CN103838085A - 非蚀刻性光致抗蚀剂用附着力促进剂 - Google Patents
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Abstract
Description
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 对比例1 | |
附着力 | 100/100 | 100/100 | 100/100 | 100/100 | 80/100 |
Claims (10)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105860921A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-08-17 | 昆山艾森世华光电材料有限公司 | 用于半导体组件有机膜的粘合剂及其制备方法和应用 |
CN106883719A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-06-23 | 昆山市板明电子科技有限公司 | 提高光致抗蚀剂与铜附着力的附着力促进剂及其使用方法 |
CN109852182A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-06-07 | 昆山市板明电子科技有限公司 | 用于提高阻焊油墨附着力的组合物及其使用方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008076889A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2008158002A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2009229708A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2009237363A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2010085878A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト下層膜形成用組成物 |
JP2010113328A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-05-20 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用シリコン含有膜形成用組成物及びシリコン含有膜並びにパターン形成方法 |
JP2010152292A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用シリコン含有膜形成用組成物及びシリコン含有膜並びにパターン形成方法 |
CN101802713A (zh) * | 2007-10-01 | 2010-08-11 | 日产化学工业株式会社 | 形成抗蚀剂下层膜的组合物、使用该组合物的半导体装置的制造方法以及形成抗蚀剂下层膜的组合物用添加剂 |
-
2014
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008076889A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2008158002A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
CN101802713A (zh) * | 2007-10-01 | 2010-08-11 | 日产化学工业株式会社 | 形成抗蚀剂下层膜的组合物、使用该组合物的半导体装置的制造方法以及形成抗蚀剂下层膜的组合物用添加剂 |
JP2009229708A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2009237363A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Jsr Corp | レジスト下層膜用組成物及びその製造方法 |
JP2010085878A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト下層膜形成用組成物 |
JP2010113328A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-05-20 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用シリコン含有膜形成用組成物及びシリコン含有膜並びにパターン形成方法 |
JP2010152292A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Jsr Corp | 多層レジストプロセス用シリコン含有膜形成用組成物及びシリコン含有膜並びにパターン形成方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105860921A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-08-17 | 昆山艾森世华光电材料有限公司 | 用于半导体组件有机膜的粘合剂及其制备方法和应用 |
CN105860921B (zh) * | 2016-06-08 | 2019-08-13 | 昆山艾森世华光电材料有限公司 | 用于半导体组件有机膜的粘合剂及其制备方法和应用 |
CN106883719A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-06-23 | 昆山市板明电子科技有限公司 | 提高光致抗蚀剂与铜附着力的附着力促进剂及其使用方法 |
CN109852182A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-06-07 | 昆山市板明电子科技有限公司 | 用于提高阻焊油墨附着力的组合物及其使用方法 |
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COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: CHEN XIUNING LI JIAN HUANG JINGHUA WANG SHUPING HUANG ZHIQI HE CHENGXIANG TO: CHEN XIUNING ZHANG YANHUA HUANG ZHIQI HUANG JINGHUA WANG SHUPING HE CHENGXIANG LI JIAN |
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