JP2008541081A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 少なくとも２つの異なる接近方向での物体の接触によって物体の寸法測定をする測定用プローブであって、
   物体接触領域を有し、ほぼ軸に沿って延在するステムを有する針、
   各々が針の物体接触領域により物体の接触を検出する出力を有する複数のセンサー素子を有する針接触決定装置、及び
   センサー素子の出力を処理するプロセッサーであって、少なくとも２つのセンサー素子からの出力を処理するプロセッサー、
   を備え、
   センサー素子からの出力は、物体が軸に平行な接近方向に沿って接近するときの感度が、物体が軸と直交する接近方向に沿って接近するときの感度と比較して異なるように、プロセッサーで組み合わされ、
   それにより、針の物体接触領域の所定の変位により引き起こされる物体接触トリガー信号を提供し、所定の変位は、測定プローブと物体との間の接近方向と無関係であることを特徴とする測定用プローブ。
2. プロセッサーは、アルゴリズムまたは計算式にしたがって、センサー素子からの出力を組み合わせることを特徴とする請求項１に記載の測定用プローブ。
3. アルゴリズムまたは計算式は、
   Ｇ＝１／α｛ΔＲ１２＋ΔＲ２２＋ΔＲ３２＋β（ΔＲ１ΔＲ２＋ΔＲ２ΔＲ３＋ΔＲ３ΔＲ１）｝
   であり、ここで、ΔＲ１、ΔＲ２及びΔＲ３は、センサー素子の出力を意味することを特徴とする請求項２に記載の測定用プローブ。
4. プロセッサーは、センサー素子からの出力をルックアップテーブルの所定のデータと比較することを特徴とする請求項１に記載の測定用プローブ。
5. 各センサー素子は、歪ゲージを備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の測定用プローブ。
6. プローブ本体を含み、
   プロセッサーは、該プローブ本体内に配置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の測定用プローブ。
7. 針接触決定装置は、３つのセンサー素子を備えていることを特徴とする請求項１に記載の測定用プローブ。
8. センサー素子は、軸の周囲に放射状に延在していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の測定用プローブ。
9. プロセッサーは、ディジタルプロセッサーであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の測定用プローブ。
10. 針は、軸に沿って実質的に硬く、軸に直交する方向に曲がることができることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の測定用プローブ。