JP4975972B2 - 物理量センサ - Google Patents
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Description
(1)一つは、物理量を計測するための抵抗体が基板上に帯状にパターン形成される物理量センサにおいて、次のように構成する。
ΔR=(Rlπl+Rtπt)σ
となる。
(2)もう一つの発明は、基板上に抵抗体を形成(抵抗体は一つの抵抗体或いは2以上の直列抵抗体)した物理量センサにおいて、抵抗体の電源側端子と接地側端子とが4端子以上で構成されていることを特徴とする。このように4端子以上すれば、直列接続された抵抗体の電源側端子と接地側端子とに、電源電圧と接地電圧を維持するためのフィードバック素子が端子を介して接続することができる。
(第1の実施形態)
第1の実施形態は、物理量センサとして自動車などの内燃機関の吸入空気流量を計測するための熱式空気流量センサを例示する。
ここで、ΔR/Rは抵抗変化率、πlは横方向の抵抗成分28に応力σが加わった場合のピエゾ抵抗係数、πtは縦方向の抵抗成分29に応力σが加わった場合のピエゾ抵抗係数である。センサ素子には、各方向からの応力が作用するが、そのセンサ素子の構造から図1、図5の矢印方向の応力σが最大となる。本実施形態における抵抗体は、多結晶シリコンで形成しており、ピエゾ抵抗係数πlとπtの関係は、
πl=−3πt …(2)
となる。とくに、単結晶シリコンや多結晶シリコンのような半導体の場合ピエゾ抵抗係数が大きく、センサ素子1に加わる応力は熱式空気流量センサの測定精度を悪化させる要因になっていた。
R29=3R28 …(3)
となっており、R29とR28の比は(2)式で示したピエゾ抵抗係数の比としている。
ここで、(2)、(3)式の関係を代入すると、ΔR=0となる。このように、縦方向成分R29と横方向成分R28の抵抗値をピエゾ抵抗係数πlとπtの比とすることで、応力による抵抗変化を低減することができる。
(第2の実施形態)
次に第2の実施形態を図7により説明する。本実施形態も、本発明を熱式空気流量センサに適用した場合の例である。基本的な、原理、構造は第1の実施形態と同じであるため、共通する点の説明は省略し、異なる点のみを説明する。
(第3の実施形態)
次に第3の実施形態について説明する。本実施形態は、自動車などの加速度センサや傾斜角センサに用いることができる発熱抵抗体式加速度センサに本発明を適用した場合の例である。
(第4の実施形態)
次に第4の実施形態について図12〜図14を用いて説明する。
Claims (5)
- 物理量として空気流量或いは加速度を計測するための抵抗体が基板上に帯状にパターン形成され、前記抵抗体は、温度依存性を有する抵抗体であって、空気温度に対して一定温度高くなるように電流制御される発熱抵抗体と、測定対象の物理量の作用方向において前記発熱抵抗体の上流側に配置される感温抵抗体および下流側に配置される感温抵抗体とで構成され、前記発熱抵抗体、前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体が前記基板に設けたダイヤフラム上に形成され、前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体が検出する空気温度差により前記物理量を計測する物理量センサにおいて、
これらの抵抗体は、不純物をドープした多結晶シリコンであり、前記基板に加わる外部応力の分布における最大応力がかかる方向に対して平行な方向を横方向、垂直な方向を縦方向とした場合、横方向の抵抗成分Rlと縦方向の抵抗成分Rtを有し、
前記ダイヤフラム上に形成された前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体は、いずれも、前記最大応力が前記横方向の抵抗成分Rlに加わるときのピエゾ抵抗係数πlと前記縦方向の抵抗成分Rtに加わるときのピエゾ抵抗係数πtとの比がπt/πl=−1/n(nは整数)であり、前記縦方向の抵抗成分Rtと前記横方向の抵抗成分Rlとの抵抗比が、Rl/Rt=(1±0.5)/nの範囲で設定されていることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体のそれぞれの縦方向の抵抗成分Rtと横方向の抵抗成分Rlとの抵抗値の比が、Rl/Rt=(1±0.5)/3の範囲で設定されていることを特徴とする物理量センサ。
- 請求項1又は2において、前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体は、それぞれ複数本よりなり、それぞれが前記縦方向の抵抗成分Rtと前記横方向の抵抗成分Rlを有し、かつ複数本の抵抗体の縦方向の抵抗成分同士および横方向成分同士が互いに噛合って並設されている特徴とする物理量センサ。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体の電源側端子と接地側端子とが少なくとも計4端子以上で構成されていることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記上流側感温抵抗体および前記下流側感温抵抗体は、1の抵抗体或いは2以上の直列抵抗体よりなり、この抵抗体の電源側端子と接地側端子とに、電源電圧と接地電圧を維持するためのフィードバック素子が接続されていることを特徴とする物理量センサ。
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