WO2007080908A1

WO2007080908A1 - 角速度センサー用振動体

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Publication number: WO2007080908A1
Application number: PCT/JP2007/050207
Authority: WO
Inventors: Isao Arai; Yoichi Nagata
Original assignee: Citizen Holdings Co., Ltd.
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2007-01-11
Publication date: 2007-07-19
Also published as: US20090288486A1; JPWO2007080908A1; US8028579B2; JP4968741B2; CN101365924B; CN101365924A

Abstract

振動体１は、振動片７と支持部５とを有する振動子２と、この振動子を実装する実装基材１１とを備える。実装基材は、支持部を支持する台座部１３と基底部１２とを有する。台座部１３は、基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有すると共に曲線形状の縁部１４を備え、縁部の各位置における法線方向は実装基材に定める基準方向に対して同方向又は少なくとも一つの異なる角度を有する。振動子の台座部１３に対する取り付けにおいて、台座部の曲線形状の縁部から選択した取付位置において、支持部の端部と台座の縁部との両接線方向が一致し、この端部と縁部との位置合わせにより振動子の実装基材に対する取り付け角度を台座部の縁部の法線方向で定める。角速度センサーの振動子の取り付けにおいて、振動子の振動を妨げることなく、かつ、振動子の固定を良好とすると共に、所定角度範囲内の任意の角度で設定する。

Description

明細書

角速度センサー用振動体

技術分野

[0001] 本発明は、角速度センサー用振動体に関し、特に、振動子を実装基材に取り付けるための構成に関する。

背景技術

[0002] 角速度センサー (ジャイロ装置）は、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーシヨン等に用いられ、角速度に応じたコリオリ信号を検出することによって移動体の角速度を検出する。

[0003] ナビゲーシヨン装置では、このナビゲーシヨン装置を備えた車両等の移動体の現在位置を検出する際に、 GPS (Global Positioning System)を用いて測位する方法の他に、予め設定された位置力の移動体の移動方向や移動距離を測位する方法が知られている。この移動方向や移動距離に基づいて測位する方法では、角速度センサ一及び加速度センサーを用いて移動体の現在位置、移動方向あるいは速度変化を検出することが知られて！/、る。

[0004] このとき、加速度等の方向や大きさを検出する際に基準として、当該各センサーに対して検出軸を設定し、この検出軸が移動方向（例えば路面）と平行であることを前提として各センサーの各パラメータを設定し、ナビゲーシヨン装置内に設置し固定している。通常、ナビゲーシヨン装置を車両に設ける場合には、車両内において、水平面 (地面）に対して平行となるように設置固定して、る。

[0005] また、ナビゲーシヨン装置は、一般に、車両内において例えばセンターコンソール等のフロントパネル面に設けられる。ナビゲーシヨン装置をセンターコンソール等のフロントパネル面に設ける場合、ナビゲーシヨン装置が備えるディスプレイ面の視認性を向上させるため、あるいは、ボタンやスィッチ類の操作性を向上させるために、これらディスプレイ面やボタンやスィッチ類を含む面を鉛直方向に対して、当該面がわずかに上向きとなるような角度位置としている。

[0006] そのため、ナビゲーシヨン装置は、ナビゲーシヨン装置の後部（車両の前方側）が鉛直方向で下方位置となるようにフロントパネル面に取り付けることで、ナビゲーシヨン装置を車両のフロントパネル面に対して傾斜させた状態で取り付けることになる。

[0007] このナビゲーシヨン装置のフロントパネル面における取り付け位置は、車種や利用者のオプション等によって異なり、センターコンソールにおいて上方や下方等の種々の位置となる場合がある。このナビゲーシヨン装置のフロントパネル面への取り付け位置によって、ナビゲーシヨン装置の取り付け角度 (水平方向に対する角度）が異なることとなる。例えば、センターコンソールにおいて下方位置に取り付ける場合には、視認性を高めるためにナビゲーシヨン装置はフロントパネル面に対して上方位置に取り付ける場合よりも、より傾斜させて取り付けることになる。

[0008] このように、ナビゲーシヨン装置の車両に対する取り付け角度によっては、角速度センサ一に設定される許容角度を超えて傾斜する場合も生じる。

[0009] このような場合には、ナビゲーシヨン装置の各センサーに設定された検出軸の方向と、実際の検出時に各センサーに加わる加速度等の方向（水平方向）とが大きく異なる為、各センサー自体の感度のオフセット等の誤差が含まれることになり、その結果、車両の現在位置の測位精度や速度の測定精度が低下するという問題点がある。

[0010] 例えば特許文献 1は、上記問題点を指摘すると共に、この課題を解決する構成が示されている。図 18は、ナビゲーシヨン装置をセンターコンソールに取り付けた状態の断面図を示している。上記文献の説明によれば、ナビゲーシヨン装置 100をセンタ一コンソール 110に取り付ける前の水平状態（図 18 (a) )力も水平方向に対して傾斜させ、ディスプレイ面 102をセンターコンソール 110の傾きに合わせて上向きに設置させると、加速度センサー 101の検出軸 103はナビゲーシヨン装置 100の取り付け角度 0に応じて水平方向に対して 0だけ傾くことになる（図 18 (b)、（c) )。

[0011] このとき、車両が前進すると（図 18中の右方向）、ナビゲーシヨン装置 100には前進方向と反対方向に加速度 Axが加わる。また、加速度センサー 101には、車両の振動や路面からの衝撃により垂直方向に加速度 Azが加わって、る。

[0012] 図 18 (a)に示すように、ナビゲーシヨン装置が水平状態にある場合には、加速度センサー 101は、水平方向の加速度 Axと鉛直方向の加速度 Azをそれぞれの方向の加速度として受けるが、図 18 (b)、（c)に示すように、ナビゲーシヨン装置が傾斜状態にある場合には、角速度センサー 101は、水平方向の加速度 Axと鉛直方向の加速度 Azの水平方向の加速度を、傾きに応じたべクトル和八1; (=0 +02 = (；03 θ XAx + sin 0 ΧΑζ)として検出する。

[0013] この検出される加速度 Atは検出されるべき加速度 Axと相違するため、この誤差は結果として車両位置の測位精度等の低下として現れる。この誤差は、ナビゲーシヨン装置 100の取り付け角度 Θが大きくなるほど、車両の移動方向の加速度 Axの成分が低下し、垂直方向の加速度 Azから受ける影響が増加し、誤差が大きくなる。

[0014] 角速度センサーにおいても、上記加速度センサーと同様、車両に対する取り付け角度により誤差が生じ測位精度の低下が現れる。

[0015] この誤差をソフトウェア上で補正する方法では、初期状態で充分な補償が得られないという問題や、取り付け角度が大きい場合には補償が困難であるという問題がある他、製造コスト等の問題があることから、文献では、センサー部を固定支持する取付部材に対して、取付スリットを取付角度を傾斜して形成し、この取付スリットにセンサ一部を嚙み合わせる構成が提案されて、る。

特許文献 1：特開 2003— 227844号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0016] 取付部材に取付角度を傾斜して取付スリットを形成し、この取付スリットにセンサー部を嚙み合わせることで固定支持する構成では、補償される傾きはスリットの傾斜角度に限定されるという問題がある他、複数の傾きを補正するには、各傾きに応じてスリットの傾斜角度の異なる複数の取付部材を揃えておく必要があるという問題がある。

[0017] 一般に、ナビゲーシヨン装置の取り付け角度は、ナビゲーシヨン装置の設置状況に応じて種々異なる。一方、このナビゲーシヨン装置は、角速度センサーがナビゲーシヨン装置に取り付けられると、取り付け後においてはこの角速度センサーの取り付け角度を変更することは困難な状況にある。

[0018] そこで、ナビゲーシヨン装置の供給元では、種々の取り付け角度に応じた角速度センサーを用意し、ナビゲーシヨン装置の取り付け角度に応じた角速度センサーを供給する。この種々の取り付け角度に応じた角速度センサーを構成するには、センサ一部を取付部材に取り付ける際に、取り付け角度を高い自由度で設定することができる構成が求められる。

[0019] 前記した文献で提案される取付部材にスリットを設ける構成では、各取り付け角度に応じたスリットを設けた取付部材を用意する必要があり、用意したスリットの取付角度に限定され、取り付け角度の自由度は低くなる。

[0020] 振動子をパッケージ等の実装基材に取り付けることで振動体を構成する際、実装基材に対する振動子の設置は、実装基材の面積内に振動子が収まる範囲内であれば任意の位置とすることができる。

[0021] し力しながら、振動子を備える振動体では、振動子が自由に振動することが必要であり、振動子は実装基材に対して接触しないように取り付ける必要がある。振動子が実装基材と接触すると、振動子は角速度に応じた振動とならず、このような振動体を用いると角速度センサーの検出精度が低下することになる。

[0022] 振動子を実装基材に取り付ける際には、振動子が振動した際に実装基材と接触しないように、振動子については、一方の端部に基部を設け、さらにこの基部にくびれ部を挟んで支持部を設けた構成とし、この振動子を取り付ける部材としては、実装基材上の段差を有して台座部を設けた構成とし、この台座部上に支持部を取り付けている。

[0023] このような台座部上に振動子の支持部を取り付ける構成では、以下に説明するように、台座部と支持部との取り付け位置における制限によって、実装基材上で任意の位置に振動子を取り付けることができない。

[0024] 図 19は、振動子の支持部と台座部との位置関係を説明するための図である。なお

、図 19は、振動子の支持部と台座部とが理想的な位置関係を示している。

[0025] 図 19において、振動子は、図示していない複数の振動片 7が基部 3によって連接され、くびれ部 4によって支持部 5に対して振動自在に支持されてヽる。

[0026] この振動子 2の台座部 13への取り付けでは、くびれ部及び支持部と台座部との位置関係で以下の 2つの点が求められる。

[0027] くびれ部と台座部との位置関係で求められる点は、振動片の振動を妨げることなく支持することであり、支持部 5のみを台座部 13に固定し、振動するくびれ部 4は台座部 13に接触しな、ように取り付けることが求められる。くびれ部 4が台座部 13と接触した場合にはくびれ部 4の振動が妨げられ、振動片の振動に誤差が生じることになるため、くびれ部 4は台座部 13に接触することなく取り付けられることが求められる。

[0028] 一方、支持部と台座部との位置関係で求められる点は、振動子を安定して固定することであり、支持部 5と台座部 13との接触面積を大きくすることが求められる。支持部 5の面積は振動子 2によって定まるため、支持部 5の面積を余すことなく台座部 13 に接触することが求められる。

[0029] 図 19 (b)〜図 19 (d)は、支持部 5の端部 5aが台座部 13の縁部 14力も外れた状態を示している。図 19 (b)は、端部 5aが縁部 14力も外れることにより、支持部 5の一部が台座部 13からはずれて領域 RAが接触してヽな、状態を示して!/、る。この状態では領域 RAだけ接触面積が減るため、その分振動子 2の固定状態が不安定となる。

[0030] また、図 19 (c)は、端部 5aが縁部 14力も外れることにより、支持部 5の一部が台座部 13からはずれて領域 RBが接触しなくなると共に、くびれ部 4の一部の領域 RCが台座部 13と接触した状態を示して、る。この状態では領域 RBだけ接触面積が減るため、その分振動子 2の固定状態が不安定となり、また、領域 RCが台座部 13と接触することで振動子の振動状態に影響が生じる。

[0031] また、図 19 (d)は、くびれ部 4と台座部 13とが領域 RDの部分で接触している状態を示している。この状態では、くびれ部 4の振動が台座部 13で制限を受け、振動片の振動に支障が生じる。

[0032] 上記したように、振動子の支持部と台座部との位置関係では、支持部の端部と台座部の縁部が一致するように配置されることが求められる。

[0033] 特に、限られた面積の実装基材内において、上記した条件を満足すると共に、振動子の取り付け角度を一つの角度に限らず、所定角度範囲内の任意の角度で設定できることが求められる。

[0034] ここで、振動子は水晶結晶で形成されるため、曲線状の加工はコスト高を招く。そのため、通常、支持部 5の端部 5aは直線状に加工される。振動子の取り付けにおいて

、くびれ部と台座部との位置関係を良好なものとするには、台座部の構成によって上記要求を満足させる必要がある。 [0035] そこで、本発明は従来の問題を解決し、角速度センサー用振動体が備える振動子の取り付けにおいて、振動子の振動を妨げることなぐかつ、振動子の固定を良好なものとすると共に、所定角度範囲内の任意の角度で設定できることを目的とする。

[0036] より詳細には、振動子の複数の取り付け角度位置において、振動子の支持部の端部と振動子を支持する台座部の縁部とを一致させることができる台座部を構成することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0037] 本発明の角速度センサー用振動体は、振動子の実装基材への取り付けにおいて、振動子を固定する台座部と振動子の支持部との位置関係が、振動子の取り付け角度にかかわらず一定となるように台座部の形状を形成することによって、振動子の振動を妨げることなぐかつ、振動子の固定を良好なものとすると共に、所定角度範囲内の任意の角度での設定を可能とする。

[0038] 本発明の角速度センサー用振動体は、振動片とこの振動片を支持する支持部とを有する振動子と、この振動子を実装する実装基材とを備える。

[0039] 本発明の第 1の態様は、実装基材は、振動子の支持部を固定することで振動子を支持する台座部と基底部とを有する。台座部は、基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有すると共に、曲線形状の縁部を備え、この縁部の各位置における法線方向は実装基材に定める基準方向に対して同方向又は少なくとも一つの異なる角度を有する。

[0040] そして、振動子の台座部に対する取り付けにおいて、台座部の曲線形状の縁部から選択した取り付け位置において、支持部の振動片側の端部と台座の縁部との両接線方向が一致し、この端部と縁部との位置合わせにより振動子の実装基材に対する取り付け角度を台座部の縁部の法線方向で定める。

[0041] 台座部の曲線形状の縁部は、その各位置における法線方向が振動子の取り付け角度を定めているため、この台座部の縁部に合わせて振動子を取り付けることによつて、振動子の振動を妨げることなぐかつ、振動子の固定を良好なものとすると共に、所定角度範囲内の任意の角度で取り付けることができる。

[0042] 上記第 1の態様において、本発明は以下の 2つの形態をとることができる。第 1の形態は、振動子を実装基材上に取り付けることができる複数の角度位置が、これらの振動子を仮想的に定めた回転中心の回りで回転させた位置となる形態である。

[0043] この第 1の形態では、台座部の縁部の曲線形状は円弧形状であり、この円弧の中心及び半径は、振動子を実装基材に対して異なる取り付け角度で取り付けるために仮想的に定めた回転中心及びこの回転中心から振動子の支持部の端部までの距離である。

[0044] これによつて、台座部の縁部の異なる位置に振動子を取り付けると、各振動子は、仮想的に定まるある点を回転中心として回転した位置をとる。振動子を実装基材上でこのように配置することで、限られた面積の実装基材上において様々な角度で振動子を取り付けることができる。

[0045] 上記した回転中心は、振動子の輪郭上またはその内側とする他に、振動子の輪郭外としてもよい。

[0046] また、第 2の形態は、振動子を実装基材上に取り付けることができる複数の角度位置が、これらの振動子が仮想的に定まる回転中心が一点ではなぐ連続する曲線上に配列されたと見なせる形態である。

[0047] この第 2の形態では、縁部の曲線の形状は、振動子が実装基材上で取り得る複数の取り付け位置の内で、連続して取り得る取り付け位置をつなヽで形成される軌跡に対応して振動子の支持部の端部が形成する曲線形状であり、この曲線の各位置の曲率の中心及び半径は、連続する取り付け位置における振動子によって仮想的に定まる回転中心及びこの回転中心力支持部の端部までの距離である。

[0048] これによつて、台座部の縁部の異なる位置に振動子を取り付けると、各振動子に位置は、仮想的に定めた回転中心の軌跡である。連続する曲線上の回転中心の回りの回転運動の結果と見なせる。振動子を実装基材上でこのように配置することで、限られた面積の実装基材上において様々な角度で振動子を取り付けることができる。

[0049] 第 1の態様において、振動子の実装基材に対する取り付け角度の範囲は、少なくとも 30度とし、台座部の法線方向の範囲は、この取り付け角度に合わせて少なくとも 3 0度とする。

[0050] また、第 1の態様において、振動子を所定角度で取り付けたときの振動子の輪郭の一部と整列するマーカーを少なくとも一つ備える。

[0051] 実装基材に対して振動子を取り付ける際に、このマーカーと振動子の一部とが整列して、る力否かを確認することで、所定の取り付け角度で取り付けられて、るか否かを確認することができる。

[0052] この振動子の取り付け角度の位置合わせの指標として用いるマーカーは、実装基材の基底部の面に設ける他に、この基底部に設ける回路基板に設けることができる。

[0053] 角速度センサー用振動体は、振動片の検出信号を信号処理する回路基板を備えることができ、この回路基板は基底部に設ける構成とすることができる。所定角度で取り付けたときの振動子の輪郭の一部と整列するマーカーを回路基板に設けておき、この回路基板を基底部に設置することで、マーカーを振動子の取り付け角度の指標として用いることができる。マーカーは、回路基板に設けた開口部によって形成することができ、この開口部はポリイミド等の表面保護膜に設けた端子接続用の開口部とともに形成することができる。回路基板は ICチップとすることができる。

[0054] また、台座部は、曲線形状の縁部に対応し、この曲面形状と類似の壁部を備える。

この壁部は、振動子の支持部の端部と係合して、この振動子の長手方向の位置決めを行うことができる。

[0055] また、壁部は、振動子の支持部の端部が備える突出部に対応する凹部を、振動子の所定取り付け角に応じて少なくとも一つ備えてもよい。この凹部によれば、振動子に支持部に製造時等で形成されるバリと呼ばれる突起した部分が壁部と接触して、位置合わせに支障が生じることを避けることができる。

[0056] 本発明の第 2の態様は、第 1の態様と同様に、振動片と当該振動片を支持する支持部とを有する振動子と、この振動子を実装する実装基材とを備える角速度センサ一用振動体である。

[0057] 第 2の態様において、振動子はその支持部を円形の一部力なる形状とし、実装基材においてこの支持部を固定して振動子を支持する台座部は、実装基材の基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有すると共に、振動子の支持部の円形と同径の円形形状とする。

[0058] 振動子の台座部に対する取り付けにおいて、台座部の円形形状の中心は、振動子を実装基材に対して異なる取り付け角度で取り付けた際に各振動子によって仮想的に定まる回転中心とする。

[0059] この第 2の態様によれば、振動子の支持部及び実装基材の台座部は共に円形形状であり、この円形形状の台座部を中心として、複数の取り付け角度で振動子を取り付けることができる。

[0060] 第 2の態様の台座部は、円形形状と同一中心で、円形形状の径に許容量を付加した径で、円形形状の一部を囲む円弧形状の壁部を備える。この壁部は、振動子の支持部の円形形状部分と係合して、この振動子の支持部の位置決めを行う。

[0061] また、第 2の態様の壁部は、振動子の支持部の端部が備える突出部に対応する凹部を、振動子の所定取り付け角に応じて少なくとも一つ備える。この凹部によれば、第 1の態様と同様に、振動子の支持部に製造時等で形成されるバリと呼ばれる突起した部分が壁部と接触して、位置合わせに支障が生じることを避けることができる。

[0062] 本発明の第 2の態様は、第 1の態様と同様に、振動片と当該振動片を支持する支持部とを有する振動子と、この振動子を実装する実装基材とを備える角速度センサ一用振動体である。

[0063] 本発明の第 3の態様は、第 1の態様において、台座部の縁部の形状を複数の直線の組み合わせ力なる形状とするものであり、この縁部の各位置における法線方向を実装基材に定める基準方向に対して同方向又は少なくとも一つの異なる角度とする

[0064] 第 3の態様によれば、第 1の態様のように取り付け角度を連続的に選択することはできないものの、縁部に予め定めておいた取り付け角度に応じた直線部分を複数個用意しておき、この中から所望とする取り付け角度に対応した直線部分を選択し、この直線部分に合わせて振動子の端部を合わせることで、振動子を選択した取り付け角度に取り付けることができる。

発明の効果

[0065] 本発明によれば、角速度センサー用振動体が備える振動子の取り付けにおいて、振動子の振動を妨げることなぐかつ、振動子の固定を良好なものとすると共に、所定角度範囲内の任意の角度で設定することができる。 [0066] また、本発明によれば、種々の態様によって、振動子の複数の取り付け角度位置にぉ、て、振動子の支持部の端部と振動子を支持する台座部の縁部とを一致させることができる台座部を構成することができ、この台座部を用いることで、振動子を実装基材に対して所望の取り付け角度で取り付けることができる。

図面の簡単な説明

[0067] [図 1]本発明の角速度センサーの取り付け状態を説明するための図である。

[図 2]本発明の角速度センサー用振動体を説明するための図である。

[図 3]本発明の角速度センサー用振動体の断面図である。

[図 4]本発明の振動体の台座部と振動子との位置関係を説明するための図である。

[図 5]本発明の振動体の台座部と振動子との各位置での取り付け状態を示す図である。

[図 6]本発明の回路基板に設けたマーカーの概略図である。

[図 7]本発明の回路基板の断面図である。

[図 8]本発明のマーカーを用いた振動子の取り付け角度の位置合わせを説明するための図である。

[図 9]本発明の振動子の支持部と台座部と重なり状態を説明するための図である。

[図 10]本発明の仮想的な回転中心の位置を説明するための図である。

[図 11]本発明の台座部と振動子との位置関係について仮想的な回転中心が振動子の輪郭外にある場合を説明するための図である。

[図 12]本発明の仮想的な回転中心 Pが振動子の支持部上にある場合を説明するための図である。

[図 13]本発明の振動体の壁部に設ける凹部を説明するための図である。

[図 14]本発明の振動体の壁部に設ける凹部を説明するための図である。

[図 15]本発明の振動子の各取り付け角度において仮想的な回転中心が連続してつながる形態を説明するための図である。

[図 16]本発明の振動体の台座部の縁部の形状が複数の直線をつなげた構成を説明するための図である。

[図 17]本発明の振動体の台座部の縁部の形状が複数の直線をつなげた構成を説明するための図である。

[図 18]ナビゲーシヨン装置をセンターコンソールに取り付けた状態の断面図である。

[図 19]振動子の支持部と台座部との位置関係を説明するための図である。

符号の説明

1 振動体

2 振動子

3 基部

4 くびれ部

5 支持部

5a 端部

5b 後端部

5c 突出部

6 端子

7 振動片

8 ワイヤボンディング

11 実装基材

12 基底部

13 台座部

14 縁部

15 配線部

16 壁部

16a 凹部

17 接点端子

18 配線

19 枠部

20 マーカー

30 回路基板

31 開口部 32 マーカー

33 配線

100 ナビゲーシヨン装置

101 加速度センサー

102 ディスプレイ

103 検出軸

110 コンソ一ノレ

111 操作パネル

発明を実施するための最良の形態

[0069] 以下、本発明の角速度センサー用振動体について図を用いて詳細に説明する。

[0070] 図 1は本発明の角速度センサー用振動体を用いた角速度センサーの取り付け状態を説明するための図である。図 1において、角速度センサーを備えたナビゲーシヨン装置 100は、車両のコンソール 110部分に取り付けている。コンソール 110は、運転者の操作性を向上させるために操作パネル 111が傾斜した状態で設けられる。操作ノネル 111には、この他にナビゲーシヨン装置 100が設けられる。ナビゲーシヨン装置 100についても、操作パネル 111と同様に傾斜した状態で取り付けられ、運転者や同乗者によるディスプレイ 102の視認性を向上させている。

[0071] なお、図 1に示すナビゲーシヨン装置 100の取り付け状態は一例であって、この取り付け状態に限らず、操作パネル上に設けられたエアコン用の開口部や、コンソール 1 10の上方位置や、助手席側のパネル部分等に設けることもできる。

[0072] 何れの位置に設ける場合であっても、ナビゲーシヨン装置 100のディスプレイ 102 の視認性を向上させるために、ナビゲーシヨン装置 100自体を車両の垂直方向に対して角度を持たせて傾けて取り付けて、る。

[0073] ナビゲーシヨン装置 100は、予め設定された位置からの移動体の移動方向や移動距離を測位することによって、このナビゲーシヨン装置 100を備えた車両の現在位置を検出することができる。この測位においては、角速度センサーを用いて移動体の現在位置、移動方向あるいは速度変化を検出する。

[0074] このとき、加速度の方向や大きさを検出する際に基準として、角速度センサーに対して検出軸を設定し、この検出軸が移動方向（例えば路面）と平行であることを前提として角速度センサーの各パラメータを設定し、ナビゲーシヨン装置内に設置し固定する。

[0075] 通常、ナビゲーシヨン装置を車両に設ける場合には、車両内において、水平面（地面）に対して平行となる位置を基準とする力前記したように、ナビゲーシヨン装置の設置位置によっては、水平面 (地面）に対して平行とならず傾斜した状態で取り付けられる。また、ナビゲーシヨン装置に設けられる角速度センサーも、ナビゲーシヨン装置が水平面 (地面）に対して平行となる位置であることを前提として取り付けられて!/、るため、ナビゲーシヨン装置が傾斜した場合には、角速度センサーも傾斜することになり、検出誤差の要因となる。

[0076] 本発明の角速度センサーは、この傾斜状態での取り付けに対して角速度センサーが備える振動子の取り付け角度を調整し、振動子の取り付け角度が水平面 (地面）に対して垂直方向となるようにする。

[0077] 図 2は、本発明の角速度センサー用振動体の概略を説明するための図である。なお、図 2では、通常、振動体 1を覆っているカバー部分を省略して示している。

[0078] 図 2において、振動体 1は、角速度を検出するセンサー部分を構成する振動子 2と、この振動子 2を実装し所定の角度に固定する実装基材 11を備える。

[0079] 振動子 2は水晶振動子で形成され、複数本の振動片 7と、この振動片 7の固定端を束ねる基部 3と、振動子 2を実装基材 11に支持させて固定するための支持部 5と、基部 3と支持部 5との間をつなぐと共に、振動片 7の振動によって振動するくびれ部 4を備える。このくびれ部 4の幅は、基部 3や支持部 5の幅よりも狭く形成され、良好な振動が得られるようにしている。

[0080] また、支持部 5には、振動片 7に設けられた駆動用電極に対して駆動電流を供給するための端子や、同じく振動片 7に設けられた検出用電極力の検出信号を外部に出力するための端子が設けられ、後述する実装基材 11側の配線部 15に設けた接点端子との間をワイヤボンディング 8で接続して、る。

[0081] 実装基材 11は、例えばセラミック材で形成され、ベース部分を構成する基底部 12 と、この基底部 12上に設けた台座部 13と、振動子 2との間でワイヤボンディング 8によつて電気的に接続する接点端子 17及び配線 18を設けた配線部 15と、枠部 19を備える。

[0082] 振動子 2は、その支持部 5を実装基材 11の台座部 13上に固定することによって取り付けられる。この取り付けにおいて、振動子 2の支持部 5の端部 5aと台座部 13に設けた縁部 14と、振動子 2の支持部 5の端部 5aとを合わせることによって、振動子 2の取り付け角度が所定角度となるように定める。

[0083] 台座部 13は、基底部 12の面力も所定の高さの段差を有し縁部 14を備える。この段差の高さは、振動片 7の振動幅よりも大きく設定し、振動片 7が振動した際に振動片 7 が基底部 12の面と接触しないように定めている。

[0084] 縁部 14は振動子 2の取り付け位置及び取り付け角度を定める。縁部 14の接線方向は振動子 2の取り付け角度を定め、縁部 14の位置は振動子 2の取り付け位置を定める。この縁部 14による振動子 2の取り付け位置及び取り付け角度については後述する。

[0085] また、配線部 15は、台座部 13と面した部分に壁部 16を備える。この壁部 16は、振動子 2の支持部 5の端部と接触させることによって振動子 2の位置を定める。

[0086] 図 3は、本発明の角速度センサー用振動体の断面図を示している。なお、図 3 (a) は支持部と配線部との間の配線がない部分を示し、図 3 (b)は支持部と配線部との間の配線がある部分を示して、る。

[0087] 断面図において、基底部 12を下方としたとき、下から上に向かって、基底部 12、台座部 13、配線部 15、枠部 19の上端の順となり、台座部 13上に振動子 2の支持部 5 が固定され、また、基底部 12と台座部 13との間には段差が形成され、台座部 13と配線部 15との間には壁部 16が形成される。

[0088] なお、図 3中において、振動片 7と支持部 5上の接点端子 6との間を結ぶ配線はプリント配線等で形成することができ、ここでは省略して！/、る。

[0089] 次に、台座部と振動子との位置関係について、図 4を用いて説明する。なお、図 4 において、上下方向を実装基材に定めた基準方向とし、この基準方向が空間に対して傾斜配置されたときは、角速度センサーの振動子をこの基準方向に対して傾斜させて取り付ける。 [0090] 図 4において、 Aは実装基材に定めて基準方向を示し、 Bは台座部の縁部における接線方向を示し、 Cは振動子の実装基材に対する取り付け方向を示している。

[0091] 図 4において、角速度センサーが垂直方向に取り付けられる場合には、実装基材の基準方向 Aと垂直方向とがー致しているため、振動子 2を基準方向 Aと同方向に取り付けることによって、振動子 2は垂直方向に取り付けられる。図 4 (a)はこの状態を示している。

[0092] これに対して、角速度センサーが垂直方向から傾いて取り付けられる場合には、実装基材の基準方向 Aは垂直方向から傾斜しているため、振動子 2を基準方向 Aから所定角度 Θだけ傾けて取り付けることによって、振動子 2は垂直方向に取り付けられる。図 4 (b)、（c)はこの状態を示している。

[0093] このとき、振動子 2は、台座部 13の縁部 14に沿って配置することで、取り付け位置及び取り付け角度を定めることができる。

[0094] ここで、台座部 13の縁部 14は、その法線方向を振動子 2の取り付け角度に合わせて設定する。これにより、縁部 14の接線方向 Bは、振動子 2の取り付け角度と直交する。この直交する方向は、振動子 2の支持部 5のくびれ部 4側の端部 5aの方向と一致しているため、台座部 13の縁部 14の接線方向 Bと振動子 2の支持部 5の端部 5aの辺とを合わせることによって、振動子 2の傾きを所定角度 Θに合わせることができる。

[0095] ここで、振動子 2が取り得る種々の角度位置は、各振動子 2を、任意に定めた仮想的に設定される回転中心（図中の点 P)の回りで回転させて配置したものである。例えば、図 4では、（a)、（b)、（c)の振動子の位置は、図中の点 Pを中心として回転させた位置である。

[0096] これにより縁部 14の各点での法線方向は仮想的な回転中心 Pに向力、、その点の軌跡は仮想的な回転中心 Pとする円弧状に配置されることになる。したがって、各振動子 2の角度位置を定める縁部 14は円弧形状により形成することができる。この円弧形状の各点における法線方向は、仮想的な回転中心 Pに向力つている。この円弧形状において、支持部 5の端部 5aの辺を円弧の接線方向に合わせることで、振動子 2 の取り付け方向 Cを仮想的な回転中心 Pに向かわせ、実装基材の傾きに合わせた取り付け角度とし、振動子 2の最終的な向きを垂直方向とすることができる。また、円弧形状の半径は、仮想的な回転中心 Pと支持部 5の端部 5aとの距離により定めることができる。

[0097] また、台座部 13の後方に設けた壁部 16についても、縁部 14と同じ点を回転中心とする円弧状とし、仮想的な回転中心 Pと支持部 5の後端部 5bとの距離を半径とすることがでさる。

[0098] 振動子 2の台座部 13上での位置決めにおいて、支持部 5の端部 5aの辺の方向を縁部 14の接線方向に合わせると共に、支持部 5の後端部 5bをこの壁部 16に当接させることによって、振動子 2の位置を定めても良い。

[0099] 図 5は、図 4における（a)〜（c)の各位置での取り付け状態を示している。図 5 (a)は図 4中の（a)の角度位置に対応し、振動子 2の取り付け方向 Cと実装基材 11の基準方向 Aとが一致して取り付けた状態を示している。また、図 5 (b) ,図 5 (c)は図 4中の (b) , (c)の角度位置に対応し、振動子 2の取り付け方向 Cを実装基材 11の基準方向 Aに対して角度 Θの傾きで取り付けた状態を示している。

[0100] このとき、図 5 (b)、（c)における実装基材 11は、垂直方向に対して角度 Θで傾斜して、るため、振動子 2はそれぞれ垂直方向に取り付けられることになる。

[0101] なお、図 5において、実装基材 11の基底部 12の面上に設けたマーカー 20に対して、振動子 2の一部が整列している力否かを判定することによって、振動子 2の取り付け角度が所定角度であるか否かを確認することができる。

[0102] マーカー 20は、振動子 2が予め定められた角度に取り付けられた際に、振動子 2の一部と整列する位置に設けられており、このマーカーとの整列状態によって振動子 2 の取り付け角度を目視あるいは画像認識により確認することができる。

[0103] 振動子 2の実装基材 11への取り付けは、実装基材 11を設置位置の位置データが予め取得されている場合には自動機構によって行うことができ、人手による操作を不要とすることができる。マーカーは、この自動機構により取り付けられた状態を確認する際の目安とすることがでさる。

[0104] なお、このマーカーは、予め定めた取り付け角度に応じた位置に設けておく。このマーカーは、例えば、アルミナコート（例えば、 15 mの厚さ）で形成する他、プリントや凹部ゃ凸部、マーカー部のみメツキ層を省くこと等より形成することができる。 [0105] 振動子 2で検出された検出信号は、角速度センサー用振動体 1から外部に直接に出力する他、内部に設けた回路基板で検出信号を信号処理した後に出力することができる。この回路基板で行う信号処理としては、例えば、検出信号の信号レベルを増幅する信号増幅処理、検出信号を角速度信号に変換する信号処理、各種の補正処理等がある。

[0106] この回路基板は実装基材 11の基底部 12に設ける構成とすることができ、基底部 1 2に取り付けられた回路基板は振動子 2の下方に位置することになり、振動子 2を重ねた状態で下方に回路基板を見ることができる。本発明は、この回路基板にマーカ一を設け、このマーカーを指標として振動子の取り付け角度の位置合わせを行うことができる。

[0107] 以下、図 6〜図 8を用いて、回路基板に設けたマーカーについて説明する。図 6, 図 7は回路基板に設けたマーカーの概略図および断面であり、図 8はマーカーを用いた振動子の取り付け角度の位置合わせを説明するための図である。

[0108] 図 6において、角速度センサー用振動体 1は、実装基材 11の基底部 12上に回路基板 30を備え、この回路基板 30にはマーカー 32が設けられている。なお、図 6に示す構成は、回路基板 30の他は図 2に示した構成と同様とすることができるため、ここでは回路基板 30およびマーカー 32についてのみ説明し、共通する構成についての説明は省略する。

[0109] 回路基板 30は、振動子 2から得られた検出信号を信号処理するための回路を搭載する基板である。この回路基板 30の上層面にはポリイミド等の表面保護膜が設けられている。表面保護膜の下層には接点パッドが設けられ、この接点パッドを外部に露出させるために表面保護膜には開口部 31が形成される。回路基板 30の接点パッド（図示して!/ヽな、）と基底部 12の接点ノッド（図示してヽな、）との間は、配線 33によつて接続される。

[0110] 回路基板 30の表面保護膜には、接点パッド用の開口部 31を形成するとともに、振動子 2を所定角度で取り付ける際の指標となるマーカー 32を形成しておく。マーカー 32は開口部 31と同時に形成することができる。

[0111] 図 8は、回路基板と振動子を実装基材に取り付ける状態を示している。図 8 (a)は、回路基板 30を取り付ける前の状態を示し、図 8 (b)は基底部 12上に回路基板 30を取り付けた状態を示している。なお、基底部 12上に回路基板 30を取り付ける位置は予め設定されており、基底部 12上において回路基板 30は所定位置に位置決めされる。

[0112] 回路基板 30には、表面保護膜に開口部 31とマーカー 32が形成され、マーカー 32 の開口部を通して表面保護膜の下層部分を見通すことができ、これを振動子 2と取り付ける指標とする。マーカー 32は、振動子 2を所定の取り付け角度に取り付けた際に、振動子 2の振動片の縁部分と平行となる位置に、あるいは、振動片と一致して重なる位置に形成される。このマーカー 32の角度および本数は、取り付け角度の角度および角度の種類に応じて定めることができる。

[0113] 図 8 (c)、（d)は、マーカー 32をガイドとして振動子 2を所定の取り付け角度に取り付けた状態を示している。なお、図 8 (c)、（d)では、マーカー 32の縁と振動子 2の振動片の縁とを合わせることで取り付け角度を合わせている力マーカー 32の幅を振動子 2の振動片の幅と同程度とし、振動子 2とマーカー 32とを重ねたときに、振動子 2によってマーカー 32が見えない位置に位置合わせすることによって、取り付け角度を合わせてもよい。

[0114] このときの振動子の支持部と台座部と重なり状態について、図 9を用いて説明する

[0115] 図 9 (a)は、基準方向（ここでは垂直方向) Aと振動子 2の取り付け方向 Cとが一致している場合を示している。このとき、振動子 2の支持部 5の端部 5aの辺と、台座部 13 の縁部 14の接線方向とを合わせることで、くびれ部 4と台座部 13との重なり部分が生じないようにすると共に、支持部 5の全面積を台座部 13上に重ねることができる。これによって、くびれ部 4と台座部 13とが重なることにより振動への影響を避けることができると共に、支持部 5の全面積を台座部 13に無駄なく接触させることでき、固定を良好なものとすることができる。

[0116] 一方、図 9 (b)は、基準方向（ここでは垂直方向） Aに対して振動子 2の取り付け方向 Cが傾斜している場合を示している。このとき、縁部 14は円弧状に形成されているため、振動子 2の支持部 5の端部 5aの辺と、台座部 13の縁部 14の接線方向とを合わせることができ、図 9 (a)と同様の位置関係とすることができる。これによつて、同様に、くびれ部 4と台座部 13との重なり部分が生じないようにすると共に、支持部 5の全面積を台座部 13上に重ねることができ、くびれ部 4と台座部 13とが重なることにより振動への影響を避けることができると共に、支持部 5の全面積を台座部 13に無駄なく接触させることでき、固定を良好なものとすることができる。

[0117] 図 4〜図 9で示した例では、仮想的な回転中心が振動子の輪郭内にある場合を示しているが、この仮想的な回転中心は振動子の輪郭内の任意の位置とする他に、輪郭外としてもよい。図 10は、この仮想的な回転中心の位置を説明するための図である。

[0118] 図 10 (a)は仮想的な回転中心 Pが振動子 2の基部 3上にある場合を示し、図 10 (b) は仮想的な回転中心 Pが振動子 2の支持部 5上にある場合を示し、図 10 (c)は仮想的な回転中心 Pが振動子 2の外側上にある場合を示している。なお、台座部の縁部の円弧形状の曲率は、回転中心 Pの位置によって定まることになる。

[0119] 次に、台座部と振動子との位置関係について、仮想的な回転中心が振動子の輪郭外にある場合について図 8を用いて説明する。なお、図 11において、上下方向を実装基材に定めた基準方向とし、この基準方向を基準として傾斜配置されたときに、角速度センサーの振動子をこの基準方向に合わせて振動子を傾斜させて取り付ける。

[0120] 図 11において、図 4と同様に、 Aは実装基材に定めて基準方向を示し、 Bは台座部の縁部における接線方向を示し、 Cは振動子の実装基材に対する取り付け方向を示している。

[0121] 図 11において、角速度センサーが垂直方向に取り付けられる場合には、実装基材の基準方向 Aと垂直方向とがー致しているため、振動子 2を基準方向 Aと同方向に取り付けることによって、振動子 2は垂直方向に取り付けられる。図 11 (a)はこの状態を示している。

[0122] これに対して、角速度センサーが垂直方向から傾いて取り付けられる場合には、実装基材の基準方向 Aは垂直方向から傾斜しているため、振動子 2を基準方向 Aから所定角度 Θだけ傾けて取り付けることによって、振動子 2はナビゲーシヨン装置 100 に搭載される際には垂直方向を向くように取り付けられる。図 11 (b)、（c)はこの状態を示している。

[0123] このとき、振動子 2は、台座部 13の縁部 14に沿って配置することで、取り付け位置及び取り付け角度を定めることができる。ここで、台座部 13の縁部 14は、その法線方向を振動子 2の取り付け角度に合わせて設定する。これにより、縁部 14の接線方向 B は、振動子 2の取り付け角度と直交する。この直交する方向は、振動子 2の支持部 5 のくびれ部 4側の端部 5aの方向と一致して、るため、台座部 13の縁部 14の接線方向 Bと振動子 2の支持部 5の端部 5aの辺とを合わせることによって、振動子 2の傾きを所定角度 Θに合わせることができる。

[0124] ここで、振動子 2が取り得る種々の角度位置において、各振動子 2は、任意に定めた仮想的に設定される回転中心（図中の点 P)の回りで回転させたと見なすことができるように配置することができる。例えば、図 11では、（a)、（b)、（c)の各回転位置における振動子は、図中の点 Pを中心として回転する位置と見なすことができる。

[0125] これにより縁部 14の各点での法線方向は、振動子 2の輪郭外にある仮想的な回転中心 Pに向力、、その点の軌跡は仮想的な回転中心 Pとする円弧状に配置されることになる。したがって、各振動子 2の角度位置を定める縁部 14は、外側に湾曲した円弧形状により形成することができる。この円弧形状の各点における法線方向は、仮想的な回転中心 Pに向力つている。この円弧形状において、支持部 5の端部 5aの辺を円弧の接線方向に合わせることで、振動子 2の取り付け方向 Cを仮想的な回転中心 Pに向かわせ、実装基材の傾きに合わせた取り付け角度とし、振動子 2の最終的な向きを垂直方向とすることができる。また、円弧形状の半径は、仮想的な回転中心 Pと支持部 5の端部 5aとの距離により定めることができる。

[0126] また、台座部 13の後方に設けた壁部 16についても、縁部 14と同じ点を回転中心とする円弧状とし、仮想的な回転中心 Pと支持部 5の後端部 5bとの距離を半径とすることがでさる。

[0127] 振動子 2の台座部 13上での位置決めにおいて、支持部 5の端部 5aの辺の方向を縁部 14の接線方向に合わせると共に、支持部 5の後端部 5bをこの壁部 16に当接させることによって、振動子 2の位置を定めても良い。

[0128] また、図 12は、図 10 (b)に示した例を示し、仮想的な回転中心 Pが振動子の支持部上にある場合を示して、る。

[0129] この場合には、振動子 2の支持部 5の形状を、くびれ部 4との連結部分を除いてほぼ円形とすると共に、台座部 13の形状を、所定角度位置に設置した際に、少なくとも支持部 5の円形形状部分と重なる部分を同じ径の円形形状とする。これによつて、仮想的な回転中心 Pが振動子の支持部 5上にあるとき、台座部 13に対して支持部 5を、これらの円形形状の外周部分を合わせることで位置合わせを行い、所定角度に設置することができる。

[0130] また、図 13,図 14は、壁部に設ける凹部を説明するための図である。振動子 2を形成する際、一般に一枚の結晶基板から複数個の振動子 2を形成する。このような振動子の形成過程にぉ、ては、枠部分に複数の振動子 2がー部分でつながった状態から、各振動子 2を枠部分力切り離すことで個々の振動子 2を形成する。この際、振動子 2には、枠部分とつながつていた部分力バリと称される突出部 5cとして残る場合がある。

[0131] 通常、このバリ部分は振動片 7の形成に支障がない支持部 5に形成される。前記した構成にお、て、台座部 13の後方位置に設けられた壁部 16に支持部 5の後端部 5 bを当接することによって支持部 5の位置を定め、これにより振動子 2の位置を定める場合には、この支持部 5が備えるバリ部分の突出部 5cは位置決めを行う際の誤差要因となる。

[0132] そこで、本発明の角速度センサー用振動体の形態では、このバリ部分の突出部 5c を避ける構成を備え、これにより、突出部 5cが壁部 16に当接することにより位置ずれを防ぐ。

[0133] 図 13,図 14において、壁部 16は、振動子 2を所定角度位置に取り付けた際に、支持部 5の突出部 5cが当接する箇所に、この突出部 5cを避ける凹部 16aを形成する。これによつて、支持部 5の後端部 5bが壁部 16に当接した際に、突出部 5cは凹部 16 a内に収納されるため、突出部 5cが壁部 16に当接することを避けることができる。

[0134] なお、凹部 16aの配置位置は、予め定めた取り付け角度に応じた位置に設けてお

<o

[0135] 本発明の角速度センサー用振動体において、上記した各例は、振動子の各取り付け角度において、仮想的な一つの回転中心が存在する場合について示している力振動子の各取り付け角度において、仮想的な回転中心が連続してつながる形態とすることちでさる。

[0136] 図 15 (a)は、仮想的な回転中心をつなげて形成される曲線 Dが振動子 2の振動片側にある場合を示し、図 15 (b)は、仮想的な回転中心をつなげて形成される曲線 E が振動子 2の支持部 5の延長上にある場合を示してヽる。

[0137] 台座部 13の縁部 14を構成する曲線は、前記した構成例では仮想的な回転中心が

1点であるため円弧状の曲線を形成しているが、図 15 (a) ,図 15 (b)の例では、仮想的な回転中心は曲線 Dあるいは曲線 E上にあるため、この曲線 D, Eに応じて形成される曲線 D' , E' となる。

[0138] なお、この構成においても、曲線状の縁部 14を用いた振動子 2の取り付けは、前記した円弧状の縁部を用いた取り付けと同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。

[0139] さらに、前記した構成例は、台座部の縁部を単一中心の円弧形状あるいは、中心が一定せず、曲線上を移動する仮想的な回転中心を中心とする円弧を複数つなげて成る曲線形状とする例を示している力複数の直線をつなげた構成としてもよい。図 16,図 17は、台座部の縁部の形状が複数の直線をつなげた構成である場合について示している。

[0140] 図 16は、複数（図では 3つ）の取り付け角度位置で振動子を取り付けることができる構成例である。台座部 13の縁部 14は、各取り付け角度位置において振動子 2の支持部 5の端部 5aと同方向の直線を組み合わせることで構成されている。

[0141] この構成例では、台座部の縁部上の任意の位置で振動子の取り付け角度を定めることはできないが、予め定められた各取り付け角度の位置の中から選択することができる。

[0142] 縁部の形状が曲線形状の場合には、振動子の支持部の端部との重ね合わせにおいて、くびれ部に台座部が重なる部分や、あるいは台座部において支持部と重ならな、ために固定に寄与しな、部分等の望ましくな、部分が僅かに生じるが、この構成によれば、台座部の縁部の形状が直線状であるため、振動子の支持部の端部と同じ形状とすることができ、上記した曲線形状による望ましくない部分の発生を解消することができる。

[0143] また、図 17は、複数の（図では 3つ）の取り付け角度位置で振動子を取り付けることができる構成例であり、各取り付ける角度位置は角速度センサー用振動体の厚さ方向に段状に設けられる例である。

[0144] 図 17 (a)は正面図を示し、図 17 (b)は断面図を示している。この構成は、仮想的な回転中心を正面図 17 (a)のかなり左方に設けた実施例に相当し、台座部 13の高さを異ならせて複数段に形成し、各段において取り付け角度を異ならせた台座部を形成する。

[0145] なお、この構成においても、曲線状の縁部 14を用いた振動子 2の取り付けは、前記した円弧状の縁部を用いた取り付けと同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。

[0146] この構成によれば、振動子をほぼ基準方向（図中の縦方向）に並べることによって、実装基材において、基準方向と直交する方向（図中の横方向）の幅を狭めることができる。

産業上の利用可能性

[0147] 本発明の振動体装置を備える角速度センサーは、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーシヨン等に適用することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 振動片と当該振動片を支持する支持部とを有する振動子と、当該振動子を実装する実装基材とを備える角速度センサー用振動体において、

前記実装基材は、前記支持部を固定して振動子を支持する台座部と基底部とを有し、

前記台座部は、基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有すると共に、曲線形状の縁部を備え、この縁部の各位置における法線方向は、実装する振動子の取り付け角度を定め、実装基材に定める基準方向に対して同方向又は少なくとも一つの異なる角度を有することを特徴とする、角速度センサー用振動体。

[2] 前記振動子の台座部に対する取り付けにおいて、前記縁部で選択した取り付け位置において支持部の振動片側の端部と台座の縁部との両接線方向が一致し、この端部と縁部との位置合わせにより振動子の実装基材に対する取り付け角度を台座部の縁部の法線方向で定めることを特徴とする請求項 1に記載の角速度センサー用振動体。

[3] 前記縁部の曲線形状は円弧形状であり、この円弧の中心は、当該中心の回りに振動子を回転させた場合に振動子がとり得る複数の位置から一つの位置を実装基板に対する振動子の取り付け位置として選ぶために仮想的に定めた回転中心であることを特徴とする、請求項 1又は 2に記載の角速度センサー用振動体。

[4] 前記回転中心は、振動子の輪郭上またはその内側にあることを特徴とする請求項 1 力請求項 3の少なくとも何れか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[5] 前記回転中心は、振動子の輪郭外にあることを特徴とする請求項 1から請求項 3の少なくとも!/、ずれか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[6] 前記縁部の曲線の形状は、振動子が実装基材上で取り得る複数の取り付け位置の内で、連続して取り得る取り付け位置をつないで形成される軌跡に対応して振動子の支持部の端部が形成する曲線形状であり、

この曲線の各位置の曲率の中心及び半径は、前記連続する取り付け位置における振動子によって仮想的に定まる回転中心及びこの回転中心から支持部の端部までの距離であることを特徴とする、請求項 1又は 2に記載の角速度センサー用振動体。

[7] 前記取り付け角度の範囲は、少なくとも 30度であることを特徴とする、請求項 1から請求項 6の少なくとも何れか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[8] 前記基底部は、振動子を取り付ける側の面に、振動子を所定角度で取り付けたときの振動子の輪郭の一部と整列するマーカーを少なくとも一つ備えることを特徴とする、請求項 1から請求項 7の少なくとも何れか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[9] 前記基底部は回路基板を備え、当該回路基板は振動子を所定角度で取り付けたときの振動子の輪郭の一部と整列するマーカーを少なくとも一つ備えることを特徴とする、請求項 1から請求項 7の少なくとも何れか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[10] 前記マーカーは、回路基板上の表面保護膜に設けた開口部により形成することを特徴とする、請求項 9に記載の角速度センサー用振動体。

[11] 前記台座部は、振動子が実装基板上でとり得る複数の取り付け位置の内で、連続してとり得る取り付け位置をつないで形成される軌跡に対応して振動子の支持部の後端部が形成する曲線形状の壁部を備え、

この壁部は、振動子の支持部の後端部に当接して、この振動子の長手方向の位置決めを行うことを特徴とする、請求項 3から請求項 7の少なくとも何れか一つに記載の角速度センサー用振動体。

[12] 前記壁部は、振動子の支持部の端部が備える突出部に対応する凹部を、振動子の所定取り付け角に応じて少なくとも一つ備えることを特徴とする、請求項 11に記載の角速度センサー用振動体。

[13] 振動片と当該振動片を支持する支持部とを有する振動子と、当該振動子を実装する実装基材とを備える角速度センサー用振動体において、

前記振動子の支持部は円形の一部力なる形状であり、

前記台座部は、基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有し、前記支持部の円形と同径の円形形状であり、

台座部の円形形状の中心は、振動子を実装基材に対して異なる取り付け角度で取り付けるために仮想的に定めた回転中心であることを特徴とする、角速度センサー用振動体。

[14] 前記台座部は、前記円形形状と同一中心で、前記円形形状の径に許容量を付カロした径で、円形形状の一部を囲む円弧形状の壁部を備え、

この壁部は、振動子の支持部の円形形状部分と係合して、この振動子の支持部の位置決めを行うことを特徴とする、請求項 13に記載の角速度センサー用振動体。

[15] 前記壁部は、振動子の支持部の端部が備える突出部に対応する凹部を、振動子の所定取り付け角に応じて少なくとも一つ備えることを特徴とする、請求項 14に記載の角速度センサー用振動体。

[16] 振動片と当該振動片を支持する支持部とを有する振動子と、当該振動子を実装する実装基材とを備える角速度センサー用振動体において、

前記台座部は、基底部から少なくとも振動片の振動幅以上の高さの段差を有すると共に、複数の直線の組み合わせ力もなる形状の縁部を備え、この縁部の各位置における法線方向は実装基材に定める基準方向に対して同方向又は少なくとも一つの異なる角度を有することを特徴とする、角速度センサー用振動体。

[17] 前記振動子の台座部に対する取り付けにおいて、前記縁部で選択した取り付け位置において支持部の振動片側の端部の端部と台座の縁部との両接線方向が一致し、この端部と縁部との位置合わせにより振動子の実装基材に対する取り付け角度を台座部の縁部の法線方向で定めることを特徴とする、請求項 16に記載の角速度センサー用振動体。