KR100310252B1 - 유기 반사방지 중합체 및 그의 제조방법 - Google Patents
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- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
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Abstract
Description
Claims (49)
- 하기 화학식 21의 구조를 갖는 9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트.(화학식 21)
- 9-안트라센알데히드옥심과 피리딘을 테트라하이드로퓨란에 용해시킨 후 아크릴로일클로라이드를 가하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 21의 9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트의 제조방법.
- 하기 화학식 27의 구조를 갖는 9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트.(화학식 27)
- 9-안트라센알데히드옥심과 피리딘을 테트라하이드로퓨란에 용해시킨 후 메타크릴로일클로라이드를 가하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 27의 9-안트랄알데히드옥심메타크아크릴레이트의 제조방법.
- 하기 화학식 1의 구조를 갖는 중합체 화합물.(화학식 1)상기식에서 Ra,Rb,Rc는 각각 수소 또는 메틸기를 나타내며,R1내지 R9는 수소, 하이드록시, 메톡시카르보닐, 카르복실, 하이드록시메틸, C1∼C6의치환, 또는 비치환된 직쇄 또는 측쇄알킬, 알칸이거나 알콕시알킬, 알콕시알킨을 나타내며,w,x,y 는 각각 0.01∼0.99 몰분율이고, m,n은 각각 1내지 4의 정수를 나타낸다.
- 제 5 항에 있어서, Ra,Rb는 각각 수소, Rc는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트].
- 제 5 항에 있어서, Ra,Rb는 각각 수소, Rc는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트].
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- 제 5 항에 있어서, Ra,Rb,Rc는 각각 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트].
- 제 5 항에 있어서, Ra,Rc는 각각 메틸기, Rb는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트].
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- 제 5 항에 있어서, Ra,Rc는 각각 메틸기, Rb는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트].
- 제 5 항에 있어서, Ra는 메틸기, Rb ,Rc는 각각 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트].
- 제 5 항에 있어서, Ra는 메틸기, Rb ,Rc는 각각 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트].
- 제 5 항에 있어서, Ra는 메틸기, Rb ,Rc는 각각 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y 는 0.5:0.3:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트].
- 9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트계 단량체, 하이드록시알킬아크릴레이트계 단량체, 글리시딜아크릴레이트계 단량체를 개시제와 함께 용매중에 중합반응시키는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 17 항에 있어서, 상기 각 단량체의 몰비는 0.1∼0.99 : 0.1∼0.99 : 0.1∼0.99로 하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 17 항에 있어서, 상기 개시제는 2,2-아조비스이소부티로니트릴(AIBN), 아세틸퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥사이드로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 17 항에 있어서, 상기 용매는 테트라하이드록퓨란, 톨루엔, 벤젠, 메틸에틸케톤 또는 디옥산으로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 17 항에 있어서, 상기 중합반응은 50~90℃의 온도범위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 1의 화합물을 제조하는 방법.
- 하기 화학식 2의 구조를 갖는 중합체 화합물.(화학식 2)상기식에서 Ra,Rb,Rc,Rd는 각각 수소 또는 메틸기를 나타내며,R1내지 R9는 수소, 하이드록시, 메톡시카르보닐, 카르복실, 하이드록시메틸, C1∼C6의치환, 또는 비치환된 직쇄 또는 측쇄알킬, 알칸이거나 알콕시알킬, 알콕시알칸을 나타내며,w,x,y,z 는 각각 0.01∼0.99 몰분율이고, m,n은 각각 1내지 5의 정수를 나타낸다.
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rb는 각각 수소, Rc,Rd는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rb는 각각 수소, Rc,Rd는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,RbRc는 각각 수소, Rd는 메틸기, R1∼R9는 수소,w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,RbRc는 각각 수소, Rd는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,RbRc는 각각 수소, Rd는 메틸기, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rc,Rd는 메틸기,Rb는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rc,Rd는 메틸기,Rb는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rc,Rd는 메틸기,Rb는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜메타크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rd는 메틸기,Rb,Rc는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 2,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(2-하이드록시에틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rd는 메틸기,Rb,Rc는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 3,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(3-하이드록시프로필아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 제 22 항에 있어서, Ra,Rd는 메틸기,Rb,Rc는 수소, R1∼R9는 수소, w:x:y:z 는 0.3:0.3:0.2:0.2로 하고, m,n을 각각 4,1로 하는 폴리[9-안트랄알데히드옥심메타아크릴레이트-(4-하이드록시부틸아크릴레이트)-글리시딜아크릴레이트-메틸메타크릴레이트].
- 9-안트랄알데히드옥심아크릴레이트계 단량체, 하이드록시알킬아크릴레이트계 단량체, 글리시딜아크릴레이트계 단량체 및 메틸메타크릴레이트를 개시제와 함께 용매중에 중합반응시키는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 2의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 34 항에 있어서, 상기 각 단량체의 몰비는 0.1∼0.99 : 0.1∼0.99 : 0.1∼0.99 : 0.1∼0.99로 하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 2의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 34 항에 있어서, 상기 개시제는 2,2-아조비스이소부티로니트릴(AIBN), 아세틸퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥사이드로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 2의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 34 항에 있어서, 상기 용매는 테트라하이드록퓨란, 톨루엔, 벤젠, 메틸에틸케톤 또는 디옥산으로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 2의 화합물을 제조하는 방법.
- 제 34 항에 있어서, 상기 중합반응은 50~90℃의 온도범위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 상기 화학식 2의 화합물을 제조하는 방법.
- 상기 화학식 1의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사방지막용 조성물.
- 상기 화학식 2의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사방지막용 조성물.
- 상기 화학식 1 또는 화학식 2의 화합물중 하나를 포함하고 하기 표 1 에서의 화학식 3 내지 20으로 구성된 그룹에서 선택된 하나 또는 2 이상의 화합물을 첨가하는 것을 특징으로 하는 반사방지막용 조성물.(표 1)상기 표 1에서, R1, R2, 또는 R3은 각각 독립적으로 수소, 하이드록시, 알킬, 하이드록시메틸 혹은 C1~C5의 치환 또는 비치환된 직쇄 또는 측쇄 알킬, 알칸이거나 알콕시알킬 또는알콕시 알칸이다.
- 상기 화학식 1 또는 화학식 2의 화합물 중 하나를 유기용매에 녹인 후 이 용액을 여과하여 하부층에 도포한 후 하드베이크하여 이루어짐을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 제 42 항에 있어서, 유기용매는 에틸3-에톡시프로피오네이트, 메틸3-메톡시프로피오네이트, 사이클로헥사논, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하고 반사방지막 수지의 200∼5000 중량%의 양으로 사용하는 것을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 제 42 항에 있어서, 하드베이크시의 온도는 100∼300℃로 하는 것을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 상기 화학식 1 또는 화학식 2의 화합물 중 하나를 유기용매에 녹인 후 상기 표 1에서 선택된 1 또는 2이상의 화합물을 첨가한 용액을 여과하여 하부층에 도포한 후 하드베이크하여 이루어짐을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 제 45 항에 있어서, 유기용매는 에틸3-에톡시프로피오네이트, 메틸3-메톡시프로피오네이트, 사이클로헥사논, 피로필렌글리콜메틸에테르아세테이트로 이루어진 그룹에서 선택된 것을 사용하는 것을 특징으로 하고 반사방지막 수지의 200∼5000 중량%의 양으로 사용하는 것을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 제 45 항에 있어서, 하드베이크시의 온도는 100∼300℃로 하는 것을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 제 45 항에 있어서, 상기 첨가제는 0.1∼30중량%를 사용하는 것을 특징으로 하는 반사방지막의 제조방법.
- 상기 화학식 1 또는 화학식 2 를 포함하는 반사방지막을 사용하여 제조된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
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