JP2013096806A - 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス100は、基部10と、基部10に継ぎ手部12を介して支持されており、物理量の変化に応じて変位する可動部14と、基部10と可動部14とに掛け渡されている物理量検出素子40と、基部10から延出しており、第1固定部24を備えている第1支持部20と、基部10から延出しており、第2固定部34を備えている第2支持部30と、を含み、第1固定部24と第2固定部34との間の距離L1は、第1支持部20の基部10との根元の部分23と第2支持部30の基部10との根元の部分33との間の距離L2よりも小さい。
【選択図】図2
Description
本発明に係る物理量検出デバイスは、
基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して支持されており、物理量の変化に応じて変位する可動部と、
前記基部と前記可動部とに掛け渡されている物理量検出素子と、
前記基部から延出しており、第1固定部を備えている第1支持部と、
前記基部から延出しており、第2固定部を備えている第2支持部と、
を含み、
前記第1固定部と前記第2固定部との間の距離は、前記第1支持部の前記基部との根元の部分と前記第2支持部の前記基部との根元の部分との間の距離よりも小さい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第1支持部は、前記基部から前記第1固定部まで延出する間が曲がっており、
前記第2支持部は、前記基部から前記第2固定部まで延出する間が曲がっていてもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第1支持部は、
前記基部から前記第1固定部まで延出する間が、往復したように曲がっており、
前記第2支持部は、
前記基部から前記第2固定部まで延出する間が、往復したように曲がっていてもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第1支持部は、
第1延出部と、
前記第1延出部から前記第1固定部まで延出する間に在って、前記第1延出部の第1延出方向とは異なる第1方向に沿って前記第1延出部から延出している第2延出部と、
を含み、
前記第2支持部は、
第3延出部と、
前記第3延出部から前記第2固定部まで延出する間に在って、前記第3延出部の第2延出方向とは異なる第2方向に沿って前記第3延出部から延出している第4延出部と、
を含み、
前記第1延出部の前記第1方向に沿った幅は、前記第2延出部の前記第1延出方向の幅よりも大きく、
前記第3延出部の前記第2方向に沿った幅は、前記第4延出部の前記第2延出方向の幅よりも大きくてもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体を、さらに含み、
前記連結体は、該連結体を固定するための第3固定部を備えており、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、および前記第3固定部に囲まれた範囲内に、重心が在ってもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体と、
前記連結体から延出しており、第4固定部を有している第3支持部と、
をさらに含み、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、および前記第4固定部に囲まれた範囲内に、重心が在ってもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体と、
前記連結体から延出しており、第4固定部を有している第3支持部と、
前記連結体から延出しており、第5固定部を有している第4支持部と、
をさらに含み、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、前記第4固定部、および前記第5固定部に囲まれた範囲内に、重心が在ってもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記連結体は、
前記第3支持部から前記第4支持部まで延出する間が曲がっていてもよい。
本発明に係る物理量検出デバイスにおいて、
平面視において、前記基部、前記第1固定部、および前記第2固定部は、直線上に並んでいてもよい。
本発明に係る物理量検出器は、
本発明に係る物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容するパッケージと、
を含む。
本発明に係る電子機器は、
本発明に係る物理量検出デバイスを含む。
1.1. 物理量検出デバイス
まず、第1の実施形態に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す斜視図である。図2は、第1の実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す平面図である。図3は、第1の実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す図2のIII−III線断面図である。なお、便宜上、図1〜図3および後述する図4〜図15では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
1.2.1. 第1変形例
次に、第1の実施形態の第1変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図6は、第1の実施形態の第1変形例に係る物理量検出デバイス110を模式的に示す平面図である。なお、図6および後述する図7〜図9では、便宜上、質量部50,52,54,56および接合部材62の図示を省略している。
次に、第1の実施形態の第2変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図7は、第1の実施形態の第2変形例に係る物理量検出デバイス120を模式的に示す平面図である。
次に、第1の実施形態の第3変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図8は、第1の実施形態の第3変形例に係る物理量検出デバイス130を模式的に示す平面図である。
次に、第1の実施形態の第4変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図9は、第1の実施形態の第4変形例に係る物理量検出デバイス140を模式的に示す平面図である。
2.1. 物理量検出デバイス
次に、第2の実施形態に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図10は、第2の実施形態に係る物理量検出デバイス200を模式的に示す斜視図である。図11は、第2の実施形態に係る物理量検出デバイス200を模式的に示す平面図である。なお、図11および後述する図12〜図15では、便宜上、質量部50,52,54,56および接合部材62の図示を省略している。
2.2.1. 第1変形例
次に、第2の実施形態の第1変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図12は、第2の実施形態の第1変形例に係る物理量検出デバイス210を模式的に示す平面図である。
次に、第2の実施形態の第2変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図13は、第2の実施形態の第2変形例に係る物理量検出デバイス220を模式的に示す平面図である。
次に、第2の実施形態の第3変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図14は、第2の実施形態の第3変形例に係る物理量検出デバイス230を模式的に示す平面図である。
次に、第2の実施形態の第4変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図15は、第2の実施形態の第4変形例に係る物理量検出デバイス240を模式的に示す平面図である。
次に、第3の実施形態に係る物理量検出器について、図面を参照しながら説明する。図16は、第3の実施形態に係る物理量検出器300を模式的に示す平面図である。図17は、第3の実施形態に係る物理量検出器300を模式的に示す図16のXVII−XVII線断面図である。
次に、第4の実施形態に係る電子機器について説明する。以下では、第4の実施形態に係る電子機器として、本発明に係る物理検出デバイス(以下の例では物理検出デバイス100)を含む傾斜計について、図面を参照しながら説明する。図18は、第4の実施形態に係る傾斜計400を模式的に示す斜視図である。
12a,12b 溝部、20 第1支持部、21a〜21e 延出部、
22a〜22d 屈曲部、23 第1接続部、24 第1固定部、
25 第1往復構造部、30 第2支持部、31a〜31e 延出部、
32a〜32d 屈曲部、33 第2接続部、34 第2固定部、
35 第2往復構造部、40 物理量検出素子、41a,41b 振動梁部、
42a,42b ベース部、44a,44b 引き出し電極、
46a,46b 接続端子、48 ワイヤー、49a,49b 外部接続端子、
50〜56 質量部、60 〜64 接合部材、70 枠部、71a〜71c 延出部、
71a,71b 屈曲部、74 第3固定部、75 第3往復構造部、
76a,76b 延出部、77 屈曲部、80 第3支持部、81a〜81c 延出部、
81a,81b 屈曲部、84 第4固定部、90 第4支持部、
91a〜91c 延出部、91a,91b 屈曲部、94 第5固定部、
100 物理量検出デバイス、101 構造体、110〜140 物理量検出デバイス、
200〜240 物理量検出デバイス、241 曲面、300 物理量検出器、
310 パッケージ、320 パッケージベース、321 凹部、322 内底面、
323 段差部、324 外底面、325 貫通孔、330 リッド、
332 接合部材、340,342 内部端子、344,346 外部端子、
350 封止部、400 傾斜計、410 ケーブル
Claims (11)
- 基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して支持されており、物理量の変化に応じて変位する可動部と、
前記基部と前記可動部とに掛け渡されている物理量検出素子と、
前記基部から延出しており、第1固定部を備えている第1支持部と、
前記基部から延出しており、第2固定部を備えている第2支持部と、
を含み、
前記第1固定部と前記第2固定部との間の距離は、前記第1支持部の前記基部との根元の部分と前記第2支持部の前記基部との根元の部分との間の距離よりも小さい、物理量検出デバイス。 - 請求項1において、
前記第1支持部は、前記基部から前記第1固定部まで延出する間が曲がっており、
前記第2支持部は、前記基部から前記第2固定部まで延出する間が曲がっている、物理量検出デバイス。 - 請求項2において、
前記第1支持部は、
前記基部から前記第1固定部まで延出する間が、往復したように曲がっており、
前記第2支持部は、
前記基部から前記第2固定部まで延出する間が、往復したように曲がっている、物量検出デバイス。 - 請求項2または3において、
前記第1支持部は、
第1延出部と、
前記第1延出部から前記第1固定部まで延出する間に在って、前記第1延出部の第1延出方向とは異なる第1方向に沿って前記第1延出部から延出している第2延出部と、
を含み、
前記第2支持部は、
第3延出部と、
前記第3延出部から前記第2固定部まで延出する間に在って、前記第3延出部の第2延出方向とは異なる第2方向に沿って前記第3延出部から延出している第4延出部と、
を含み、
前記第1延出部の前記第1方向に沿った幅は、前記第2延出部の前記第1延出方向の幅よりも大きく、
前記第3延出部の前記第2方向に沿った幅は、前記第4延出部の前記第2延出方向の幅よりも大きい、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体を、さらに含み、
前記連結体は、該連結体を固定するための第3固定部を備えており、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、および前記第3固定部に囲まれた範囲内に、重心が在る、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体と、
前記連結体から延出しており、第4固定部を有している第3支持部と、
をさらに含み、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、および前記第4固定部に囲まれた範囲内に、重心が在る、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記可動部と間隙を介して設けられ、前記第1支持部と前記第2支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結体と、
前記連結体から延出しており、第4固定部を有している第3支持部と、
前記連結体から延出しており、第5固定部を有している第4支持部と、
をさらに含み、
平面視において、前記第1固定部、前記第2固定部、前記第4固定部、および前記第5固定部に囲まれた範囲内に、重心が在る、物理量検出デバイス。 - 請求項7において、
前記連結体は、
前記第3支持部から前記第4支持部まで延出する間が曲がっている、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
平面視において、前記基部、前記第1固定部、および前記第2固定部は、直線上に並んでいる、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容するパッケージと、
を含む、物理量検出器。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量検出デバイスを含む、電子機器。
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