネン類などの基を含むポリマーから誘導され、金属触媒重合またはラジカル重合を用いて、単独重合されるかまたは他の透明モノマー、例えばテトラフルオロエチレン(米国特許第6,790,587号明細書(特許文献7)、及び米国特許第6,849,377号明細書(特許文献8))と共重合される。一般的に、これらの材料は、より高い吸光を与えるが、それらの高い脂肪環式類含有量の故に良好な耐プラズマエッチング性を有する。より最近になって、別の部類の157nmフルオロアルコールポリマーが開示され、そのポリマー主鎖は、非対称性ジエン、例えば1,1,2,3,3−ペンタフルオロ−4−トリフルオロメチル−4−ヒドロキシ−1,6−ヘプタジエンの共重合(Shun−ichi Kodama et al Advances in Resist Technology and Processing XIX, Proceedings of SPIE Vol. 4690 p76 2002(非特許文献1);米国特許第6,818,258号明細書(特許文献9))またはフルオロジエンとオレフィンとの共重合(米国特許第6,916,590号明細書(特許文献10))から誘導される。これらの材料は、157nmで許容可能な吸光を与えるが、フルオロノルボルネンポリマーと比べてそれらの低い脂肪環式類含有量の故に、耐プラズマエッチング性に劣る。これらの二種の部類のポリマーは、最初のタイプのポリマーの高い耐エッチング性と、後のタイプのポリマーの157nmでの高い透明性との間のバランスを図るためにしばしばブレンドすることができる。13.5nmの極端紫外線(EUV)を吸収するフォトレジストも有用であり、当業界において既知である。365nm及び436nmに感度のあるフォトレジストも使用できる。現在の所、193nmフォトレジストが好ましい。
フォトレジスト組成物の固形成分は、フォトレジストの固形成分を溶解する溶剤または複数の溶剤の混合物と混合される。該フォトレジストに適当な溶剤としては、例えば、グリコールエーテル誘導体、例えばエチルセロソルブ、メチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、またはジエチレングリコールジメチルエーテル; グリコールエーテルエステル誘導体、例えばエチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート; カルボキシレート類、例えばエチルアセテート、n−ブチルアセテート及びアミルアセテート; 二塩基性酸類のカルボキシレート類、例えばジエトキシレート及びジエチルマロネート; グリコール類のジカルボキシレート類、例えばエチレングリコールジアセテート及びプロピレングリコールジアセテート; 及びヒドロキシカルボキシレート類、例えば乳酸メチル、乳酸エチル、グリコール酸エチル及び3−ヒドロキシプロピオン酸エチル; ケトンエステル類、例えばピルビン酸メチルまたはピルビン酸エチル; アルコキシカルボン酸エステル類、例えばメチル3−メトキシプロピオネート、エチル3−エトキシプロピオネート、エチル2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオネート、またはメチルエトキシプロピオネート; ケトン誘導体、例えばメチルエチルケトン、アセチルアセトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンまたは2−ヘプタノン; ケトンエーテル誘導体、例えばジアセトンアルコールメチルエーテル; ケトンアルコール誘導体、例えばアセトールまたはジアセトンアルコール; ケタールまたはアセタール、例えば1,3ジオキソラン及びジエトキシプロパン; ラクトン類、例えばブチロラクトン、アミド誘導体、例えばジメチルアセトアミドまたはジメチルホルムアミド、アニソール、及びこれらの混合物を挙げることができる。混合物または単独で使用される使用可能なフォトレジスト用の典型的な溶剤は、限定はされないが、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、及び乳酸エチル(EL)、2−ヘプタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、及びガンマブチロラクトンであるが、但し、PGME、PGMEA及びELまたはこれらの混合物が好ましい。毒性が低く、コーティング性が良好でかつ高い溶解性を有する溶剤が一般的に好ましい。
本方法の一つの態様では、193nmに感度のあるフォトレジストが使用される。このフォトレジストは、ポリマー、光酸発生剤、及び溶剤を含む。該ポリマーは、水性アルカリ性現像剤中に不溶性の(メタ)アクリレートポリマーである。このようなポリマーは、中でも、脂肪環式(メタ)アクリレート、メバロノラクトンメタクリレート、2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート、2−アダマンチルメタクリレート(AdMA)、2−メチル−2−アダマンチルアクリレート(MAdA)、2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート(EAdMA)、3,5−ジメチル−7−ヒドロキシアダマンチルメタクリレート(DMHAdMA)、イソアダマンチルメタクリレート、ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン(HAdMA; 例えば3位にヒドロキシ)、ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート(HADA; 例えば3位にヒドロキシ)、エチルシクロペンチルアクリレート(ECPA)、エチルシクロペンチルメタクリレート(ECPMA)、トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート(TCDMA)、3,5−ジヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン(DHAdMA)、β−メタクリルオキシ−γ−ブチロラクトン、α−もしくはβ−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート(α−もしくはβ−GBLMAのいずれか)、5−メタクリロイルオキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン(MNBL)、5−アクリロイルオキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン(ANBL)、イソブチルメタクリレート(IBMA)、α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート(α−GBLA)、スピロラクトン(メタ)アクリレート、オキシトリシクロデカン(メタ)アクリレート、アダマンタンラクトン(メタ)アクリレート、及びa−メタクリルオキシ−γ−ブチロラクトンなどのモノマーの重合から誘導される単位を含むことができる。これらのモノマーを用いて形成されるポリマーの例には、ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(t−ブチルノルボルネンカルボキシレート−co−無水マレイン酸−co−2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−メタクリロイルオキシノルボルネンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3,5−ジヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3,5−ジメチル−7−ヒドロキシアダマンチルメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルアクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−エチルシクロペンチルアクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−メタクリロイルオキシノルボルネンメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(エチルシクロペンチルメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−イソブチルメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−メタクリロイルオキシノルボルネンメタクリレート−co−β−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−メタクリロイルオキシ ノルボルネンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−メタクリルオキシアダマンタン−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−2−エチル−2−アダマンチル−co−メタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート); ポリ(2−メチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−5−アクリロイルオキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート); ポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンメタクリレート−co−2−アダマンチルメタクリレート); 及びポリ(2−エチル−2−アダマンチルメタクリレート−co−3−ヒドロキシ−1−アダマンチルアクリレート−co−α−ガンマ−ブチロラクトンアクリレート−co−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−イルメタクリレート)などが挙げられる。
該フォトレジストは、更に、添加剤、例えば塩基性クエンチャ、界面活性剤、染料、架橋剤などを含むことができる。有用なフォトレジストは、更に、米国特許出願公開第2009/0042148号明細書(特許文献11)及び米国特許出願公開第2007/0015084号明細書(特許文献12)に例示されている。これらの特許文献の内容は本明細書に掲載されたものとする。
第一のフォトレジストパターンを形成した後は、そのパターンを硬化性化合物で処理してフォトレジストを硬化して、パターンを第二のフォトレジスト組成物の溶剤中に不溶性にする。フォトレジストポリマーが、フォトレジスト単独での硬化温度よりも低いガラス転移温度(Tg)を有する場合には、硬化性化合物処理は非常に有用である。というのも、フォトレジストポリマーのTgよりも低い温度をフォトレジストパターンの硬化に使用できるからである。本発明の硬化処理にはアクリレートポリマーを含むフォトレジストが有用である。なぜならば、Tgが200℃よりも低いからである。本発明においては、硬化は、少なくとも二つのアミノ(−NH2)基を含む硬化性アミノ化合物を用い、同時にフォトレジストパターンを加熱することによって行われ、それによって硬化された第一のフォトレジストパターンが形成する。以下の理論に拘束はされないが、上記アミノ化合物が第一のフォトレジストパターン中に拡散し、そして熱の存在下にフォトレジストを架橋し、それによって硬化もしくは凍結されたパターンを形成する。このパターンは、第二のフォトレジスト組成物の溶剤中に不溶性になる。硬化処理は、チャンバまたは密閉型炉(enclosed oven)を用いてホットプレート上で、硬化性化合物の蒸気を用いて行うことができる。第一のフォトレジストパターンの硬化は、密閉型チャンバ中でホットプレート上で行うことができ、この際、アミノ化合物は、窒素などのキャリアガスと共に気化された形で導入され、そしてこのチャンバは、更に、密閉された雰囲気中でパターン化された基材を加熱するための熱源を含む。一つのケースでは、該チャンバは、基材を支持するためのホットプレート、アミノ化合物を導入するための入口、パージ(purging)用入口及び排気出口を含む。パージは窒素ガスを用いて行うことができる。図2は、パターン硬化のための典型的なチャンバを示す。アミノ化合物の種類、硬化温度及び時間、アミノ化合物の濃度、チャンバ中でのアミノ化合物の流量などの条件は、最適な程度の硬化を得るために最適化される。硬化の程度は、硬化されたフォトレジストを試験溶剤中に浸けて、処理されたフォトレジストのフィルム厚の損失を測定することによって求めることができる。最小のフィルム厚の損失が望ましく、ここで第二のフォトレジストの溶剤中での処理されたフォトレジストのフィルム厚の損失は10nm未満、好ましくは8nm未満、より好ましくは5nm未満である。不十分な硬化は第一のフォトレジストを溶解させてしまう。具体的には、溶剤は、例として本明細書に記載のフォトレジストの一種またはそれ以上の溶剤から選択し得る。
硬化性化合物は、少なくとも二つのアミノ(NH2)基を含む。この化合物は、構造(1)によって例示できる。
WはC1〜C8アルキレンであり、そしてnは1〜3である。該アミノ化合物の一つの態様では、nは1である。アルキレンは線状または分枝状であることができる。好ましくは、アルキレンはC1〜C4である。該アミノ化合物の例は、次のものである:
エチレンジアミン H2NCH2CH2NH2
アミノ化合物をチャンバ中で使用する場合は、蒸気を形成することができる化合物が好ましい。アミノ化合物は、約25℃〜約250℃の範囲の温度で、約30秒間〜約20分間、硬化するのに使用できる。硬化温度は、フォトレジストポリマーのTg辺りかまたはTgよりも0〜10℃以下内であることもできる。該化合物の流量は、約1〜約10mL/分の範囲であることができる。該アミノ化合物の蒸気圧及び/またはその温度は、硬化反応を加速するために高めることができる。該アミノ化合物の使用は、第一のフォトレジストパターンの熱的硬化だけの場合よりも、より低い硬化温度及びより短い硬化時間を可能にする。
上記の処理工程の後に追加のベーク工程を含めることができ、これは、更に、パターンの架橋及び/または緻密化を誘発させ得、またフィルム中の残留ガスを揮発させる。このベーク工程は約190℃〜約250℃の温度範囲であることができる。緻密化は向上したパターンプロフィルを与え得る。
フォトレジストの適当な量の硬化の後に、第一のフォトレジストパターンを、任意に、洗浄溶液で処理することができる。洗浄溶液の例は、フォトレジスト用のエッジビーズリムーバ、例えば商業的に入手可能なAZ(登録商標)ArFシンナーまたはAZ(登録商標)ArF MPシンナー、または一種またはそれ以上のフォトレジスト溶剤の任意のものであることができる。
次いで、第一のフォトレジストパターンを被覆して、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジストの第二の層を形成する。この第二の層は、トポグラフィ効果(topography effects)を低減するために、第一のフォトレジスト層の厚さと同じかまたはこれより厚い。第二のフォトレジストは、ポリマー、光酸発生剤及び溶剤を含む。第二のフォトレジストは、第一のフォトレジストと同じかまたは異なるものであることができる。第二のフォトレジストは、任意の既知のフォトレジスト、例えば本明細書に記載のものから選択することができる。第二のフォトレジストは、上述のように、第一のフォトレジストの場合と同じように、像様露光、現像される。被膜を形成した後に第二のフォトレジスト層にエッジビーズリムーバを使用してもよい。こうして、第二のフォトレジストパターンが第一のフォトレジストパターン間に画定され、そして単一層像形成プロセスと比べてより小さくかつより多くの図形をデバイスにパターン化することを可能にする。フォトレジストパターンの密度は高まる。
フォトレジストの単一層をコーティング及び像形成する方法は、当業者には周知であり、そして使用するフォトレジストの特定のタイプに合わせて最適化される。像形成されたフォトレジストから基材への及び反射防止膜を介した像の転写は、単一層フォトレジスト被膜を介したエッチングに使用されるものと同様の方法でドライエッチングによって行われる。パターン化された基材は、エッチングガスまたは複数種のガスの混合物を用いて、適当なエッチングチャンバ中でドライエッチして、反射防止膜の露光された部分を除去することができ、この際、残留しているフォトレジストはエッチングマスクとして働く。有機反射防止膜のエッチング用として様々なガスが当技術分野において知られており、例えばO2、Cl2、F2及びCF4などがある。
特に断りがない限り、本明細書及び特許請求の範囲で使用する成分の量、分子量などの性質、反応条件などを表す全ての数値は、全ての場合において“約”という言葉によって修飾されるものと理解されたい。上記で引用した文献はそれぞれ、全ての目的に関しその内容の全てが本明細書に掲載されたものとする。2008年4月2日に出願された米国特許出願第12/061,111号明細書(特許文献13)も、その内容の全てが本明細書に掲載されたものとする。以下の具体例は、本発明の組成物を製造及び使用する方法の詳細な例示を与えるものである。しかし、これらの例は本発明の範囲を如何様にも限定もしくは減縮することを意図したものではなく、本発明を実施するために排他的に使用しなければならない条件、パラメータまたは値を与えるものと解釈するべきものではない。
フィルムの厚さの測定は、J.A.Woollam(登録商標)VUV VASE(登録商標)(真空紫外変角分光エリプトメトリー)分光エリプソメーターで導いたコーシーの材料依存定数を用いてNanospec 8000で行った。底面反射防止膜上のフォトレジストは、フォトレジストのフィルム厚にのみフィットするようにモデル化した。
CD−SEM(微小寸法走査電子顕微鏡)測定は、Applied Materials SEM VisionまたはNanoSEMのいずれかで行った。断面SEM像は、Hitachi 4700で得た。
リソグラフィ露光は、8インチ(0.2032m)でも作業できるように改修されたTokyo Electron Clean Track 12にインターフェースで接続されたNikon NSR−306D(NA:0.85)で行った。各ウェハを、AZ(登録商標)ArF−1C5D(AZ Electronic Materials USA Corps,Somerville,NJ,USAから入手可能な底面反射防止コーティング材)でコーティングし、そして200℃/60秒でベークして、37nmのフィルム厚を達成した。90nmフィルムを1500rpmのコーター回転速度で達成できるように、市販のAZ(登録商標)AX2110P(AZ Electronic Materials USA Corps,Somerville,NJ,USAから入手可能)フォトレジストをAZ(登録商標)ArF MPシンナー(80:20 メチル−2−ヒドロキシイソブチレート:PGMEA)で希釈した。1:1 90nmライン/スペース図形からなる大面積格子を有する減衰PSM(位相マスク)レチクル(マスク)を、ダイポール照明(0.82外シグマ、0.43内シグマ)を用いて過剰露光して約45nmラインを結像した。フォトレジストを100℃/60秒でソフトベークし、そして110℃/60秒で露光後ベーク(PEB)した。PEB後、各ウェハを、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)を含みかつ界面活性剤不含の現像剤であるAZ(登録商標)300MIF(AZ Electronic Materials USA Corps,Somerville,NJ,USAから入手可)で30秒間現像した。
第二の露光は、上記の第一のフォトレジスト露光と同じフォトレジスト組成物及び同じ加工条件を使用した。底面反射防止膜(BARC)は必要なかった。なぜならば、第一露光からのBARCが残っているからである。フィールド配置をフィールドの列を横切る方向に増加的に12nmシフトさせて(180nmピッチ/15フィールド)、完全なオフセット期間が得られるようにしたことを除き、同じレチクルを使用した。
気相反応チャンバ(VCR):フォトレジスト像の凍結
VRCの概略図を図2に示す。プロトタイプの凍結チャンバを、1/2インチ(0.0127m)ゲージのステンレススチールから構築した。10インチ(0.254m)径の円筒状ウェハ室は、ゴム製ガスケットで封止した除去蓋(removal lid)を有する。この蓋の重さは密な封止がされることを保証する。チャンバ全体は、12×12インチ(0.3048×0.3048m)Cimarecデジタルホットプレート上に置く。
VRCの概略図を図2に示す。プロトタイプの凍結チャンバを、1/2インチ(0.0127m)ゲージのステンレススチールから構築した。10インチ(0.254m)径の円筒状ウェハ室は、ゴム製ガスケットで封止した除去蓋(removal lid)を有する。この蓋の重さは密な封止がされることを保証する。チャンバ全体は、12×12インチ(0.3048×0.3048m)Cimarecデジタルホットプレート上に置く。
凍結液を、ポロシティCフリットストッパ(porosity C fritted stopper)を備えた250mLのガス洗浄ボトル(23)中に入れる。窒素を液中にバブリングし、そして凍結蒸気を、加熱された反応チャンバ(25)内でウェハの上に通した。ガスは、ガスマニホルド弁(22)によって制御し、そして流量は、Riteflow流量計(21)で監視する。プライムチャンバとは異なり、減圧は使用しない。なぜならば、装置全体が、内側気流排気フード(inward airflow exhausted hood)内にセットアップされているからである。チャンバから出るガスは、フードの後方に無制限に排気されるため(28)、チャンバ内の全体的な圧力はほぼ大気圧である。
チャンバを通して加工されたウェハは手作業でチャンバ中に置かれる。カバー(26)は一番上に置かれ、そして窒素パージは、所定の時間、凍結/窒素ガスに切り替えられ、その後、ガスは再び純粋な窒素に切り替えられ、そしてウェハは取り出される。
図2は、気相反応チャンバ(VRC)の概略図を示す。チャンバは二つの入口からなり、その一方は窒素パージ用であり、他方は、凍結用蒸気を運ぶ窒素用である。第三のポート(28)は排気のために使用される。チャンバ(25)は、外部ホットプレート(27)で加熱される。
像硬化(凍結)試験
フォトレジストの凍結に液体が効果的かを検証するために、様々な試験を行った。
浸漬試験: この試験は、ウェハが全体的に溶剤パドルで覆われるまで、ウェハ上にAZ ArFシンナーを供することによって行った。30秒後、ウェハを500rpmで回転してパドルを除去し、他方、新鮮なAZ ArFシンナー(PGMEA:PGME 70:30)のダイナミックディスペンス(dynamic dispense)を続けて、ウェハの中央に5秒間供した。最後に、回転速度を20秒間、1500rpmに加速して水を乾燥した。凍結加工を行わない場合または不十分な凍結液を使用した場合には、結像された第一のフォトレジストは完全に除去され、BARCだけが残る。フォトレジスト像の凍結に効果的な材料に関しては、未露光の領域において浸漬する前と後で、そのフィルム厚を比較した。浸漬後のフィルム厚に差がないことは、凍結が二重パターン加工に十分であることを示す。
フォトレジストの凍結に液体が効果的かを検証するために、様々な試験を行った。
浸漬試験: この試験は、ウェハが全体的に溶剤パドルで覆われるまで、ウェハ上にAZ ArFシンナーを供することによって行った。30秒後、ウェハを500rpmで回転してパドルを除去し、他方、新鮮なAZ ArFシンナー(PGMEA:PGME 70:30)のダイナミックディスペンス(dynamic dispense)を続けて、ウェハの中央に5秒間供した。最後に、回転速度を20秒間、1500rpmに加速して水を乾燥した。凍結加工を行わない場合または不十分な凍結液を使用した場合には、結像された第一のフォトレジストは完全に除去され、BARCだけが残る。フォトレジスト像の凍結に効果的な材料に関しては、未露光の領域において浸漬する前と後で、そのフィルム厚を比較した。浸漬後のフィルム厚に差がないことは、凍結が二重パターン加工に十分であることを示す。
CD測定: 浸漬工程の前及び後に調べたパターン化された領域におけるフォトレジストパターンの微小寸法(CD)も、凍結工程が有効に働いたかどうかの指標である。硬化が十分でない場合は、図形が膨張するかまたは溶解し得る。
折々、首尾良く凍結されたウェハを次いで高温ベーク及び/または溶剤洗浄に通して処理して、フォトレジストプロフィルに対する後加工の影響を試験した。これらの工程は、上記のTEL(Tokyo Electron Limited)トラックで試験した。溶剤洗浄は、AZ(登録商法)ArFシンナーであった。
実施例1
各種硬化用ガスを、AZ(登録商標)AX2110Pフォトレジストのみを用いて上記の像形成工程を使用して評価した。硬化は、VCRを用いて及び上記方法に従い、異なる時間で様々なホットプレート温度で行った。硬化されたフォトレジスト像を、上述のようにAZ ArFシンナー中に浸漬した。硬化工程の前は、第一のフォトレジスト像の微小寸法(CD)は38nmであった。CDは、硬化工程が完了した後に再び測定した。硬化処理の前と硬化処理の後の約8〜10nmのCDの差異が好ましい。硬化工程の前と後のCDの大きな変化は不十分な硬化を示し、これは、パターンの溶解、膨張または流動を招き得る。硬化用材料の比較を表1に記載する。
各種硬化用ガスを、AZ(登録商標)AX2110Pフォトレジストのみを用いて上記の像形成工程を使用して評価した。硬化は、VCRを用いて及び上記方法に従い、異なる時間で様々なホットプレート温度で行った。硬化されたフォトレジスト像を、上述のようにAZ ArFシンナー中に浸漬した。硬化工程の前は、第一のフォトレジスト像の微小寸法(CD)は38nmであった。CDは、硬化工程が完了した後に再び測定した。硬化処理の前と硬化処理の後の約8〜10nmのCDの差異が好ましい。硬化工程の前と後のCDの大きな変化は不十分な硬化を示し、これは、パターンの溶解、膨張または流動を招き得る。硬化用材料の比較を表1に記載する。
実施例2
実施例1と同じ方法を用いて、AZ AX 2110P単独及び1,2−ジアミノエタン(DAE)硬化用材料を用いた硬化実験を表2に示す。最良の硬化条件は、おおよそ100℃のベーク温度、20分のベーク、3L/分のDAEパージ流量であることが確認された。これらの条件を用いた場合、フォトレジストフィルムは、上記の浸漬試験を用いた浸漬の後に溶解の兆候を示さなかった。実施例1から明らかなように、より高い温度を用いるとより短い硬化時間が可能である。
実施例1と同じ方法を用いて、AZ AX 2110P単独及び1,2−ジアミノエタン(DAE)硬化用材料を用いた硬化実験を表2に示す。最良の硬化条件は、おおよそ100℃のベーク温度、20分のベーク、3L/分のDAEパージ流量であることが確認された。これらの条件を用いた場合、フォトレジストフィルムは、上記の浸漬試験を用いた浸漬の後に溶解の兆候を示さなかった。実施例1から明らかなように、より高い温度を用いるとより短い硬化時間が可能である。
実施例3
第一パターン露光: AZ AX2110Pを、最良の焦点で40mJの線量を用いて上述のようにコーティング、露光及び現像した。45nmで、DOF(被写界深度)は約0.2ミクロン(μm)である。この第一の2110P像を、蒸気窒素ガス混合物に関して3L/分の流量において、DAEを用いて100℃のホットプレート温度で20分間、VRCプロセスにより凍結した。第二のパターンを形成するために、AX2110Pフォトレジストを、60mJの線量を使用したことを除き第一露光に使用した条件を用いて、上記の凍結された像の上に直接コーティングし、露光し、そして現像した。第二露光のプロセスマージンを、トップダウンCD SEMによって求めたところ、第一露光と同様のものであった。測定は、フィールドが適切に覆われており、第二露光のラインが第一露光に組み合わさっているところのフィールドを確認することによって行った。フィールドのエッジは、ラインが第一露光と第二露光とに簡単に識別できるように使用した。解裂したSEMは、適切なオフセットを有するフィールドが、単一露光のピッチの1/2に相当する90nmピッチ(この実施例では、線量が異なるために、第一露光からのラインは60nmであり、第二露光からのラインは40nmであった)において、第一露光の45nm凍結ラインに組み合った第二露光からのラインを示し、第一パターンの間に第二パターンが在る正確な二重パターンを形成したことを明らかにした。
第一パターン露光: AZ AX2110Pを、最良の焦点で40mJの線量を用いて上述のようにコーティング、露光及び現像した。45nmで、DOF(被写界深度)は約0.2ミクロン(μm)である。この第一の2110P像を、蒸気窒素ガス混合物に関して3L/分の流量において、DAEを用いて100℃のホットプレート温度で20分間、VRCプロセスにより凍結した。第二のパターンを形成するために、AX2110Pフォトレジストを、60mJの線量を使用したことを除き第一露光に使用した条件を用いて、上記の凍結された像の上に直接コーティングし、露光し、そして現像した。第二露光のプロセスマージンを、トップダウンCD SEMによって求めたところ、第一露光と同様のものであった。測定は、フィールドが適切に覆われており、第二露光のラインが第一露光に組み合わさっているところのフィールドを確認することによって行った。フィールドのエッジは、ラインが第一露光と第二露光とに簡単に識別できるように使用した。解裂したSEMは、適切なオフセットを有するフィールドが、単一露光のピッチの1/2に相当する90nmピッチ(この実施例では、線量が異なるために、第一露光からのラインは60nmであり、第二露光からのラインは40nmであった)において、第一露光の45nm凍結ラインに組み合った第二露光からのラインを示し、第一パターンの間に第二パターンが在る正確な二重パターンを形成したことを明らかにした。
実施例4
VRCに通して像を加工した後に200℃のベークを加えて、実施例3と類似の方法で二重パターン化像形成が達成された。結果は、実施例3のように後硬化ベーク無しの場合と同様であることが確認された。
VRCに通して像を加工した後に200℃のベークを加えて、実施例3と類似の方法で二重パターン化像形成が達成された。結果は、実施例3のように後硬化ベーク無しの場合と同様であることが確認された。
実施例5
200℃のベークの後に30秒のAZ ArFシンナーパドル浸漬を加えて像を清掃して、実施例4と同様にして二重パターン化像形成が達成された。結果は実施例4と同様であることが確認された。
200℃のベークの後に30秒のAZ ArFシンナーパドル浸漬を加えて像を清掃して、実施例4と同様にして二重パターン化像形成が達成された。結果は実施例4と同様であることが確認された。
実施例6
VRCガスとして1,3−プロピレンジアミンを使用したことを除き実施例4と類似の方法で二重パターン化像形成が達成された。結果は実施例4と同様であることが確認された。
VRCガスとして1,3−プロピレンジアミンを使用したことを除き実施例4と類似の方法で二重パターン化像形成が達成された。結果は実施例4と同様であることが確認された。
実施例7
52mJ/cm2の露光線量を各々の露光に使用しかつVRCチャンバを、2分間で180℃に相当する条件で用いたことを除き、実施例4と類似の方法で二重パターン化像形成を達成した、結果は、両パターンについて45nmラインに関して実施例4と同様であることが確認された。
52mJ/cm2の露光線量を各々の露光に使用しかつVRCチャンバを、2分間で180℃に相当する条件で用いたことを除き、実施例4と類似の方法で二重パターン化像形成を達成した、結果は、両パターンについて45nmラインに関して実施例4と同様であることが確認された。
Claims (19)
- a) 第一のフォトレジスト組成物から基材上に第一のフォトレジストの層を形成し;
b) 第一のフォトレジストを像様露光し;
c) 第一のフォトレジストを現像して第一のフォトレジストパターンを形成し;
d) 第一のフォトレジストパターンを、少なくとも二つのアミノ(NH2)基を含む硬化性化合物で処理して、硬化された第一フォトレジストパターンを形成し;
e) 硬化された第一フォトレジストパターンを含む基材の領域上で、第二のフォトレジスト組成物から第二のフォトレジスト層を形成し;
f) 第二のフォトレジストを像様露光し; 及び
g) 像様露光された第二のフォトレジストを現像して、第一のフォトレジストパターン間に第二のフォトレジストパターンを形成し、それによって二重フォトレジストパターンを供する、
ことを含む、デバイス上にフォトレジストパターンを形成する方法。 - 硬化性化合物が以下の構造(1)を有する、請求項1の方法。
- nが1である、請求項2の方法。
- 硬化性化合物が、1,2−ジアミノエタン、1,3−プロパンジアミン、及び1,5−ジアミノ−2−メチルペンタンから選択される、請求項2または3の方法。
- 第一フォトレジストパターンの処理工程が、気化した硬化性化合物を用いる、請求項1〜4のいずれか一つの方法。
- 処理工程が加熱工程を含む、請求項1〜5のいずれか一つの方法。
- 加熱工程が約80℃〜約225℃の範囲である、請求項6の方法。
- 第一のフォトレジスト組成物及び第二のフォトレジスト組成物が同一である、請求項1〜7のいずれか一つの方法。
- フォトレジストがネガ型もしくはポジ型から選択される、請求項1〜8のいずれか一つの方法。
- 第一のフォトレジストが化学増幅型フォトレジストである、請求項1〜9のいずれか一つの方法。
- 第一のフォトレジスト組成物が、ポリマー、光酸発生剤及び溶剤を含む、請求項1〜10のいずれか一つの方法。
- ポリマーが(メタ)アクリレートポリマーである、請求項11の方法。
- 硬化工程の後に、第一のフォトレジストが、第二のフォトレジスト組成物の溶剤中に不溶性である、請求項1〜12のいずれか一つの方法。
- 第二のフォトレジストの溶剤中での第一のフォトレジストパターンの厚さの損失が10nm未満である、請求項1〜13のいずれか一つの方法。
- 第二のフォトレジスト組成物の溶剤が、PGMEA、PGME、乳酸エチル及びこれらの混合物から選択される、請求項13または14の方法。
- 像様露光が193nm、248nm、365nm及び436nmから選択される、請求項1〜15のいずれか一つの方法。
- 現像が水性アルカリ性現像剤を用いて行われる、請求項1〜16のいずれか一つの方法。
- 処理工程の後に更にベーク工程を含む、請求項1〜17のいずれか一つの方法。
- 第二のフォトレジスト層を形成する前に、硬化されたパターンを溶剤洗浄する工程を更に含む、請求項1〜18のいずれか一つの方法。
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---|---|---|---|---|
EP2159641A1 (en) * | 2007-06-15 | 2010-03-03 | Fujifilm Corporation | Surface treatment agent for forming pattern and pattern forming method using the treatment agent |
TWI505046B (zh) * | 2008-01-24 | 2015-10-21 | Jsr Corp | 光阻圖型之形成方法及微細化光阻圖型之樹脂組成物 |
US20090253081A1 (en) * | 2008-04-02 | 2009-10-08 | David Abdallah | Process for Shrinking Dimensions Between Photoresist Pattern Comprising a Pattern Hardening Step |
JP2009271259A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Fujifilm Corp | レジストパターン用表面処理剤および該表面処理剤を用いたレジストパターン形成方法 |
US20100183851A1 (en) * | 2009-01-21 | 2010-07-22 | Yi Cao | Photoresist Image-forming Process Using Double Patterning |
US8084186B2 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-27 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Hardmask process for forming a reverse tone image using polysilazane |
KR101715343B1 (ko) * | 2009-03-11 | 2017-03-14 | 주식회사 동진쎄미켐 | 반도체 소자의 미세 패턴 형성 방법 |
US8361335B2 (en) | 2009-06-08 | 2013-01-29 | GlobalFoundries, Inc. | Methods for fabricating semiconductor devices |
TWI420571B (zh) * | 2009-06-26 | 2013-12-21 | 羅門哈斯電子材料有限公司 | 形成電子裝置的方法 |
TWI476816B (zh) * | 2009-06-26 | 2015-03-11 | 羅門哈斯電子材料有限公司 | 自我對準間隔之多重圖案化方法 |
JP5515459B2 (ja) * | 2009-07-06 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 半導体デバイスの製造方法 |
EP2336824A1 (en) * | 2009-11-19 | 2011-06-22 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. | Methods of forming electronic devices |
CN102207676B (zh) * | 2010-03-30 | 2013-04-03 | Asml控股股份有限公司 | 使用光刻术制造半导体器件的方法和系统 |
US8173548B2 (en) | 2010-05-28 | 2012-05-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Reverse planarization method |
JP5967083B2 (ja) * | 2011-05-18 | 2016-08-10 | Jsr株式会社 | ダブルパターン形成方法 |
CN102879998A (zh) * | 2012-09-18 | 2013-01-16 | 深圳力合光电传感技术有限公司 | 一种触摸屏的刻蚀方法 |
KR102215782B1 (ko) | 2013-12-16 | 2021-02-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법 |
US9679803B2 (en) * | 2014-01-13 | 2017-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for forming different patterns in a semiconductor structure using a single mask |
KR101571711B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2015-11-25 | 동우 화인켐 주식회사 | 신너 조성물 |
JP2017138514A (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | 表面処理用組成物およびそれを用いたレジストパターンの表面処理方法 |
Family Cites Families (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4151313A (en) * | 1977-03-11 | 1979-04-24 | Hitachi, Ltd. | Method for production of printed circuits by electroless metal plating employing a solid solution of metal oxides of titanium, nickel, and antimony as a masking material |
US4491628A (en) * | 1982-08-23 | 1985-01-01 | International Business Machines Corporation | Positive- and negative-working resist compositions with acid generating photoinitiator and polymer with acid labile groups pendant from polymer backbone |
US4770974A (en) * | 1986-09-18 | 1988-09-13 | International Business Machines Corporation | Microlithographic resist containing poly(1,1-dialkylsilazane) |
US4999280A (en) * | 1989-03-17 | 1991-03-12 | International Business Machines Corporation | Spray silylation of photoresist images |
EP0440374B1 (en) * | 1990-01-30 | 1997-04-16 | Wako Pure Chemical Industries Ltd | Chemical amplified resist material |
JPH05205989A (ja) * | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Hitachi Ltd | リソグラフィ法及び半導体装置の製造方法 |
DE59310074D1 (de) * | 1992-07-09 | 2000-08-17 | Ciba Sc Holding Ag | Härtbare Suspensionen auf Basis von Epoxidharzen |
JP2790163B2 (ja) * | 1993-07-29 | 1998-08-27 | 富士通株式会社 | シリコン酸化膜の形成方法、半導体装置の製造方法及びフラットディスプレイ装置の製造方法 |
JPH09132657A (ja) * | 1995-09-04 | 1997-05-20 | Canon Inc | 基材の表面処理方法及び該方法を用いたインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
KR100206597B1 (ko) * | 1995-12-29 | 1999-07-01 | 김영환 | 반도체 장치의 미세패턴 제조방법 |
US5843624A (en) * | 1996-03-08 | 1998-12-01 | Lucent Technologies Inc. | Energy-sensitive resist material and a process for device fabrication using an energy-sensitive resist material |
TW329539B (en) * | 1996-07-05 | 1998-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | The semiconductor device and its manufacturing method |
US6808859B1 (en) * | 1996-12-31 | 2004-10-26 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | ArF photoresist copolymers |
US5863707A (en) * | 1997-02-11 | 1999-01-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for producing ultra-fine interconnection features |
US6849377B2 (en) * | 1998-09-23 | 2005-02-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Photoresists, polymers and processes for microlithography |
US6221562B1 (en) * | 1998-11-13 | 2001-04-24 | International Business Machines Corporation | Resist image reversal by means of spun-on-glass |
US6114085A (en) * | 1998-11-18 | 2000-09-05 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Antireflective composition for a deep ultraviolet photoresist |
US6924339B2 (en) * | 1999-03-12 | 2005-08-02 | Arch Specialty Chemicals, Inc. | Thermally cured underlayer for lithographic application |
US6790587B1 (en) * | 1999-05-04 | 2004-09-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluorinated polymers, photoresists and processes for microlithography |
KR100310252B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2001-11-14 | 박종섭 | 유기 반사방지 중합체 및 그의 제조방법 |
WO2001040865A1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-06-07 | Brewer Science, Inc. | Non-aromatic chromophores for use in polymer anti-reflective coatings |
KR100576201B1 (ko) * | 2000-01-17 | 2006-05-03 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 화학 증폭형 레지스트 재료 |
US6686124B1 (en) * | 2000-03-14 | 2004-02-03 | International Business Machines Corporation | Multifunctional polymeric materials and use thereof |
EP1302813A4 (en) * | 2000-06-21 | 2005-02-23 | Asahi Glass Co Ltd | RESIST COMPOSITION |
US6447980B1 (en) * | 2000-07-19 | 2002-09-10 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Photoresist composition for deep UV and process thereof |
AU8500701A (en) * | 2000-08-17 | 2002-02-25 | Shipley Co Llc | Etch resistant antireflective coating compositions |
US20020155389A1 (en) * | 2000-10-24 | 2002-10-24 | Bharath Rangarajan | Inverse resist coating process |
KR100374642B1 (ko) * | 2000-11-27 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자의 층간절연막 형성방법 |
US6773872B2 (en) * | 2000-12-29 | 2004-08-10 | Shipley Company, L.L.C. | Reduction of inorganic contaminants in polymers and photoresist compositions comprising same |
WO2002065212A1 (fr) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Asahi Glass Company, Limited | Composition de reserve |
US6303524B1 (en) * | 2001-02-20 | 2001-10-16 | Mattson Thermal Products Inc. | High temperature short time curing of low dielectric constant materials using rapid thermal processing techniques |
US6927266B2 (en) * | 2001-02-22 | 2005-08-09 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Bottom anti-reflective coat forming composition for lithography |
EP1236742A1 (en) * | 2001-02-28 | 2002-09-04 | Bayer Ag | Controlled free-radical polymerization products using new control agents |
KR100419962B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2004-03-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 유기반사방지막 조성물 및 그의 제조방법 |
TW591341B (en) * | 2001-09-26 | 2004-06-11 | Shipley Co Llc | Coating compositions for use with an overcoated photoresist |
US6723488B2 (en) * | 2001-11-07 | 2004-04-20 | Clariant Finance (Bvi) Ltd | Photoresist composition for deep UV radiation containing an additive |
US6780569B1 (en) * | 2002-02-04 | 2004-08-24 | Lam Research Corporation | Post-development treatment of patterned photoresist to promote cross-linking of polymer chains |
US6894104B2 (en) * | 2002-05-23 | 2005-05-17 | Brewer Science Inc. | Anti-reflective coatings and dual damascene fill compositions comprising styrene-allyl alcohol copolymers |
US7217491B2 (en) * | 2002-06-07 | 2007-05-15 | Battelle Memorial Institute | Antireflective coatings |
JP2004101849A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 洗浄剤組成物 |
US7323289B2 (en) * | 2002-10-08 | 2008-01-29 | Brewer Science Inc. | Bottom anti-reflective coatings derived from small core molecules with multiple epoxy moieties |
JP2004179254A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
KR100503527B1 (ko) * | 2003-02-12 | 2005-07-26 | 삼성전자주식회사 | 퍼하이드로 폴리실라잔을 포함하는 반도체 소자 제조용조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
KR100645458B1 (ko) * | 2003-10-02 | 2006-11-13 | 주식회사 하이닉스반도체 | 습식 세정에 의한 어택을 방지할 수 있는 반도체 장치제조 방법 |
JP4491283B2 (ja) * | 2004-06-10 | 2010-06-30 | 信越化学工業株式会社 | 反射防止膜形成用組成物を用いたパターン形成方法 |
US7833696B2 (en) * | 2004-12-17 | 2010-11-16 | Dow Corning Corporation | Method for forming anti-reflective coating |
KR100674967B1 (ko) * | 2005-04-06 | 2007-01-26 | 삼성전자주식회사 | 더블 패터닝 방식을 이용한 미세 피치를 갖는 포토레지스트패턴 형성방법 |
US7521170B2 (en) * | 2005-07-12 | 2009-04-21 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Photoactive compounds |
US8153350B2 (en) * | 2005-08-24 | 2012-04-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and material for forming high etch resistant double exposure patterns |
KR100688570B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 식각 마스크 패턴 형성용 코팅 조성물 및 이를 이용한반도체 소자의 미세 패턴 형성 방법 |
US7528200B2 (en) * | 2006-02-01 | 2009-05-05 | Ardes Enterprises, Inc. | Epoxy hardener systems based on aminobis(methylene-ethyleneurea) |
US20070298349A1 (en) * | 2006-06-22 | 2007-12-27 | Ruzhi Zhang | Antireflective Coating Compositions Comprising Siloxane Polymer |
US7704670B2 (en) * | 2006-06-22 | 2010-04-27 | Az Electronic Materials Usa Corp. | High silicon-content thin film thermosets |
JP4869811B2 (ja) * | 2006-07-19 | 2012-02-08 | 東京応化工業株式会社 | 微細パターンの形成方法 |
JP5138916B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2013-02-06 | 東京応化工業株式会社 | パターン形成方法 |
WO2008070060A2 (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Device manufacturing process utilizing a double pattering process |
US20080160459A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Benjamin Szu-Min Lin | Method of forming a pattern |
KR100876783B1 (ko) * | 2007-01-05 | 2009-01-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 미세 패턴 형성 방법 |
US8026040B2 (en) * | 2007-02-20 | 2011-09-27 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Silicone coating composition |
US7923200B2 (en) * | 2007-04-09 | 2011-04-12 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Composition for coating over a photoresist pattern comprising a lactam |
JP5069494B2 (ja) * | 2007-05-01 | 2012-11-07 | AzエレクトロニックマテリアルズIp株式会社 | 微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法 |
US8017296B2 (en) * | 2007-05-22 | 2011-09-13 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Antireflective coating composition comprising fused aromatic rings |
US7758981B2 (en) * | 2007-07-25 | 2010-07-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for making a master disk for nanoimprinting patterned magnetic recording disks, master disk made by the method, and disk imprinted by the master disk |
US20090042148A1 (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Munirathna Padmanaban | Photoresist Composition for Deep UV and Process Thereof |
US8313571B2 (en) * | 2007-09-21 | 2012-11-20 | Microchem Corp. | Compositions and processes for manufacturing printed electronics |
US7935477B2 (en) * | 2007-11-30 | 2011-05-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Double patterning strategy for contact hole and trench |
US7989144B2 (en) * | 2008-04-01 | 2011-08-02 | Az Electronic Materials Usa Corp | Antireflective coating composition |
US20090253081A1 (en) * | 2008-04-02 | 2009-10-08 | David Abdallah | Process for Shrinking Dimensions Between Photoresist Pattern Comprising a Pattern Hardening Step |
US7981592B2 (en) * | 2008-04-11 | 2011-07-19 | Sandisk 3D Llc | Double patterning method |
US7932018B2 (en) * | 2008-05-06 | 2011-04-26 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Antireflective coating composition |
US20100040838A1 (en) * | 2008-08-15 | 2010-02-18 | Abdallah David J | Hardmask Process for Forming a Reverse Tone Image |
US8492282B2 (en) * | 2008-11-24 | 2013-07-23 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming a masking pattern for integrated circuits |
US20100183851A1 (en) * | 2009-01-21 | 2010-07-22 | Yi Cao | Photoresist Image-forming Process Using Double Patterning |
US8084186B2 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-27 | Az Electronic Materials Usa Corp. | Hardmask process for forming a reverse tone image using polysilazane |
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