JP2008292361A - 流量測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】各々複数の抵抗体からなる上、下流側検出抵抗5、6の検出差分に基づいて、空気の流量を測定する流量測定装置1において、流量検出感度を向上させる。
【解決手段】流量測定装置1によれば、流れ方向座標軸の軸上で、抵抗体12が形成する数値範囲24と、抵抗体13が形成する数値範囲25とが、1つの連続する数値範囲30を形成する。これにより、抵抗体12と抵抗体13との間が、流れ方向に熱的に絶縁されなくなるので、検出感度を高めることができる。また、長手方向座標軸の軸上で、抵抗体12が形成する数値範囲26と、抵抗体13が形成する数値範囲27とが、1つの連続する数値範囲31を形成し、数値範囲31に発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。これにより、最も温度分布が明確になる位置32での検出差分を得ることができるので、さらに検出感度を高めることができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、空気の流量を測定する流量測定装置に関するものであり、特に内燃機関に吸入される空気の流量を測定するのに好適な流量測定装置に関する。
従来より、流量測定装置100には、図5に示すように、空気流路に空気の流れと略平行な平面状に設けられる絶縁膜101と、絶縁膜101の表面102に設けられて通電により発熱する発熱抵抗103と、発熱抵抗103の上、下流側に設けられ、各々、複数の抵抗体からなる検出抵抗104、105とを備え、上、下流側の検出抵抗104、105による検出差分に基づいて空気流路を流れる空気の流量を測定するものが公知である。
ところで、従来の流量測定装置100には、検出抵抗104、105において、各々の複数の抵抗体が流れ方向に直列に配されているものがある(図5(a)参照)。しかし、検出抵抗104、105の各々で抵抗体を直列に配置した場合、発熱抵抗103から遠い方にある抵抗体は、近い方にある抵抗体よりも発熱抵抗103から熱が伝わりにくく、検出感度の低下の一因となっている。
これに対し、検出抵抗104、105の各々の複数の抵抗体を、発熱抵抗103の長手方向中心(つまり、発熱抵抗103の長手方向の1/2の位置)を通る中心線を対称に、流れ方向に並列に配して、検出抵抗104、105の各々に属する複数の抵抗体を均等に加熱できるようにしたものがある(例えば、特許文献1、2参照;図5(b)参照)。しかし、このように検出抵抗104、105の各々で抵抗体を並列に配置すると、最も温度分布が明確になる長手方向中心で検出差分を得ることができず、検出感度が低下するおそれもある。
特開2001−41790号公報 特開2006−98057号公報
本発明は上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、複数の抵抗体からなる上、下流側の検出抵抗の検出差分に基づいて、空気の流量を測定する流量測定装置において、流量検出感度を向上させることにある。
〔請求項1の手段〕
請求項1に記載の流量測定装置は、空気流路に空気の流れと略平行な平面状に設けられる絶縁膜と、絶縁膜の表面に設けられて通電により発熱する発熱抵抗と、絶縁膜の表面で発熱抵抗の上、下流側に設けられ、温度に応じて電気抵抗が変化する複数の抵抗体からなる上、下流側検出抵抗とを備える。そして、流量測定装置は、上、下流側検出抵抗の検出差分に基づいて、空気流路を流れる空気の流量を測定する。
また、絶縁膜の表面に平行で、かつ空気の流れ方向と直交する方向を長手方向と定義し、絶縁膜の表面上で、流れ方向に平行な座標軸を流れ方向座標軸、長手方向に平行な座標軸を長手方向座標軸と定義すると、上、下流側検出抵抗の各々の複数の抵抗体は、流れ方向座標軸および長手方向座標軸の各々の軸上で連続する数値範囲を形成する。また、複数の抵抗体が長手方向座標軸の軸上に形成する数値範囲に、発熱抵抗の長手方向の長さの1/2の位置が含まれる。
直列配置(図5(a)参照)で検出感度が低いのは、発熱抵抗に近い方の抵抗体と遠い方の抵抗体とが、流れ方向において熱的に絶縁されていることによるものと考えられる。そこで、複数の抵抗体を流れ方向座標軸の軸上で連続する数値範囲を形成するように配すると、複数の抵抗体の各々が熱的に絶縁されなくなる。このため、発熱抵抗との遠近に関わらず、発熱抵抗の熱が全ての抵抗体に伝わりやすくなるので、検出感度を高めることができる。
また、複数の抵抗体が長手方向座標軸の軸上で連続する数値範囲を形成し、この数値範囲に、発熱抵抗の長手方向の長さの1/2の位置が含まれる。このため、最も温度分布が明確になる位置での検出差分を得ることができるので、検出感度を高めることができる。
〔請求項2の手段〕
請求項2に記載の流量測定装置によれば、上、下流側検出抵抗の各々の複数の抵抗体は、少なくとも1つの抵抗体の一部が、他の抵抗体の一部と入れ子状配置を形成している。
入れ子状配置により、上、下流側検出抵抗の各々の複数の抵抗体は、流れ方向座標軸および長手方向座標軸の各々の軸上に連続する数値範囲を確実に形成できる。
最良の形態1の流量測定装置は、空気流路に空気の流れと略平行な平面状に設けられる絶縁膜と、絶縁膜の表面に設けられて通電により発熱する発熱抵抗と、絶縁膜の表面で発熱抵抗の上、下流側に設けられ、温度に応じて電気抵抗が変化する複数の抵抗体からなる上、下流側検出抵抗とを備える。そして、流量測定装置は、上、下流側検出抵抗の検出差分に基づいて、空気流路を流れる空気の流量を測定する。
また、絶縁膜の表面に平行で、かつ空気の流れ方向と直交する方向を長手方向と定義し、絶縁膜の表面上で、流れ方向に平行な座標軸を流れ方向座標軸、長手方向に平行な座標軸を長手方向座標軸と定義すると、上、下流側検出抵抗の各々の複数の抵抗体は、流れ方向座標軸および長手方向座標軸の各々の軸上で連続する数値範囲を形成する。また、複数の抵抗体が長手方向座標軸の軸上に形成する数値範囲に、発熱抵抗の長手方向の長さの1/2の位置が含まれる。
また、上、下流側検出抵抗の各々の複数の抵抗体は、少なくとも1つの抵抗体の一部が、他の抵抗体の一部と入れ子状配置を形成している。
〔実施例1の構成〕
実施例1の流量測定装置1の構成を、図1を用いて説明する。流量測定装置1は、例えば、内燃機関に吸入される空気の流量を測定するために用いられる。
流量測定装置1は、空気流路に空気の流れと略平行な平面状に設けられる絶縁膜2と、絶縁膜2の表面3に設けられて通電により発熱する発熱抵抗4と、表面3で発熱抵抗4の上、下流側に設けられる上、下流側検出抵抗5、6とを備え、上、下流側検出抵抗5、6による検出差分に基づいて、空気流路を流れる空気の流量を測定するものである。
なお、以下の説明では、絶縁膜2の表面3に平行で、かつ空気の流れ方向と直交する方向を長手方向と定義して説明する。
絶縁膜2は、空気流路内に空気の流れと平行に配された基板9の表面上に形成されている。そして、絶縁膜2の表面3に、発熱抵抗4と上、下流側検出抵抗5、6とが設けられ、発熱抵抗4および上、下流側検出抵抗5、6は保護膜10により覆われている。なお、絶縁膜2の裏側には、基板9と発熱抵抗4および上、下流側検出抵抗5、6とを熱的に絶縁するための空洞11が形成されている。
発熱抵抗4は、1つの抵抗体から形成されており、長手方向の一端側に1つの折り返しを有するU字形状を呈している。
上、下流側検出抵抗5、6は、各々が2つの抵抗体からなる(以下、上流側検出抵抗5を構成する2つの抵抗体を抵抗体12、13とし、下流側検出抵抗6を構成する2つの抵抗体を抵抗体14、15とする)。
抵抗体12は、長手方向の一端側および他端側に各々1つの折り返し18、19を有している。また、抵抗体13は、長手方向の一端側および他端側に各々1つの折り返し20、21を有している。そして、抵抗体12、13は、折り返し19が折り返し21の外側を囲い、かつ、折り返し20が折り返し18の外側を囲うように設けられて、入れ子状配置を形成している。
ここで、流れ方向に平行な座標軸および長手方向に平行な座標軸を想定し、各々、流れ方向座標軸、長手方向座標軸と定義すると、抵抗体12は、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲24を形成し、抵抗体13は、連続する数値範囲25を形成する。また、抵抗体12は、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲26を形成し、抵抗体13は、連続する数値範囲27を形成する。
なお、数値範囲24、25は抵抗体12、13を流れ方向座標軸に垂直に投影して形成されるものであり、数値範囲26、27は抵抗体12、13を長手方向座標軸に垂直に投影して形成されるものである。
そして、抵抗体12と抵抗体13とが入れ子状配置を形成することにより、数値範囲24と数値範囲25とは流れ方向座標軸の軸上で一部が重なり合って、1つの連続する数値範囲30を形成する。また、数値範囲26と数値範囲27とは長手方向座標軸の軸上で全部が重なり合って、1つの連続する数値範囲31を形成する。
さらに、実施例1の流量測定装置1によれば、長手方向座標軸の軸上に形成される数値範囲31に、発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。
なお、上流側検出抵抗5と下流側検出抵抗6とは、発熱抵抗4を挟んで図示左右対称に設けられ、抵抗体14、15は、抵抗体12、13により形成される数値範囲30、31と同様の数値範囲33、34を形成する。
〔実施例1の効果〕
実施例1の流量測定装置1では、流れ方向座標軸の軸上に、抵抗体12、13が連続する1つの数値範囲30を形成し、抵抗体14、15が連続する1つの数値範囲33を形成している。これにより、抵抗体12と抵抗体13との間、および抵抗体14と抵抗体15との間が、流れ方向に熱的に絶縁されなくなる。このため、発熱抵抗4との遠近に関わらず、発熱抵抗4の熱が上、下流側検出抵抗5、6を構成する全ての抵抗体12〜15に伝わりやすくなるので、検出感度を高めることができる。
また、長手方向座標軸の軸上に、抵抗体12、13が連続する1つの数値範囲31を形成し、抵抗体14、15が連続する1つの数値範囲34を形成している。そして、長手方向座標軸の軸上に形成される数値範囲31、34に、発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。このため、最も温度分布が明確になる位置32が数値範囲31、34に含まれるように構成することにより、この位置32で検出差分を得ることができるので、検出感度を高めることができる。
また、流量測定装置1によれば、少なくとも抵抗体12の一部が、抵抗体13の一部と入れ子状配置を形成している。これにより、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲30、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲31を確実に形成できる。
実施例2の流量測定装置1の構成を、図2を用いて説明する。
実施例2の流量測定装置1によれば、抵抗体12は、長手方向の一端側に2つの折り返し37、38を有し、他端側に1つの折り返し39を有するM字形状を呈している。また、抵抗体13は、長手方向の一端側に2つの折り返し41、42を有し、他端側に1つの折り返し43を有するM字形状を呈している。そして、抵抗体12、13は、折り返し37、38が各々折り返し41、42の外側を囲い、かつ、折り返し43が折り返し39の外側を囲うように設けられて、入れ子状配置を形成している。
さらに、実施例1と同様に、抵抗体12は、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲24を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲26を形成する。また、抵抗体13も、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲25を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲27を形成する。
そして、抵抗体12と抵抗体13とが入れ子状配置を形成することにより、流れ方向座標軸の軸上で数値範囲24の中に数値範囲25が含まれて、1つの連続する数値範囲30を形成する。また、長手方向座標軸の軸上で数値範囲26の中に数値範囲27が含まれて、1つの連続する数値範囲31を形成する。
また、数値範囲31には、発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。なお、抵抗体14、15は、抵抗体12、13により形成される数値範囲30、31と同様の数値範囲33、34を形成する。
以上より、実施例2の流量測定装置1は、実施例1の流量測定装置1と同様の効果を得ることができる。
実施例3の流量測定装置1の構成を、図3を用いて説明する。
実施例3の流量測定装置1によれば、抵抗体12は、長手方向の一端側の両端子45、46から平行に引き出された2本の配線が、長手方向の他端側で、一方の配線を内側、他方の配線を外側にして折り返された二重の折り返し47を形成して、他端側から一端側に向かう。そして、一端側で一方の配線と他方の配線とが連結し一重の折り返し48をなしている。また、抵抗体13は、長手方向の他端側の両端子50、51から平行に引き出された2本の配線が、長手方向の一端側で、一方の配線を内側、他方の配線を外側にして折り返された二重の折り返し52を形成して、一端側から他端側に向かう。そして、他端側で一方の配線と他方の配線とが連結し一重の折り返し53をなしている。
そして、抵抗体12、13は、二重の折り返し47が一重の折り返し53の外側を囲い、二重の折り返し52が一重の折り返し48の外側を囲うように設けられて、入れ子状配置を形成している。
さらに、実施例1と同様に、抵抗体12は、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲24を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲26を形成する。また、抵抗体13も、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲25を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲27を形成する。
そして、抵抗体12と抵抗体13とが入れ子状配置を形成することにより、数値範囲24と数値範囲25とは流れ方向座標軸の軸上で一部が重なり合って、1つの連続する数値範囲30を形成する。また、数値範囲26と数値範囲27とは長手方向座標軸の軸上で全部が重なり合って、1つの連続する数値範囲31を形成する。
また、数値範囲31には、発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。なお、抵抗体14、15は、抵抗体12、13により形成される数値範囲30、31と同様の数値範囲33、34を形成する。
以上より、実施例3の流量測定装置1は、実施例1の流量測定装置1と同様の効果を得ることができる。
実施例4の流量測定装置1の構成を、図4を用いて説明する。
実施例4の流量測定装置1によれば、抵抗体12は、クランク状に屈曲して、段部56を形成している。また、抵抗体13は、長手方向の他端側に1つの折り返し57を有するU字形状を呈している。そして、抵抗体12、13は、段部56と折り返し57とが長手方向に対向するように設けられている。
さらに、実施例1と同様に、抵抗体12は、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲24を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲26を形成する。また、抵抗体13も、流れ方向座標軸の軸上に連続する数値範囲25を形成し、長手方向座標軸の軸上に連続する数値範囲27を形成する。
そして、流れ方向座標軸の軸上で数値範囲24の中に数値範囲25が含まれて、1つの連続する数値範囲30を形成する。また、長手方向座標軸の軸上で数値範囲26の中に数値範囲27が含まれて、1つの連続する数値範囲31を形成する。そして、数値範囲31に、発熱抵抗4の長手方向の長さLの1/2の位置32が含まれる。なお、抵抗体14、15は、抵抗体12、13により形成される数値範囲30、31と同様の数値範囲33、34を形成する。
以上より、実施例4の流量測定装置1は、実施例1の流量測定装置1と同様の効果を得ることができる。
(a)は流量測定装置の構成図であり、(b)は(a)のA−A断面図である(実施例1)。 流量測定装置の構成図である(実施例2)。 流量測定装置の構成図である(実施例3)。 流量測定装置の構成図である(実施例4)。 (a)は抵抗体を直列に配した流量測定装置の説明図であり、(b)は抵抗体を並列に配した流量測定装置の説明図である(従来例)。
符号の説明
1 流量測定装置
2 絶縁膜
3 表面
4 発熱抵抗
5 上流側検出抵抗
6 下流側検出抵抗
12 抵抗体
13 抵抗体
30 数値範囲
31 数値範囲
32 発熱抵抗の長手方向の長さの1/2の位置
33 数値範囲
34 数値範囲

Claims (2)

  1. 空気流路に空気の流れと略平行な平面状に設けられる絶縁膜と、
    前記絶縁膜の表面に設けられて通電により発熱する発熱抵抗と、
    前記絶縁膜の表面で前記発熱抵抗の上流側に設けられ、温度に応じて電気抵抗が変化する複数の抵抗体からなる上流側検出抵抗と、
    前記絶縁膜の表面で前記発熱抵抗の下流側に設けられ、温度に応じて電気抵抗が変化する複数の抵抗体からなる下流側検出抵抗とを備え、
    前記上流側検出抵抗と前記下流側検出抵抗との検出差分に基づいて、前記空気流路を流れる空気の流量を測定する流量測定装置において、
    前記絶縁膜の表面に平行で、かつ空気の流れ方向と直交する方向を長手方向と定義し、
    前記絶縁膜の表面上で、前記流れ方向に平行な座標軸を流れ方向座標軸、前記長手方向に平行な座標軸を長手方向座標軸と定義すると、
    前記上流側検出抵抗および前記下流側検出抵抗の各々の前記複数の抵抗体は、
    前記流れ方向座標軸および前記長手方向座標軸の各々の軸上で連続する数値範囲を形成し、
    前記複数の抵抗体が前記長手方向座標軸の軸上に形成する数値範囲に、前記発熱抵抗の長手方向の長さの1/2の位置が含まれることを特徴とする流量測定装置。
  2. 請求項1に記載の流量測定装置において、
    前記上流側検出抵抗および前記下流側検出抵抗の各々の前記複数の抵抗体は、
    少なくとも1つの抵抗体の一部が、他の抵抗体の一部と入れ子状配置を形成していることを特徴とする流量測定装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4836864B2 (ja) * 2007-05-16 2011-12-14 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
JP2020085463A (ja) * 2018-11-15 2020-06-04 株式会社デンソー 流量計測装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08313320A (ja) * 1995-05-19 1996-11-29 Hitachi Ltd 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計
JP3461469B2 (ja) * 1999-07-27 2003-10-27 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置
JP4881554B2 (ja) * 2004-09-28 2012-02-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサ
JP2006138688A (ja) * 2004-11-11 2006-06-01 Hitachi Ltd 流体流量計及びそれを用いたエンジン制御システム
JP4975972B2 (ja) * 2005-03-15 2012-07-11 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量センサ
JP4824992B2 (ja) 2005-11-15 2011-11-30 パナホーム株式会社 換気構造

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