JP2013096806A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基部と、
   前記基部に接続されており、物理量の変化に応じて変位する可動部と、
   前記基部と前記可動部とに支持されている物理量検出素子と、
   前記基部に接続されており、第１固定部を備えている第１支持部と、
   前記基部に接続されており、第２固定部を備えている第２支持部と、
   を含み、
   前記第１固定部と前記第２固定部との間の距離は、前記第１支持部の前記基部との接続部分と前記第２支持部の前記基部との接続部分との間の距離よりも小さい、物理量検出デバイス。
2. 請求項１において、
   前記第１支持部は、前記基部から前記第１固定部までの間に第１屈曲部を備え、
   前記第２支持部は、前記基部から前記第２固定部までの間に第２屈曲部を備えている、物理量検出デバイス。
3. 請求項２において、
   前記第１支持部は、
   前記基部に接続される第１延出部と、
   前記第１屈曲部を介して前記第１延出部に接続され且つ前記第１固定部を備えている第２延出部と、
   を含み、
   前記第２支持部は、
   前記基部に接続される第３延出部と、
   前記第２屈曲部を介して前記第３延出部に接続され且つ前記第２固定部を備えている第４延出部と、
   を含み、
   前記第１延出部の幅は、前記第２延出部の幅よりも大きく、
   前記第３延出部の幅は、前記第４延出部の幅よりも大きい、物理量検出デバイス。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記第１支持部、前記第２支持部、および前記基部の少なくとも１つに接続され、前記可動部の回りに配置され、且つ、第３固定部を備えた連結体を備え、
   前記第１固定部、前記第２固定部、および前記第３固定部に囲まれた範囲内に、前記物理量検出デバイスの重心が在る、物理量検出デバイス。
5. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記第１支持部、前記第２支持部、および前記基部の少なくとも１つに接続され、且つ、前記可動部の回りに配置された連結体と、
   前記連結体に接続され、第４固定部を備えた第３支持部と、
   をさらに含み、
   前記第１固定部、前記第２固定部、および前記第４固定部に囲まれた範囲内に、前記物理量検出デバイスの重心が在る、物理量検出デバイス。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
   前記基部、前記第１固定部、および前記第２固定部は並んで設けられている、物理量検出デバイス。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量検出デバイスと、
   前記物理量検出デバイスを収容するパッケージと、
   を含む、物理量検出器。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量検出デバイスを含む、電子機器。