JP2011247812A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 第１揺動体および第２揺動体を備え、
   前記第１揺動体は、第１軸に配置された前記第１支持部と前記第２支持部とによって支持され、且つ、平面視で前記第１軸によって第１の領域と第２の領域とに区画した場合に各々の領域には第１可動電極が設けられ、
   前記第２揺動体は、前記第１軸と並行する第２軸に配置された前記第３支持部と前記第４支持部とによって支持され、且つ、平面視で前記第２軸によって第３の領域と第４の領域とに区画した場合に各々の領域には前記第２可動電極が設けられ、
   前記第１可動電極および前記第２可動電極の各々に対向して固定電極が設けられ、
   前記第２の領域の質量は前記第１の領域の質量よりも重く、前記第３の領域の質量は前記第４の領域よりも重く、
   前記第１揺動体の前記第１の領域から前記第２の領域への並びの方向と、前記第２揺動体の前記第３の領域から前記第４の領域への並びの方向と、は同じであり、
   検出信号に基づいて信号処理を実行する信号処理回路、を備え、
   前記検出信号は、前記第１の領域の前記第１可動電極と前記固定電極との間で生じる第１検出信号と、前記第２の領域の前記第１可動電極と前記固定電極との間で生じる第２検出信号と、前記第３の領域の前記第２可動電極と前記固定電極との間で生じる第３検出信号と、前記第４の領域の前記第２可動電極と前記固定電極との間で生じる第４検出信号とを含み、
   前記信号処理回路は、
   前記第１検出信号と前記第２検出信号との差を示す第１差動信号を生成し、
   前記第３検出信号と前記第４検出信号との差を示す第２差動信号を生成し、
   前記第１差動信号と前記第２差動信号を加算して得られる信号に基づいて加速度検出信号を生成することを特徴とする物理量センサー。
2. 請求項１に記載の物理量センサーであって、
   前記加速度検出信号は、前記第１軸に交差する方向に発生する加速度成分と、前記第２軸に交差する方向に発生する加速度成分と、が互いに相殺されていることを特徴とする物理量センサー。
3. 請求項１または２に記載の物理量センサーであって、
   前記第１軸および前記第２軸の少なくとも一方は、前記第１揺動体または前記第２揺動体の中心を通る線と平行であることを特徴とする物理量センサー。
4. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載の物理量センサーであって、
   前記第１の領域および前記第２の領域の少なくとも一方、または、前記第３の領域および前記第４の領域の少なくとも一方には、質量部が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
5. 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の物理量センサーであって、
   前記第１揺動体および前記第２揺動体を備えたベースは、平面視で、前記第１の領域に対向する第５の領域と、前記第２の領域に対向する第６の領域と、前記第３の領域に対向する第７の領域と、前記第４の領域に対向する第８の領域と、を有し、
   前記固定電極は、前記第５〜８の領域の各々に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
6. 請求項５に記載の物理量センサーであって、
   前記第１可動電極は、前記第１の領域と前記第２の領域とに跨って共通に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
7. 請求項５に記載の物理量センサーであって、
   前記第２可動電極は、前記第３の領域と前記第４の領域とに跨って共通に設けられていることを特徴とする物理量センサー。
8. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーであって、
   前記第１揺動体には、開口部が設けられ、
   前記開口部に配置された可動錘部と、
   前記可動錘部と前記第１揺動体とを連結する連結部と、
   前記第１揺動体から前記可動錘部に向けて設けられている第１腕状電極部と、
   前記可動錘部から前記第１揺動体に向けて前記第１腕状電極部に対向して設けられている第２腕状電極部と、を備えていることを特徴とする物理量センサー。
9. 揺動体を備え、
   前記揺動体は、第１軸上に配置された第１支持部と第２支持部とによって支持され、且つ、平面視で前記第１軸によって第１の領域と第２の領域とに区画した場合に各々の領域には可動電極が設けられ、
   前記可動電極に対向して固定電極が設けられ、
   前記第１の領域および前記第２の領域の少なくとも一方には、質量部が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
10. 請求項９に記載の物理量センサーであって、
    前記第１軸は、前記揺動体の中心を通る線と平行であることを特徴とする物理量センサー。
11. 請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。