JP2011515542A5

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Publication number: JP2011515542A5
Application number: JP2011501013A
Authority: JP
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2012-05-17
Anticipated expiration: 2029-03-23

Claims

印刷回路盤の製造の間、銅導電層および誘電体材料間の接着を強化するための接着促進組成物であって、接着促進組成物は：
第１官能基および第２官能基を含む多官能化合物であって、
（１）前記第１官能基が窒素および脂肪族アミンからなる芳香族複素環式化合物からなる群から選ばれ、
（２）前記第２官能基がビニルエーテル、アミド、チアミド、アミン、カルボン酸、エステル、アルコール、シラン、アルコキシシラン、およびこれらの組み合わせからなる群から選ばれる多官能化合物と、
表面活性剤；および酸を含む。
窒素を含む芳香族複素環状化合物がアゾールである請求項１記載の接着促進組成物。
多官能化合物が構造式（Ｉａ）あるいは構造式（Ｉｂ）を有する請求項１記載の接着促進組成物：

ここで、Ａ_１、Ａ_２、Ａ_３、Ａ_４、Ａ_５、Ａ_６およびＡ_７は炭素原子あるいは窒素原子でありそしてＡ_１、Ａ_２、Ａ_３、Ａ_４、Ａ_５、Ａ_６およびＡ_７の窒素原子の合計が０、１、２、あるいは３である；
Ａ_１１、Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、Ａ_５５、Ａ_６６およびＡ_７７が電子対、水素、置換あるいは非置換アルキル、置換あるいは非置換アリール、置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれ；そして
少なくともＡ_１１、Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５の１つは置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれる。
多官能化合物の構造が構造式（ＩＩ）、構造式（ＩＩＩ）、および構造式（ＩＶ）からなる群から選ばれる請求項３記載の接着促進組成物：

ここで、Ａ_２２、Ａ_４４、Ａ_５５、Ａ_６６、およびＡ_７７は前記構造式（Ｉａ）および（Ｉｂ）に関連して定義される。
多官能化合物が構造式（Ｖ）を有する請求項１記載の接着促進組成物：

ここでＡ_２、Ａ_３、Ａ_４、およびＡ_５が炭素原子あるいは窒素原子でありそしてＡ_２、Ａ_３、Ａ_４、およびＡ_５の窒素原子の合計が０、１、あるいは２である；
Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５は水素、置換あるいは非置換アルキル、置換あるいは非置換アリール、置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれ；そして
少なくともＡ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５の１つは置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれる。
印刷回路盤の製造の間、銅導電層および誘電体材料間の接着を強化するための方法であって、工程が次を含む：
銅導電層を第１官能基および第２官能基を含む多官能化合物を含む接着促進組成物に曝露し、ここで
（１）前記第１官能基が窒素および脂肪族アミンを含む芳香族複素環式化合物からなる群から選ばれ、および
（２）前記第２官能基がビニルエーテル、アミド、チアミド、アミン、カルボン酸、エステル、アルコール、シラン、アルコキシシラン、およびこれらの組み合わせからなる群から選ばれる；ここで
前記第１官能基が銅導電体基板の表面上に銅（Ｉ）濃厚有機金属接着膜を形成するために銅導電層の表面と反応する。
その上に銅（Ｉ）濃厚有機金属接着膜を有する銅導電体材料に誘電体材料を適用する段階であって、ここで前記第２官能基が多官能化合物および誘電体材料の間に化学結合を形成するために誘電体材料と反応することからさらになる請求項６記載の方法。
窒素を含む芳香族複素環式化合物がアゾールである請求項６記載の方法。
アゾールが酸性の水素原子に結合される少なくとも１つの窒素原子を含む請求項８記載の方法。
前記第２官能基が窒素を含む芳香族複素環式化合物の窒素原子に結合される請求項６記載の方法。
前記第２官能基が窒素を含む芳香族複素環式化合物の窒素原子および酸性の水素原子に結合される少なくとも１つの他の窒素原子を含む窒素を含む芳香族複素環式化合物に結合される請求項６記載の方法。
窒素を含む芳香族複素環式化合物が銅導電層の表面の銅（Ｉ）イオンおよび溶液中の銅（ＩＩ）イオンと銅導電層の表面で銅（Ｉ）塩基の有機金属を含む膜を形成するために十分な条件で反応し、これによって膜が銅導電層の表面の銅（ＩＩ）イオンに対する銅（Ｉ）イオンの比を増大する請求項６記載の方法。
多官能化合物が構造式（Ｉａ）あるいは構造式（Ｉｂ）を有する請求項６記載の方法：

ここで、Ａ_１、Ａ_２、Ａ_３、Ａ_４、Ａ_５、Ａ_６およびＡ_７は炭素原子あるいは窒素原子でありそしてＡ_１、Ａ_２、Ａ_３、Ａ_４、Ａ_５、Ａ_６およびＡ_７の窒素原子の合計が０、１、２、あるいは３である；
Ａ_１１、Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、Ａ_５５、Ａ_６６およびＡ_７７が電子対、水素、置換あるいは非置換アルキル、置換あるいは非置換アリール、置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれ；そして
少なくともＡ_１１、Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５の１つは置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれる。
多重官能化合物の構造式が構造式（ＩＩ）、構造式（ＩＩＩ）。および構造式（ＩＶ）からなる群から選ばれる請求項１３記載の方法：：

ここで、Ａ_２２、Ａ_４４、Ａ_５５、Ａ_６６、およびＡ_７７は前記構造式（Ｉａ）および（Ｉｂ）に関連して定義される。
多官能化合物が構造式（Ｖ）を有する請求項６記載の方法：

ここで、Ａ_２、Ａ_３、Ａ_４、およびＡ_５は炭素原子あるいは窒素原子でありそしてＡ_２、Ａ_３、Ａ_４、およびＡ_５の窒素原子の合計は０、１、あるいは２である；
Ａ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５は水素、置換あるいは非置換アルキル、置換あるいは非置換アリール、置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれ；そして
少なくともＡ_２２、Ａ_３３、Ａ_４４、およびＡ_５５の１つは置換あるいは非置換ビニルエーテル、置換あるいは非置換アミド、置換あるいは非置換アミン、置換あるいは非置換カルボン酸、置換あるいは非置換エステル、置換あるいは非置換アルコール、および置換そして非置換シランあるいはアルコキシシランからなる群から選ばれる。
前記第２官能基がビニルエーテルである請求項６から請求項１５のいずれか１項に記載の方法。
前記第１官能基がベンズイミダゾール、インダゾール、イミダゾール、およびトリアゾールからなる群から選ばれる請求項１６記載の方法。
多官能化合物が２−（ビニルオキシ）−１Ｈ−ベンズイミダゾール、２−（ビニルオキシメチル）−１Ｈ−ベンズイミダゾール、３−（ビニルオキシ）−２Ｈ−インダゾール、２−（ビニルオキシ）−１Ｈ−イミダゾール、２−（ビニルオキシメチル）−１Ｈ−イミダゾール、および３−（ビニルオキシ）−１Ｈ−１，２，４−トリアゾールからなる群から選ばれる請求項１６記載の方法。
前記第２官能基がアミンである請求項６から請求項１５のいずれか１項に記載の方法。
前記第２官能基がプリン、ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、イミダゾール、およびピラゾールからなる群から選ばれる請求項１９記載の方法。
多官能化合物が６−フェニルアミノ−プリン、６−ベンジルアミノ−プリン、６−メチルアミン−プリン、６−ジメチル−プリン、９Ｈ−プリン−２，６−ジアミン、α−メチル−Ｎ−フェニル−１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−メタンアミン、２−（２−アミノエチル）ベンズイミダゾール、２−（２−アミノフェノール）−１Ｈ−ベンズイミダゾール、ヒスタミン、１−メチルヒスタミン、３−メチルヒスタミン、１−（３−アミノプロピル）イミダゾール、および３−アミノ−ピラゾールからなる群から選ばれる請求項１９記載の方法。
前記第２官能基がアミドあるいはチアミドである請求項６から請求項１５のいずれか１項に記載の方法。
前記第２官能基がシランあるいはアルコキシシランである請求項６から請求項１５のいずれか１項に記載の方法。
前記第１官能基がベンゾトリアゾールおよびイミダゾールからなる群から選ばれる請求項２３記載の方法。
多官能化合物が１−（トリメチルシリル）−１Ｈ−ベンゾトリアゾール、１−［（トリメチルシリル）メチル］ベンゾトリアゾール、１−（トリメチルシリル）イミダゾール、および１−（ｔｅｒｔ−ブチルジメチルシリル）イミダゾールからなる群から選ばれる請求項２３記載の方法。