JP2011511160A - β−ジケチミナト配位子含有新金属前駆体 - Google Patents
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Abstract
基板上に金属含有薄膜を堆積する方法および組成物は、気相金属−有機前駆体を1つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入することを含む。前記前駆体は、少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を有し、かつ一般式:M(R1C(NR4)CR2C(NR5)R3)2Lnを有する。
ここで、Mはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR1-5はH; および C1 − C4直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Lは炭化水素;酸素含有炭化水素:アミン;ポリアミン;ビピリジン;酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、およびnは0も4も含めて0から4の範囲の整数である。
金属含有膜は、前記基板が約100℃と約 500℃の間の温度に維持しながら前記基板上に堆積される。
【選択図】なし
ここで、Mはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR1-5はH; および C1 − C4直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Lは炭化水素;酸素含有炭化水素:アミン;ポリアミン;ビピリジン;酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、およびnは0も4も含めて0から4の範囲の整数である。
金属含有膜は、前記基板が約100℃と約 500℃の間の温度に維持しながら前記基板上に堆積される。
【選択図】なし
Description
この発明は一般的に半導体、光電池、LCF-TFTまたは平面型デバイスの製造に用いられる組成物、方法および装置に関する。特に、本発明は基板上への金属膜の堆積のための新しい前駆体に関する。
相補型金属酸化物半導体(“CMOS”)回路の設計および製造が発展することを続けているので、産業は結果として得られる膜がある求められる特性を有するように基板上への堆積膜の新しくかつ新規な方法を絶えず追求している。例えば、遷移金属薄膜は銅相互接続の接着/シード層として、および磁気ランダムアクセスメモリデバイスの磁気抵抗多層として用いることができる。
ニッケルおよびコバルト膜は、未来の半導体デバイスに対して望ましい。幾つかのCMOS 構造において、NiSi およびCoSi2膜は、従来のトランジスタに一般に用いられている金属ゲートにやがては置き換えられ得る。コバルトシリサイドは、コバルトシリサイドをシリコン上にエピタキシャル成長をさせる、これらの良好な熱および化学安定性、低抵抗性、広いプロセス窓、シリコン結晶格子に対する小格子ミスマッチのために、デバイススケールダウンプロセスに有益である。さらに、ニッケル酸化物およびコバルト酸化物はMRAMまたはFeRAM型デバイスの構築に用いることができる。最近、主要産業は妥当なスループットを持つそのような薄膜を堆積するために適切に選択し、かつ受容可能な純度は化学蒸着法(“CVD”)および原子層堆積(“ALD”)のような蒸気相堆積技術である。基板上に膜を堆積するこれらの技術の両方は、熱的に安定、容易に蒸発、反応性であり、かつ円滑に分解する前駆体の使用を要求する。
したがって、後期遷移金属層を含む膜を堆積する方法および前駆体に対する必要が存在する。
本発明の態様は、基板上に膜を堆積する新規な方法および組成物を提供する。一般的に、開示された組成物および方法は少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を持つ前駆体化合物を利用する。
ある態様において、基板上に金属含有薄膜を堆積する方法は、気相金属−有機前駆体を1つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入することを含む。前駆体は、少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を有し、かつ一般式:M(R1C(NR4)CR2C(NR5)R3)2Lnを有する。
ここで、Mはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR1-5はH; および C1 − C4直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Lは炭化水素;酸素含有炭化水素:アミン;ポリアミン;ビピリジン;酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、かつnは0も4も含めて0から4の範囲の整数である。
金属含有膜は、基板が約100℃と約 500℃の間の温度に維持しながら、基板上に堆積される。ある態様において、金属含有薄膜を基板上に堆積する前駆体は一般式:M(R1C(NR4)CR2C(NR5)R3)2Lnを有する少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を持つ金属−有機前駆体を含む。
ここで、Mはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR1-5はH; および C1 −C4直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Lは炭化水素;酸素含有炭化水素:アミン;ポリアミン;ビピリジン;酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、およびnは0も4も含めて0から4の範囲の整数である。
本発明の他の態様は、制限しない、1つまたはそれ以上の次の特徴を含むことができる。
− 少なくとも1つの反応物質は、反応チャンバ内に導入される;
− 金属含有膜は、酸素を含み、かつ反応物質は酸素;酸素ラジカル(例えばO・またはOH・);オゾン;一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;水蒸気;過酸化水素;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、窒素を含み、かつ反応物質は窒素;アンモニア;ヒドラジン;アルキル誘導体;窒素含有ラジカル(例えばN・、NH・、またはNH2・);一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;アミン;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、炭素を含み、かつ反応物質はメタン;エタン;プロパン;ブタン;エチレン;プロピレン;ターシャリーブチレン;イソブチレン;四塩化炭素;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である
− 金属含有膜は、シリコンを含み、かつ反応物質はSiH4;Si2H6;Si3H8; Si(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基から選ばれる; (SiH3)3N ;(SiH3)2O;一般式SiHx(OR1)4-xのアルコキシシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Si(OH)x(OR1)4-xのシラノール、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式SiHx(NR1R2)4-xのアミノシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、ゲルマニウムを含み、かつ反応物質はGeH4;Ge2H6;Ge3H8; Ge(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;(GeH3)3N; (GeH3)2O;一般式GeHx(OR1)4-xのアルコキシゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Ge(OH)x(OR1)4-xのゲルマノール 、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である; 一般式GeHx(NR1R2)4-xのアミノゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 反応物質はSi(OH)(OtBu)3; SiH(NMe2)3 ; SiH2(NHtBu)2 ;およびSiH2(NEt2)2から選択される少なくとも1つの要素である;
− 反応物質はGe(OH)(OtBu)3; GeH(NMe2)3;GeH2(NHtBu)2 ;およびGeH2(NEt2)2から選択される少なくとも1つの要素である;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内に化学気相型堆積(“CVD”)法と調和して同時に導入される;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内に原子層型堆積(“ALD”)法と調和して同時に導入される;
− 前駆体および反応物質は一緒に混合され、かつ反応チャンバ内に混合物として導入される;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内にパルスされる;
− 反応物質は反応チャンバ内に導入される前に、反応物質を遠隔位置プラズマシステムに通過させることによって、そのラジカル形態に分解される;
− 前駆体は、約80℃以下、好ましくは約35℃以下の融点を有する;
− 基板は、約150℃と約350℃の間の温度に維持される;
− 前駆体は、約130℃で約0.1 torrより大きい蒸気圧を有する;および
− 前駆体は、Ni(pda)2;Ni(dmpda)2;Ni(depda)2;Ni(diPrpda)2;Co(pda)2;Co(dmpda)2;Co(depda)2;およびCo(diPrpda)から選択される。
− 金属含有膜は、酸素を含み、かつ反応物質は酸素;酸素ラジカル(例えばO・またはOH・);オゾン;一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;水蒸気;過酸化水素;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、窒素を含み、かつ反応物質は窒素;アンモニア;ヒドラジン;アルキル誘導体;窒素含有ラジカル(例えばN・、NH・、またはNH2・);一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;アミン;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、炭素を含み、かつ反応物質はメタン;エタン;プロパン;ブタン;エチレン;プロピレン;ターシャリーブチレン;イソブチレン;四塩化炭素;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である
− 金属含有膜は、シリコンを含み、かつ反応物質はSiH4;Si2H6;Si3H8; Si(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基から選ばれる; (SiH3)3N ;(SiH3)2O;一般式SiHx(OR1)4-xのアルコキシシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Si(OH)x(OR1)4-xのシラノール、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式SiHx(NR1R2)4-xのアミノシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 金属含有膜は、ゲルマニウムを含み、かつ反応物質はGeH4;Ge2H6;Ge3H8; Ge(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;(GeH3)3N; (GeH3)2O;一般式GeHx(OR1)4-xのアルコキシゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Ge(OH)x(OR1)4-xのゲルマノール 、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である; 一般式GeHx(NR1R2)4-xのアミノゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2 は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物から選択される少なくとも1つの要素である;
− 反応物質はSi(OH)(OtBu)3; SiH(NMe2)3 ; SiH2(NHtBu)2 ;およびSiH2(NEt2)2から選択される少なくとも1つの要素である;
− 反応物質はGe(OH)(OtBu)3; GeH(NMe2)3;GeH2(NHtBu)2 ;およびGeH2(NEt2)2から選択される少なくとも1つの要素である;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内に化学気相型堆積(“CVD”)法と調和して同時に導入される;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内に原子層型堆積(“ALD”)法と調和して同時に導入される;
− 前駆体および反応物質は一緒に混合され、かつ反応チャンバ内に混合物として導入される;
− 前駆体および反応物質は反応チャンバ内にパルスされる;
− 反応物質は反応チャンバ内に導入される前に、反応物質を遠隔位置プラズマシステムに通過させることによって、そのラジカル形態に分解される;
− 前駆体は、約80℃以下、好ましくは約35℃以下の融点を有する;
− 基板は、約150℃と約350℃の間の温度に維持される;
− 前駆体は、約130℃で約0.1 torrより大きい蒸気圧を有する;および
− 前駆体は、Ni(pda)2;Ni(dmpda)2;Ni(depda)2;Ni(diPrpda)2;Co(pda)2;Co(dmpda)2;Co(depda)2;およびCo(diPrpda)から選択される。
前述の事項は、次により理解されるであろう本発明の詳細な説明のためにむしろ広く本発明の特徴および技術有益さを概要する。本発明の追加の特徴および有益さは本発明の請求の範囲の主題を形成することをこの後に述べるであろう。開示される概念および特有の態様は本発明の同じ目的をなす他の構造に変更または設計するための根拠としてすでに利用できることを当業者によって正当に評価されるべきである。そのような等価な構成は添付の請求の範囲に示すように本発明の精神および範囲から離れないことを当業者によってまた認識されるべきである。
表記法および命名法
ある用語は種々の成分および構成を参照するために次の記述および請求の範囲に亘って用いられる。この文献は、名前が異なるが機能ではない成分間を識別するつもりがない。ここで使用されるように用語“アルキル基”は炭素および水素原子をもっぱら含む飽和官能基を指す。さらに、用語“アルキル基”は直鎖、分岐または環式のアルキル基を指すことができる。直鎖アルキル基の例は、制限されず、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等を含む。分岐アルキル基の例は、制限されず、t−ブチルを含む。環式アルキル基の例は、制限されず、シクロプロピル基、シクロヘキシル基等を含む。
ある用語は種々の成分および構成を参照するために次の記述および請求の範囲に亘って用いられる。この文献は、名前が異なるが機能ではない成分間を識別するつもりがない。ここで使用されるように用語“アルキル基”は炭素および水素原子をもっぱら含む飽和官能基を指す。さらに、用語“アルキル基”は直鎖、分岐または環式のアルキル基を指すことができる。直鎖アルキル基の例は、制限されず、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等を含む。分岐アルキル基の例は、制限されず、t−ブチルを含む。環式アルキル基の例は、制限されず、シクロプロピル基、シクロヘキシル基等を含む。
ここで用いられるように、略語“Me”はメチル基を指し、略語“Et”はエチル基を指し、略語“t-Bu”はターシャリーブチル基を指し、略語“pda”はペンタ−2,4−ジケチミナト、略語“dmpda”はN,N’−ジメチル−ペンタン−2,4−ジケチミナトを指し、略語“depda”はN,N’−ジエチル−ペンタンテ−2,4−ジケチミナトを指し、略語“diPrpda”はN,N’−ジイソプロピル−ペンタン−2,4−ジケチミナトを指す。
ここに用いられるように、R基を記述することの文脈に用いられるとき、用語“別個に”は主題R基が異なる上付き文字を意味する他のR基に対して別個に選択されるだけでなく、同じR基の幾つかの追加の種に対しても別個に選択されることを意味することを理解すべきである。例えば、式GeR1 x (NR2R3)(4-x)、ここでxは2または3であり、2または3R1基は必要ではないが、互いにまたはR2 もしくはR3と等しくてもよい。さらに、別に規定しない限り、R基の値は異なる式で用いられる場合、互いに別個であることを理解すべきである。
好ましい態様の説明
ある態様において、基板上に金属含有薄膜を堆積する方法は気相金属−有機前駆体を1つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入することを含む。前駆体は、少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を有し、かつ一般式:M(R1C(NR4)CR2C(NR5)R3)2Ln
ある態様において、基板上に金属含有薄膜を堆積する方法は気相金属−有機前駆体を1つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入することを含む。前駆体は、少なくとも1つのβ−ジケチミナト配位子を有し、かつ一般式:M(R1C(NR4)CR2C(NR5)R3)2Ln
を有する。
ここで、Mはニッケル、コバルト、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、白金、銀および金から選ばれる金属である。それぞれのR1-5はH; および C1 − C4直鎖または分岐アルキル基、アルキルシリル基、アルキルアミド基、アルコキシ基、またはアルキルシリルアミド基から別個に選択される有機配位子である。各Lは炭化水素;酸素含有炭化水素:アミン;ポリアミン;ビピリジン;酸素含有へテロ環、窒素含有ヘテロ環、およびそれらの組合せから別個に選択され、かつnは0も4も含めて0から4の範囲の整数である。
一般的に、開示される前駆体は低融点を有する。少なくとも1つの態様において、前駆体は約80℃より低い、択一的に約35℃未満の融点を有する。幾つかの態様において、前駆体の蒸気圧は130℃で0.1 torrより大きい。
開示された前駆体化合物は、それらの当該技術で知られた幾つかの堆積方法を用いて堆積することができる。適切な堆積方法の例は、制限されない、従来のCVD、低圧力化学蒸着法(LPCVD)、原子層堆積(ALD)、パルス化学蒸着法(P-CVD)、プラズマ増強原子層堆積(PE-CVD)、またはそれらの組合せを含む。ある態様において、前駆体は気相で反応チャンバに導入できる。反応チャンバは、制限されない、冷壁型反応器、熱壁型反応器、枚葉ウェハ式反応器、マルチウェハ式反応器、または結果として前駆体を反応し、層を形成するのに適する条件下の他の型の堆積システムのような堆積方法が生じる装置内の幾つかの容器またはチャンバであってもよい。前駆体は、希ガス(例えばN2, He, Ar等)を前駆体にバブリングする、および希ガスプラス気相前駆体混合物を反応器に供することによって反応チャンバ内に導入してもよい。別の態様において、前駆体は液体として気化器、ここで気化される、に供給することができる。液体前駆体は、溶媒または安定化剤(例えばオクタン、ヘキサン、ペンタン、テトラメチルシラン等)を混合することができる。気化およびバブリングの文脈は当業者によって一般的に理解されるであろう。
一般的に、反応チャンバは金属層または膜が堆積されるべき1つまたはそれ以上の基板を含む。1つまたはそれ以上の基板は、半導体製造に用いられる幾つかの適切な基板であってもよい。適切な基板の例は、制限されない、シリコン基板、シリカ基板、窒化シリコン基板、シリコンオキシ窒化物基板、タングステン基板、またはそれらの組合せを含む。さらに、タングステン、貴金属(例えば白金、パラジウム、ロジウムまたは金)を含む基板は使用できる。
幾つかの態様において、1つまたはそれ以上の反応物質も反応チャンバに導入される。反応物質の種類の選択は、基板に堆積される金属膜の性状に影響を及ぼすかもしれない。すなわち、もし反応物質が酸素、窒素、シリコン、炭素またはゲルマニウムを含むと、そのとき結果として得られる膜もまた金属と一緒にこれら(のみまたは組合せ)を含む。可能性のある膜の幾つかの例は制限されないが、次の種類の膜;MN, MC, MO, MSi, MSiN, MSiON, MGe; M1M2OxNy, and MOxNyを含む。
態様において、反応チャンバは約1 mtorrから約100 torr、択一的に約1 torrから10 torrの圧力範囲に維持されてもよい。また、反応チャンバ内の温度は約100℃から約500℃、択一的に約120℃から約450℃、択一的に約150℃から約350℃の範囲にあってもよい。
前駆体および幾つかの任意反応物質は反応チャンバ内に連続して(ALDのように)または同時に(CVDのように)導入してもよい。幾つかの態様において、反応チャンバは前駆体の導入と反応物質の導入の間に希ガスでパージされる。1つの態様において、反応物質および前駆体は反応物質/前駆体混合物を形成するために一緒に混合され、それから混合物の形態で反応器に導入することができる。幾つかの態様において、反応物質は反応物質をそのラジカル形態に分解するためにプラズマによって処理される。これらの態様おいて、プラズマは、例えば遠隔位置プラズマシステム、で反応チャンバから取り除かれる位置一般的にある。当業者は、そのようなプラズマ処理に対して適切な方法および装置を一般的に認識するであろう。
1つの態様において、前駆体および反応物質は反応物質ガスが反応チャンバ内に連続的に導入されながら、反応チャンバ内に連続してまたは同時にパルス(例えばパルスCVD)されてもよい。前駆体および反応物質の各パルスは、約0.01 sから約10 s、択一的に約0.3 sから約3 s、択一的に約0.5 s から約2 sの範囲にある時間期間に対して持続してもよい。別の態様において、希ガスもまた反応チャンバ内にパルスできる。そのような態様において、各ガスのパルスは約0.01 sから約10 s、択一的に約0.3 sから約3 s、択一的に約0.5 s から約2 sの範囲にある時間期間に対して持続してもよい。
例
次の非限定例は本発明の態様をさらに例証するために提供される。しかしながら、例は全てを包括するつもりがなく、かつここで述べられる本発明の範囲を制限するつもりもない。
次の非限定例は本発明の態様をさらに例証するために提供される。しかしながら、例は全てを包括するつもりがなく、かつここで述べられる本発明の範囲を制限するつもりもない。
例1
Ni(pda)2を用いるNi薄膜の予言的原子層堆積
Ni(pda)2を容器内に導入する。容器を90℃に加熱し、かつN2を50 sccmの流量でキャリアガスとして用いる。容器圧力を50Torrに制御する。H2を還元剤として用いる。基板を350℃に加熱する。第1工程の間に、Ni(pda)2を反応チャンバ内に2sの間、導入する。5s のN2 パージを第2工程としてその後になす。第3工程として、H2パルスを反応チャンバ内に2sの間、導入し、第4工程として2s N2パージが続く。全ての4つの工程は、Ni膜を得るために100回繰り返す。自己限定性原子層堆積は、従って得られる。同様な結果を持つ同様な実験は還元剤としてのNH3で予想できる。
Ni(pda)2を用いるNi薄膜の予言的原子層堆積
Ni(pda)2を容器内に導入する。容器を90℃に加熱し、かつN2を50 sccmの流量でキャリアガスとして用いる。容器圧力を50Torrに制御する。H2を還元剤として用いる。基板を350℃に加熱する。第1工程の間に、Ni(pda)2を反応チャンバ内に2sの間、導入する。5s のN2 パージを第2工程としてその後になす。第3工程として、H2パルスを反応チャンバ内に2sの間、導入し、第4工程として2s N2パージが続く。全ての4つの工程は、Ni膜を得るために100回繰り返す。自己限定性原子層堆積は、従って得られる。同様な結果を持つ同様な実験は還元剤としてのNH3で予想できる。
例2
Ni(pda)2を用いるNiOの予言的金属−有機化学蒸着法
Ni(pda)2を容器内に導入する。容器を90℃に加熱し、かつN2を50 sccmの流量でキャリアガスとして用いる。容器内の圧力を50Torrに制御する。Ni(pda)2を反応チャンバ内でO2/N2ガス混合物に混合する。基板を350℃に加熱する。反応チャンバ内側の圧力を10Torrにセットする。ニッケル酸化物の膜を得る。同様な実験結果は後期遷移金属系類似物で予想することができる。
Ni(pda)2を用いるNiOの予言的金属−有機化学蒸着法
Ni(pda)2を容器内に導入する。容器を90℃に加熱し、かつN2を50 sccmの流量でキャリアガスとして用いる。容器内の圧力を50Torrに制御する。Ni(pda)2を反応チャンバ内でO2/N2ガス混合物に混合する。基板を350℃に加熱する。反応チャンバ内側の圧力を10Torrにセットする。ニッケル酸化物の膜を得る。同様な実験結果は後期遷移金属系類似物で予想することができる。
この発明の態様はすでに示され、記述されているとはいえ、その変更はこの発明の精神または技術からはなれずに当業者のよってなすことができる。ここで述べられる態様は、例のみであり、制限されない。組成物および方法の多くの変化および変更は本発明の範囲内で可能である。したがって、保護の範囲はここで述べられた態様に制限されないが、引き続く請求の範囲、本発明の主題事項の全ての等価を含むであろう範囲のみに制限される。
Claims (15)
- 金属含有薄膜を基板上に堆積する方法であって、
a)気相金属−有機前駆体を1つまたはそれ以上の基板を含む反応チャンバに導入すること、ここで前記前駆体はNi(pda)2;Ni(dmpda)2;Ni(depda)2;Ni(diPrpda)2;Co(pda)2;Co(dmpda)2;Co(depda)2;およびCo(diPrpda)2;からなる群から選択される化合物を含む;および
b)金属含有膜を前記基板上に堆積すること、ここで前記基板は約100℃と約500℃の間の温度に維持される
を含む方法。 - 少なくとも1つの反応物質を前記反応チャンバに導入することをさらに含む請求項1記載の方法。
- 前記金属含有膜は、酸素を含み、かつここで前記反応物質は酸素;酸素ラジカル(例えばO・またはOH・);オゾン;一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;水蒸気;過酸化水素;およびそれらの混合物からなる群から選択される少なくとも1つの要素を含む請求項2記載の方法。
- 前記金属含有膜は、窒素を含み、かつここで前記反応物質は窒素;アンモニア;ヒドラジン;アルキル誘導体;窒素含有ラジカル(例えばN・、NH・、またはNH2・);一酸化窒素;一酸化二窒素;二酸化窒素;アミン;およびそれらの混合物からなる群から選択される少なくとも1つの要素を含む請求項2記載の方法。
- 前記金属含有膜は、炭素を含み、かつここで前記反応物質はメタン;エタン;プロパン;ブタン;エチレン;プロピレン;ターシャリーブチレン;イソブチレン;四塩化炭素;およびそれらの混合物からなる群から選択される少なくとも1つの要素を含む請求項2記載の方法。
- 前記金属含有膜は、シリコンを含み、かつここで前記反応物質はSiH4;Si2H6;Si3H8; Si(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基から選ばれる; (SiH3)3N ;(SiH3)2O;一般式SiHx(OR1)4-xのアルコキシシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Si(OH)x(OR1)4-xのシラノール、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式SiHx(NR1R2)4-xのアミノシラン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物からなる群から、好ましくはSi(OH)(OtBu)3; SiH(NMe2)3 ; SiH2(NHtBu)2 ;およびSiH2(NEt2)2からなる群から、選択される少なくとも1つの要素を含む請求項2記載の方法。
- 前記金属含有膜は、ゲルマニウムを含み、かつここで前記反応物質はGeH4;Ge2H6;Ge3H8; Ge(NR1R2)4 、ここでR1およびR2 は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;(GeH3)3N; (GeH3)2O;一般式GeHx(OR1)4-xのアルコキシゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;一般式Ge(OH)x(OR1)4-xのゲルマノール 、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1は別個にH または直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である; 一般式GeHx(NR1R2)4-xのアミノゲルマン、ここでxは0および4を含む0から4の範囲の整数、R1およびR2 は別個にHまたは直鎖、分岐または環式のC1-C6 アルキル基である;およびそれらの混合物からなる群から、好ましくはGe(OH)(OtBu)3; GeH(NMe2)3;GeH2(NHtBu)2 ;およびGeH2(NEt2)2からなる群から、選択される少なくとも1つの要素を含む請求項2記載の方法。
- 前記前駆体および前記反応物質を前記反応チャンバ内に同時に導入することをさらに含む請求項2記載の方法。
- 前記前駆体および前記反応物質を前記反応チャンバ内に連続して導入することをさらに含む請求項2記載の方法。
- 前記前駆体および前記反応物質を一緒に混合すること、および前記前駆体および前記反応物質を前記反応チャンバ内に混合物として導入することをさらに含む請求項2記載の方法。
- 前記前駆体および前記反応物質を前記反応チャンバ内にそれらを前記反応チャンバ内にパルスすることによって導入することをさらに含む請求項2記載の方法。
- 前記反応物質を前記反応チャンバ内に導入する前に、前記反応物質を遠隔位置プラズマシステムに通過させることによって前記反応物質をそのラジカル形態に分解することをさらに含む請求項2記載の方法。
- 前記前駆体は、約80℃以下、好ましくは約35℃以下の融点を有する請求項1記載の方法。
- 前記基板は、約150℃と約350℃の間の温度に維持される請求項1記載の方法。
- 前記前駆体は、約130℃で約0.1 torrより大きい蒸気圧を有する請求項1記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US2558408P | 2008-02-01 | 2008-02-01 | |
US61/025,584 | 2008-02-01 | ||
PCT/IB2009/050427 WO2009095898A1 (en) | 2008-02-01 | 2009-02-02 | New metal precursors containing beta-diketiminato ligands |
US12/364,298 | 2009-02-02 | ||
US12/364,298 US9103019B2 (en) | 2008-02-01 | 2009-02-02 | Metal precursors containing beta-diketiminato ligands |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011511160A true JP2011511160A (ja) | 2011-04-07 |
Family
ID=40666820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010544842A Pending JP2011511160A (ja) | 2008-02-01 | 2009-02-02 | β−ジケチミナト配位子含有新金属前駆体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9103019B2 (ja) |
EP (1) | EP2242870B1 (ja) |
JP (1) | JP2011511160A (ja) |
KR (1) | KR20100109567A (ja) |
WO (1) | WO2009095898A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013181231A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Tokyo Electron Ltd | ゲルマニウム薄膜の成膜方法 |
JP2014528940A (ja) * | 2011-09-20 | 2014-10-30 | ダウ コーニング コーポレーションDow Corning Corporation | ニッケル含有ヒドロシリル化触媒及びその触媒を含有する組成物 |
KR20160057445A (ko) * | 2013-10-02 | 2016-05-23 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 화학 증착법에 의한 Si 기판 상에의 니켈 박막, 및 Si 기판 상에의 Ni 실리사이드 박막의 제조 방법 |
JP2017171664A (ja) * | 2011-05-24 | 2017-09-28 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 有機アミノシラン前駆体、並びにその製造方法及び使用方法 |
Families Citing this family (264)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7927942B2 (en) | 2008-12-19 | 2011-04-19 | Asm International N.V. | Selective silicide process |
US9379011B2 (en) | 2008-12-19 | 2016-06-28 | Asm International N.V. | Methods for depositing nickel films and for making nickel silicide and nickel germanide |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
US8871617B2 (en) | 2011-04-22 | 2014-10-28 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition and reduction of mixed metal oxide thin films |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
KR101521800B1 (ko) * | 2013-05-03 | 2015-05-20 | 한국화학연구원 | 황화 니켈 박막의 제조 방법 |
KR102198856B1 (ko) | 2014-02-10 | 2021-01-05 | 삼성전자 주식회사 | 니켈 함유막을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
JP6225837B2 (ja) | 2014-06-04 | 2017-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法、記憶媒体 |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
JP6354539B2 (ja) * | 2014-11-25 | 2018-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、記憶媒体 |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9607842B1 (en) | 2015-10-02 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming metal silicides |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10053775B2 (en) * | 2015-12-30 | 2018-08-21 | L'air Liquide, Societé Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procédés Georges Claude | Methods of using amino(bromo)silane precursors for ALD/CVD silicon-containing film applications |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
USD876504S1 (en) | 2017-04-03 | 2020-02-25 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust flow control ring for semiconductor deposition apparatus |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
US11639811B2 (en) | 2017-11-27 | 2023-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus including a clean mini environment |
JP7214724B2 (ja) | 2017-11-27 | 2023-01-30 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
US11482412B2 (en) | 2018-01-19 | 2022-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a gap-fill layer by plasma-assisted deposition |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TW202344708A (zh) | 2018-05-08 | 2023-11-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
KR20210027265A (ko) | 2018-06-27 | 2021-03-10 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 함유 재료를 형성하기 위한 주기적 증착 방법 및 금속 함유 재료를 포함하는 막 및 구조체 |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
US11482533B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
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TW202104632A (zh) | 2019-02-20 | 2021-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備 |
TW202100794A (zh) | 2019-02-22 | 2021-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備及處理基材之方法 |
KR20200108248A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
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JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
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USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
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USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
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CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
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US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
KR20210018759A (ko) | 2019-08-05 | 2021-02-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서 |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
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CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN112992667A (zh) | 2019-12-17 | 2021-06-18 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成氮化钒层的方法和包括氮化钒层的结构 |
US11527403B2 (en) | 2019-12-19 | 2022-12-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures |
KR20210095050A (ko) | 2020-01-20 | 2021-07-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
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US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
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CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
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TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
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US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
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USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
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USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
KR102563460B1 (ko) | 2022-02-16 | 2023-08-04 | 한국화학연구원 | 신규한 유기백금 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4202889C2 (de) | 1992-02-01 | 1994-12-15 | Solvay Deutschland | Verfahren zur Abscheidung von ein Metall der ersten Übergangsmetallreihe oder Aluminium enthaltenden Schichten und 1,3-Diketiminato-Metall-Verbindungen |
US7439338B2 (en) * | 2005-06-28 | 2008-10-21 | Micron Technology, Inc. | Beta-diketiminate ligand sources and metal-containing compounds thereof, and systems and methods including same |
-
2009
- 2009-02-02 JP JP2010544842A patent/JP2011511160A/ja active Pending
- 2009-02-02 WO PCT/IB2009/050427 patent/WO2009095898A1/en active Application Filing
- 2009-02-02 US US12/364,298 patent/US9103019B2/en active Active
- 2009-02-02 EP EP09706245A patent/EP2242870B1/en active Active
- 2009-02-02 KR KR20107019397A patent/KR20100109567A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017171664A (ja) * | 2011-05-24 | 2017-09-28 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 有機アミノシラン前駆体、並びにその製造方法及び使用方法 |
JP2014528940A (ja) * | 2011-09-20 | 2014-10-30 | ダウ コーニング コーポレーションDow Corning Corporation | ニッケル含有ヒドロシリル化触媒及びその触媒を含有する組成物 |
JP2013181231A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Tokyo Electron Ltd | ゲルマニウム薄膜の成膜方法 |
KR20160057445A (ko) * | 2013-10-02 | 2016-05-23 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 화학 증착법에 의한 Si 기판 상에의 니켈 박막, 및 Si 기판 상에의 Ni 실리사이드 박막의 제조 방법 |
KR102066112B1 (ko) * | 2013-10-02 | 2020-01-14 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 화학 증착법에 의한 Si 기판 상에의 니켈 박막, 및 Si 기판 상에의 Ni 실리사이드 박막의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009095898A1 (en) | 2009-08-06 |
EP2242870A1 (en) | 2010-10-27 |
EP2242870B1 (en) | 2012-06-20 |
US9103019B2 (en) | 2015-08-11 |
KR20100109567A (ko) | 2010-10-08 |
US20090197411A1 (en) | 2009-08-06 |
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