JP2011514489A - 多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体本出願は、その開示内容を参考として引用し明示的に本明細書に含めるものとする、２００８年２月２１日付けにて出願した、米国仮特許出願第６１／０３０，３６０号による優先権を主張するものである。 - Google Patents

Abstract

エンジン又は流体圧マウント内にて２つの真空作動式のスイッチ機構が提供される。第一及び第二のポートは、慣性トラック組立体の周縁部分に沿って提供される。切り離し器又は真空ダイヤフラムは、第一のポートを通じて真空圧に選択的に露出される。真空圧の影響の下、切り離し器は、最早、揺動することはできない。真空圧が切り離し器にのみ加えられ、アイドルダイヤフラムには加えられないとき、流体は、低振動数慣性トラックを通じて強制的に供給され、該慣性トラックは、高レベルの減衰作用及び低振動数を形成する。真空圧が切り離し器及びアイドルダイヤフラムにも加えられたとき、高振動数慣性トラックは開き且つ流体が貫通して流れるようにする。このことは、高振動数ダイナミックレートディップを形成する。これと代替的に、切り離し器又はアイドルダイヤフラムの何れにも真空圧が加えられない場合、切り離し器は、自由に揺動することが許容され、小さい入力変位のための切り離した状態を形成する。大きい入力変位の結果、流体は、低振動数慣性トラックを通じて強制的に供給される。
【選択図】図３

Description

本発明は、ダンパ組立体、より具体的には、多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体に関する。より特定的には、多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体は、低振動数慣性トラックと、高振動数慣性トラックとの双方を保持している。該低振動数慣性トラックは、乗物の円滑な路面震動に対処する減衰作用を生じさせるため使用される。高振動数慣性トラックは、パワートレーンから乗物の車体又はフレームまでのアイドル妨害振動数の伝達を少なくする高振動数共振共鳴を生じさせるため使用される。選んだ特徴は、その他の関連した環境及び用途に適用することができよう。

切り換え可能な流体圧エンジンマウントの基本技術は、数年前から当該業界にて既知である。ポートを開き且つ閉じることを介して流体圧マウントを流体減衰状態から非減衰状態に物理的に切り換えることは良く理解されている。しかし、これを実現するための多数の方法が存在する。

殆どの真空作動式機器は、製造が容易であるように外部に取り付けられる。この外部の取り付けは、マウントの応答効率を低下させる傾向があるが、これは、マウント組立体内にて流体圧流体を一層、容易に密封することを許容する。殆どの従来の設計に伴う問題点は、これらは容積部分を取り囲むダイヤフラムであって、該ダイヤフラムの下方にて空気ばねを形成し且つ外部のポートに装着されるような、上記のダイヤフラムを使用する点である。この外部のポートを開き且つ閉じることは、マウントの状態、すなわち剛性又は減衰の応答性を「切り換える」ため使用される方法である。切り換えた「開いた」状態にあるとき、空気を容積部分から雰囲気に圧送することができる。例えば、流体圧エンジンマウントは、開いた切り換え状態にある（容積部分が雰囲気に対して開いている）とき、低い軸受ばね剛性を有し、また、エンジンマウントは、空転時の振動（低振幅、高振動数）を減衰し又は絶縁する。切り換えた「閉じた」状態にあるとき、容積部分は閉じられ又は密封され、減衰流体は、第一の流体室すなわち作用流体室と第二の流体室すなわち補償流体室との間にて送られ且つ戻るよう伝達されて、高振幅、低振動数の振動を減衰させるから、容積部分内の空気は剛性なばねとして機能する。流体圧力の一部は空気ばねを圧縮するのに使用されるため、閉じたポートにより形成された空気ばね（閉じた容積部分）は、流体の圧力を降下させる。さもなければ流体の圧力は慣性トラックを通じて圧送されているであろう
その他の設計のものもまた、ダイヤフラムカバーにて密封する真空圧作動式ダイヤフラムを使用し、該ダイヤフラムを慣性トラックにおけるシールとして使用する。

更にその他の設計のものは、ポートを開き且つ閉じるため、回転弁を使用する。これらの回転弁は、マウントに対して軸方向に又は半径方向の何れかに回転することができる。その何れの場合にも、弁の密封は、マウントの低圧側を高圧側に対して密封し又はマウントの高圧側を雰囲気に対して密封することの双方が困難となる点にて問題となるであろう。

殆どの切り換え可能な流体圧エンジンのマウントにおけるように、このマウントは、パワートレーンを懸架し、パワートレーンの運動に対する減衰作用を提供し、パワートレーンの移動を制御し且つパワートレーンを乗物の車台から隔離することを目的とする。複数の状態を取りうるマウント内のスイッチ機構は、マウントを４つの状態の間にて切り換えることを許容する。状態の２つは、マウントの流体作用をコンプライアンス振動から切り離すことを許容し、また、その他の２つの状態は、マウントの減衰作用及び振動数応答性を調節する。

エンジンマウントも、エンジンマウントにおける真空作動式の状態切り換えも、それ自身は個々に新規なものではない。しかし依然として、改良された、切り換え可能な慣性トラック組立体、及び、該組立体をパッケージする方法が必要とされている。

多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体は、ハウジングと、該ハウジング内に受け入れられた慣性トラックであって、第一の側部にて関連する第一の流体室と連通し且つ第二の側部にて関連する第二の流体室と連通し得るようにされた、細長い、流体減衰された第一の経路と、関連する第一及び第二の流体室と連通し得るようにされた、減衰されていない（すなわち非減衰の）第二の経路とを有する上記の慣性トラックと、ハウジング内に受け入れられて、第一及び第二の経路の少なくとも一方を選択的に閉じる切り離し器と、ハウジング内に設けられて、第一及び第二の流体室間の連通を選択的に制御して減衰作用を選択的に変化させるアイドルダイヤフラムと、ハウジングに形成されて、切り離し器及びアイドルダイヤフラムとそれぞれ連通する第一及び第二のポートとを含む。

多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体の製造方法は、ハウジングを提供する工程と、第一の側部にて関連する第一の流体室と連通し且つ第二の側部にて関連する第二の流体室と連通し得るようにした、細長い、流体減衰された第一の経路と、関連する第一及び第二の流体室と連通し得るようにされた、減衰されていない（すなわち非減衰の）第二の経路とを有する慣性トラックをハウジング内に配置する工程と、第一及び第二の経路の少なくとも一方を選択的に閉じるよう、切り離し器をハウジング内に取り付ける工程と、第一及び第二の流体室間の連通を選択的に制御して減衰状態を選択的に変化させ得るようにアイドルダイヤフラムをハウジング内に供給する工程と、切り離し器及びアイドルダイヤフラムとそれぞれ連通し得る第一及び第二のポートをハウジングに提供する工程とを含む。

更なるその他の特徴及び利点は、以下の詳細な説明から理解されよう。

組み立てた流体圧エンジンマウントすなわち流体圧マウントの斜視図である。 図１のマウント組立体の色々な構成要素の分解図である。 図１及び図２の組み立てたマウントの長手方向断面図である。 慣性トラック組立体の第一の実施の形態の分解図である。 代替的な慣性トラック組立体の図４と同様の分解図である。 慣性トラック本体の斜視図である。 切り離し器の真空ポートを通る第一の流路を示す慣性トラック組立体の断面図である。 アイドルダイヤフラムの真空ポートの第二のポートを示す慣性トラック組立体の断面図である。

最初に、図１−３を参照すると、複数の状態を取り得る真空作動式慣性トラック組立体が、エンジンマウントすなわち流体圧マウント内に示されている。より特定的には、マウント組立体１００は、截頭円錐体の形状とされて、また、主として、当該技術にて一般的であるように、エラスティックゴムのような、エラストマー材料にて出来た第一のすなわちエラストマー構成要素又は主ゴム要素１０４を受け入れる寸法とされた制限器又は外部ハウジング１０２を含む。締結具すなわちボルト１０６が主ゴム要素から外方に伸びて、当該技術にて一般に既知の仕方にてパワートレーン又はエンジン（図示せず）に締結される。該締結具は、少なくとも一部分が第一のエラストマー部材１０４に包被された金属製の軸受部材１０８と協働する。更に、主ゴム要素の下方周縁部分は、剛性及び支持力を増すように主ゴム要素内に成形された金属製補強材１１０のような、補強材を含むことができる。

該主ゴム要素は、締結具１０６が制限器の中央開口部１１２を貫通して伸びるよう制限器のハウジング１０２内に受け入れられている。制限器の内側肩部１１４（図３）は、主ゴム要素の補強した下側部分と当接状態に係合する。更に、主ゴム要素の下側部分は第一のすなわち上側流体室１１６の一部分、すなわち、エンジンマウントの高圧側を形成する。第一の流体室１１６の他の部分は、以下にその特定的な詳細を説明する慣性トラック組立体１２０により規定される。参照番号１２２で示した、慣性トラック組立体の上面の外側半径方向部分は、第一の流体室１１６を密封し得るよう主ゴム要素１０４と当接状態に且つ密封状態に係合する。特に図３から明らかであるように、慣性トラック組立体の少なくとも一部分は、制限器ハウジング１０２内に受け入れられる。参照番号１２４で示した下面に沿った第二の外側半径方向部分には、ゴムブート又はダイヤフラム１３０、特にその上側周縁部分１３２が密封状態に係合する。該ダイヤフラム１３０は、好ましくは、エラストマーダイヤフラムよりも剛性な材料にて形成され、制限器ハウジング１０２と寸法形状が合うように係合するダイヤフラムカバー１４０により保護されるものとする。ダイヤフラムカバー１４０が制限器に締結されたとき、主ゴム要素１０４の下方周端縁及びダイヤフラムの周縁部分１３２は、慣性トラック組立体１２０の対向した側部又は面１２２、１２４とそれぞれ密封状態に係合する。パワートレーンからマウント内に振動又は変位が受け入れられたとき、流体は、第一の流体室１１６から種々の仕方にて慣性トラック組立体１２０を通じて圧送される。特に、且つ図１から図３を続けて参照し、また、図４及び図５を更に参照すると、慣性トラック組立体１２０は、第一のすなわち上側流体室１１６と第二のすなわち下側流体室１５０との間に配設されている。このように、慣性トラック組立体の上側部は、マウントの高圧側部と関係付けられている。他方、慣性トラック組立体の下面は、第二のすなわち下側流体室１５０と関係付けられ、マウントの低圧側部と称されることがある。流体は、慣性トラック組立体を通して頂部から底部まで圧送される。流体が慣性トラック組立体を通るときの経路は、切り離し器１６０及びアイドルダイヤフラム１７０に依存する。より特定的には、切り離し器１６０は、高振動数慣性トラックを通して第一の開口部又は経路１８０の一部分の上に受け入れられたゴムディスク又は同様の構造的装置であることが好ましい。このように、ゴム製の切り離し器１６０は、ハウジングの上面１８４のカップ形状の凹所１８２内に緊密に受け入れられる寸法とされており、該切り離し器は、高振動数慣性トラック１８０への開口部又は経路を有し、特に、アイドルダイヤフラム１７０の中央部分１８８により選択的に閉じられる中央開口部１８６（図６）を有している。このように、切り離し器カバー１９０は、一連の開口部１９２を有しており、該一連の開口部は、第一の流体室からの流体が貫通して、切り離し器１６０の回りを流れ、特に、開口部１９４を通って流れることに加えて、開口部１８２を通って高振動数慣性トラック１８０内に流れるのを許容する。これは、第一の、すなわち上側の流体室１１６からアイドルダイヤフラム１７０の上方に配設された第二の、すなわち下側の流体室１５０、つまりアイドルダイヤフラムの流体側部までの最小抵抗の経路である。

これと代替的に、第二の経路すなわち細長い低振動数慣性トラックは、蛇行した低振動数慣性トラック１９８（図６）と連通する切り離し器ハウジングの切り離し器カバーの半径方向外方に開口部１９６を有しており、該慣性トラック１９８は、最終的に、第二の／下側流体室１５０と連通して慣性トラックハウジングの下面を通じて開口部２００と連通している。しかし、そうではなく、高振動数慣性トラック経路がブロックされたとき、流体は、この蛇行した経路のみを通って流れる。従って、例えば、アイドルダイヤフラムを図３に示したように、その伸びた位置にて示した場合、開口部１８６はアイドルダイヤフラムの中央部分１８８により密封されるため、高振動数慣性トラックは閉じられる。次に、流体は、低振動数慣性トラック１９８を通って進み、マウントの低圧側部と連通する開口部２００を通って出なければならない。理解し得るように、このことは、アイドルダイヤフラムの下側部に真空圧が加えられないときに生ずる。更に、切り離し器は、自由に揺動して、小さい入力変位のため切り離した状態を形成することが許容される。大きい入力変位のため、流体は、低振動数慣性トラックを通して強制的に供給される。

別の状態すなわち作動モードにおいて、真空圧は、アイドルダイヤフラムの下側部２０２に提供される。このようにして、中央ポート１８６は開き、流体は、第一のすなわち上側流体室１１６から第二のすなわち下側流体室１５０まで一層容易に流れる。このように、アイドルダイヤフラムの下側部２０２に真空圧又は負圧が作用するよう選択的に切り換えることにより、マウントは、高振動数慣性トラック１８０（真空圧が加えられ、ポートは開いている）から低振動数トラック１９８（真空圧は除去され、ポートは閉じている）に切り換えられる。

ポート２１０には、図７に示したように、負圧又は真空圧が選択的に供給される。ソレノイド弁のような外部弁がポート２１０と接続され、また、真空圧が切り離し器のポートに加えられたとき、切り離し器１６０は収縮し、切り離し器は、最早、揺動することはできない。

負圧又は真空圧がアイドルダイヤフラムの下側部に達するための通路又は特定の経路は、図８により特定的に図示されており、この場合、弁（図示しない、ソレノイド弁のような）はポート２２０に負圧を供給する。

最終的に、４つの異なる状態すなわち作動モードが実現される。流体圧マウントの第一の状態において、真空圧が切り離し器１６０又はアイドルダイヤフラム１７０の何れにも加えられないとき、切り離し器は、自由に揺動して、小さい入力変位のための切り離した状態を形成することが許容される。大きい入力変位のため、流体は、マウントの低圧側部内に出る低振動数慣性トラックを通って強制的に供給される。

第二の状態において、真空圧が切り離し器及びアイドルダイヤフラムの双方に加えられたとき、切り離し器は、最早、揺動することができず、高振動数慣性トラックは開く（すなわち、アイドルダイヤフラムの中央部分１８８は、開口部１８６から後退している）。これにより、流体は、高振動数慣性トラックを通って流れる。このことは、例えば、レートディップ振動数のアイドル妨害を少なくすべく使用することのできる高振動数ダイナミックレートディップを生じさせる。

第三の状態において、真空圧が切り離し器にのみ加えられ、アイドルダイヤフラムには加えられないとき、第一の流体室からの流体は、第二の流体室に達するよう低振動数慣性トラックを通して再度、強制的に供給される。これは、例えば、道路の入力振動を減衰させるため、使用することのできる高レベルの低振動数減衰作用を生じさせる、マウントの結合した状態である。

マウントの切り換え可能な慣性トラック組立体の第四の状態において、真空圧は、アイドルダイヤフラムにのみ加えられ、切り離し器には加えられない。この状態は、切り離し器が小さい変位入力のため、自由に揺動することを許容するが、高振動数慣性トラックの経路は開いているため、流体は大きい変位入力にて高振動数慣性トラックを通って流れるであろう。

上方板１８４（マウントの高圧側）は、金属、プラスチック又は複合的材料にて出来ている。切り離し器１６０は、金属、プラスチックにて出来たものとし、又は金属、プラスチック、複合的支持リング及びエラストマーダイヤフラム材料から成る複合的材料にて出来たものとする。切り離し器は、上方板１８４により保持され且つ中央板又はハウジング１２０に対し密封されている。中央板は、金属、プラスチック又は複合的材料にて出来ている。中央ハウジングは、慣性トラックの幾何学的形態の大部分と、１つの部分となるように一体化した真空ポートとを保持している。高振動数真空ダイヤフラム１７０は、金属、プラスチック、又は複合的支持リング及びエラストマーダイヤフラム材料にて出来たものとする。

慣性トラック組立体は、真空式切り換えダイヤフラムの双方を保持している。このことは、スイッチを流体圧マウントの他の部分内に組み付けることを一層、容易にする。外側から２つの真空ポートしか見えないため、小型の内部スイッチは、輸送中の起こり得る損傷を防止する。

本発明は、切り換え機構の一部としてダイヤフラムを使用せず、これにより、マウントの耐久性及び性能を向上させる。
この場合にも、真空圧が切り離し器のポート２１０に加えられたとき、負圧により切り離し器は収縮する。真空圧が除去されたとき、切り離し器は、自由に動くことが許容される。この真空式切り換え機構は、マウントをカプラー（真空圧が付与された状態）から切り離した状態（真空圧が除去された状態）に変化させる。真空圧がアイドルダイヤフラムポート２２０に加えられ又は該ポート２２０から除去されたとき、これによりアイドルダイヤフラムは、収縮し又は伸びる。このことは、高振動数アイドルトラックを開き且つ閉じることになる。この真空式切り換え機構は、マウントを高振動数慣性トラック（真空が加えられ、ポートが開いた状態）から低振動数トラック（真空圧が除去され、ポートが閉じた状態）に切り換える。

好ましい組み立て方法において、切り離し器１６０は、切り離し器ハウジング内に押し込まれる。切り離し器カバー１９０は、切り離し器ハウジングに超音波溶接され、切り離し器ハウジング１８４は、慣性トラック本体１２０に超音波溶接される。切り離し器ポートは、慣性トラック本体に超音波溶接され、アイドルダイヤフラムは、アイドルダイヤフラムハウジング２３０内に押し込まれる。アイドルダイヤフラムハウジングは、アイドルダイヤフラムカバー２３２に超音波溶接される。その後、アイドルダイヤフラムハウジング組立体は、慣性トラック本体１２０に超音波溶接される。

図５の実施の形態は、構成要素の多くはアルミニウムのような金属を含み、単にプラスチックではない点を除いて、図４の実施の形態と実質的に同一である。組み立て方法は、切り離し器１６０を切り離し器ハウジング内に押し込む工程を含み、また、該切り離し器カバー１９０は、切り離し器ハウジング１８２にクリンプ止めされる。切り離し器ハウジングは、慣性トラック本体１２０に押し付けられ、また、切り離し器ポート２１０は、慣性トラック本体に押し込まれる。アイドルダイヤフラム１７０は、アイドルダイヤフラムハウジング２３０内に押し込まれ、また、アイドルダイヤフラムハウジングは、アイドルダイヤフラムカバー２３２に超音波溶接される。次に、アイドルダイヤフラムのハウジング組立体は、慣性トラック本体１２０に超音波溶接される。

本発明は、−４０Ｃから＋１２０Ｃの温度範囲にて殆んど劣化せずに適正に機能することを目的としている。
本発明は、好ましい実施の形態に関して説明した。本明細書を読み且つ理解することにより、当業者には、改変例及び変更例が案出されよう。これらの改変例及び変更例が添付した請求の範囲又はそれらの等価物の範囲に属する限り、本発明は、これらの改変例及び変更例の全てを包含することを意図するものである。

Claims (27)

1. 多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体において、
   ハウジングと、
   該ハウジング内に受け入れられた慣性トラックであって、第一の側部にて関連する第一の流体室と連通し且つ第二の側部にて関連する第二の流体室と連通し得るようにされた、細長い、流体減衰された第一の流路と、関連する第一及び第二の流体室と連通し得るようにされた、減衰されていない第二の経路とを有する前記慣性トラックと、
   前記ハウジング内に受け入れられて、前記第一及び第二の経路の少なくとも一方を選択的に閉じる切り離し器と、
   前記ハウジング内にあり、前記第一及び第二の流体室間の連通を選択的に制御して前記減衰の程度を選択的に変化させるアイドルダイヤフラムと、
   前記ハウジングに設けられ、前記切り離し器及び前記アイドルダイヤフラムとそれぞれ連通する第一及び第二のポートと、
   を備える、多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体。
2. 請求項１に記載の組立体において、前記切り離し器は、前記第二の経路を選択的に密封することにより流体が前記細長い第一の経路を通じて導かれるようになされている、組立体。
3. 請求項１に記載の組立体において、前記アイドルダイヤフラムは、前記第二の経路の一部分を選択的に変化させるようになされている、組立体。
4. 請求項１に記載の組立体において、前記ハウジングにおける前記第一及び第二のポートは、真空圧に選択的に接続可能とされている、組立体。
5. 請求項１に記載の組立体において、流体を充填したマウント内に受け入れられてその内部の第一及び第二の流体室を分離する寸法とされた、組立体。
6. 請求項１に記載の組立体において、前記ハウジング内にて前記切り離し器上に受けられ且つ該切り離し器を保持する切り離し器カバーを更に備える、組立体。
7. 請求項１に記載の組立体において、前記ハウジング内にて前記アイドルダイヤフラム上に受けられ且つ該アイドルダイヤフラムを保持するアイドルダイヤフラムカバーを更に備える、組立体。
8. 請求項１に記載の組立体において、前記第一のポート内の流体圧力を変化させることにより、前記切り離し器が揺動するのが防止され、また、流体が第二の流体室に到達するよう第一の流体室から第一の経路を通じて強制的に供給されるのみの状態（第三の状態）が作られるようになされている、組立体。
9. 請求項８に記載の組立体において、高レベルの低振動数減衰作用が形成される、組立体。
10. 請求項１に記載の組立体において、前記第一及び第二のポート内の流体圧力を変化させることにより、流体が第二の流体室に到達するよう第一の流体室から第二の経路を通じて強制的に供給される状態（第二の状態）が作られるようになされている、組立体。
11. 請求項１０に記載の組立体において、高振動数ダイナミックレートディップが形成される、組立体。
12. 請求項１に記載の組立体において、前記第二のポート内の流体圧力を変化させることにより、前記切り離し器が自由に揺動するのが許容され、また、流体が大きい変位入力にて第二の経路を通じて強制的に供給されるのみの状態（第四の状態）が作られるようになされている、組立体。
13. 請求項１に記載の組立体において、前記第一及び第二のポート双方内の流体圧力が変化しないことにより、前記切り離し器が自由に揺動するのが許容され、また、小さい変位入力に対応する切り離し状態（第一の状態）が形成されるようになされている、組立体。
14. 請求項１３に記載の組立体において、大きい変位入力は、流体を前記第一の経路を通じて強制的に供給するようになされている、組立体。
15. 請求項１に記載の組立体において、前記第二の流体室の一部分を取り囲むダイヤフラムを更に備える、組立体。
16. 請求項１５に記載の組立体において、前記ハウジングは、前記第二の流体室の残りの部分を取り囲んでいる、組立体。
17. 請求項１に記載の組立体において、前記第一の流体室の一部分を取り囲む主ゴム要素を更に備える、組立体。
18. 請求項１７に記載の組立体において、前記ハウジングは、前記第一の流体室の残りの部分を取り囲んでいる、組立体。
19. 多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体の製造方法において、
    ハウジングを提供する工程と、
    慣性トラックであって、第一の側部にて関連する第一の流体室と連通し且つ第二の側部にて関連する第二の流体室と連通し得るようにされた、細長い、流体減衰された第一の経路と、関連する第一及び第二の流体室と連通し得るようにされた、減衰されていない第二の経路とを有する前記慣性トラックを前記ハウジング内に配置する工程と、
    前記第一及び第二の経路の少なくとも一方を選択的に閉じるよう、切り離し器を前記ハウジング内にて固定する工程と、
    前記第一及び第二の流体室間の連通を選択的に制御して前記減衰状態を選択的に変化させるよう、アイドルダイヤフラムを前記ハウジング内に供給する工程と、
    前記切り離し器及び前記アイドルダイヤフラムとそれぞれ連通するような第一及び第二のポートを前記ハウジングに提供する工程と、
    を備える、多段式の切り換え可能な慣性トラック組立体の製造方法。
20. 請求項１９に記載の方法において、互いに対向する第一及び第二の側部に、関連する第一及び第二の流体室を画成するようにして、ハウジングを乗物のマウント内に密封する工程を更に備える、方法。
21. 請求項２０に記載の方法において、前記第一の流体室を前記ハウジングとともに取り囲む第一のエラストマー部材を提供する工程を更に備える、方法。
22. 請求項２１に記載の方法において、第二の流体室を画成するようにして、前記第二の側部にて前記ハウジングの周縁部分を密封する工程を更に備える、方法。
23. 請求項２２に記載の方法において、前記周縁部分を密封する工程は、前記第二の流体室を前記ハウジングとともに取り囲むようなダイヤフラムを提供する工程を含む、方法。
24. 請求項２３に記載の方法において、第一のエラストマー部材及び前記ダイヤフラムを、前記ハウジングの互いに対向した側部の周縁部分に対してクランプ止めする工程を更に備える、方法。
25. 請求項２４に記載の方法において、前記クランプ止めする工程は、前記ハウジングを外部シェル内にて前記第一のエラストマー部材と前記ダイヤフラムとの間に配置する工程を含む、方法。
26. 請求項２５に記載の方法において、前記シェルを通じて第一及び第二のポートへのアクセスを可能にする工程を含む、方法。
27. 請求項１９に記載の方法において、前記第一及び第二のポートは、前記第一及び第二の流体室に対して密封された前記ハウジングの周縁領域を通って延びるようにした、方法。

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