JP2011240476A - ワーク加工装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転刃23は、Y方向及びZ方向に移動自在である。θテーブル40の上面のワーク10は、X方向及びY方向と平行な平面内で回転可能かつX方向に移動自在である。撮像装置90L,90Rは、X方向に関して回転刃23を挟んで反対側に位置する。撮像装置90L,90Rの光軸は、Y方向に関して回転刃23から同じ側に所定距離だけずれた各位置でワーク10の存在平面と交差する。切断時のワーク10の移動ストロークの前後でワーク10の左右の切断マークを撮像装置90L,90Rでそれぞれ撮像する。撮像画像に基づき、ワーク10のY方向移動量及びθ方向位置補正量を演算する。
【選択図】図1
Description
ワーク載置用の加工テーブルと、
前記加工テーブル上のワークを加工可能な回転砥石、及び前記回転砥石が取り付けられた回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記加工テーブル上のワークを撮像可能な2つの撮像装置とを備え、
前記回転軸と平行なY方向と、
前記回転軸と垂直なX方向と、
前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向とに、前記加工テーブルと前記スピンドルユニットとの相対位置を制御可能であり、
前記2つの撮像装置は、前記X方向に関して前記回転軸を挟んでピッチPcの距離で反対側に位置し、前記2つの撮像装置の撮像光軸は前記Z方向に平行であって、
前記ワークは、加工すべき加工ラインに対応する両側に所定ピッチPmで配置された加工マークを有し、
前記ワークの加工時のX方向の移動ストロークをSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなるように前記移動ストロークSは設定される。
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通りかつ前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出す構成であるとよい。
前記加工テーブルを前記回転軸と垂直なX方向に相対移動可能なX方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記回転軸と平行なY方向に相対移動可能なY方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向に相対移動可能なZ方向移動手段と、
前記加工テーブルを前記Z方向に平行なθ軸で回転可能な回転手段と、
前記X方向移動手段、前記Y方向移動手段、前記Z方向移動手段、及び前記回転手段を制御する制御部とを有し、
前記加工テーブルの前記ワーク載置面及び前記ワークの存在平面が前記Z方向に垂直な平面であり、
前記ワークは、加工すべき加工ライン上の異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記加工ラインは、加工時の前記X方向と一致し、
前記回転砥石を回転させる動作と、前記Y方向移動手段によって前記回転砥石を所定ピッチだけ前記Y方向に相対移動する動作と、前記Z方向移動手段によって前記回転砥石を前記ワークが加工可能な位置に前記Z方向に相対移動する動作と、前記加工可能なZ方向位置を維持した状態で前記回転砥石に対して前記ワークを前記X方向移動手段で相対移動することで前記ワークを前記回転砥石によって加工する動作と、を含む加工工程を、所定数n回繰り返し実行可能であり、
前記2つの撮像装置は、前記加工工程における前記相対移動ストロークSの移動端にて一方側及び他方側の前記マークをそれぞれ撮像する撮像工程を実行可能であり、
前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工ライン方向の配置距離をPm、前記加工工程の前記X方向の相対移動ストロークをSとしたとき、
前記制御部は、SとPcの差の絶対値がPmとなるように前記X方向移動手段を制御し、
前記2つの撮像装置は、ワーク当たりn回の前記加工工程のうちj回の前記撮像工程を実行し、前記nと前記jの関係は、
n≧j
であるとよい。
ワークと、回転砥石と、2つの撮像装置とを準備する準備工程と、
前記回転砥石に対する前記ワークの相対位置を調節する調節工程と、
前記調節工程の後に、前記回転砥石に対して前記ワークを前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に相対移動することで、前記ワークを前記回転砥石によって加工するn回の加工工程とを有し、
前記調節工程と前記加工工程とを繰り返し所定回数実行するワーク加工方法であり、
前記ワークは、前記加工工程で加工する加工方向に関して異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記2つの撮像装置は、前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に関して前記回転砥石を挟んで反対側に位置し、
前記2つの撮像装置は、前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工方向の配置距離をPmとし、 前記加工工程の前記X方向の相対移動量をSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなる位置関係を有し、
本方法は、
前記調節工程の後かつ前記加工工程の前に、前記加工工程における前記X方向への相対移動開始位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の一方側にあるものを、前記2つの撮像装置の一方により撮像し、前記加工工程の後に、前記加工工程における前記X方向への相対移動終了位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の他方側にあるものを、前記2つの撮像装置の他方により撮像するj回の撮像工程と、
前記撮像工程の後かつ前記調節工程の前に、前記撮像工程における撮像画像を基に、前記調節工程における相対位置の調節量を演算するj回の演算工程とを有し、
前記n回の加工工程と前記j回の撮像工程は、
n≧j
である。
前記ワークは、前記加工工程で加工する各々の加工ラインに対して2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
各回の前記調節工程の後かつ各回の前記加工工程の前に前記第1撮像工程を実行し、各回の前記加工工程の後に前記第2撮像工程を実行するとよい。
前記ワークは、前記加工工程で加工するk本の加工ライン毎に2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
前記撮像工程を行なう加工ラインの行番号をiとすると、前記演算工程では、iと(i+k)での前記撮像工程によって定義された各加工ラインのデータを基に、(i+1)回から(i+k−1)の加工ラインを定義し、前記調節工程における相対位置の調節量を演算するとよい。
前記加工工程を所定回数実行した後に、前記ワークを前記X方向及び前記Y方向と垂直なZ方向を軸に相対的に所定角度だけ回転させる回転工程を実行し、
前記回転工程の後、再度、前記調節工程及び前記加工工程を所定回数実行するとよい。
前記ワークは、厚さ方向の所定の深さに前記マークを有し、
本方法は、前記準備工程の後かつ前記調節工程の前に、前記回転砥石によって複数箇所に溝加工をして各マークを露出させる溝形成工程を有するとよい。
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通り前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記加工工程は、前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出しながら実行するとよい。
前記加工工程の前に、前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給する気体の圧力を上昇させる圧力上昇工程と、
前記加工工程の後に、前記気体の圧力を下降させる圧力下降工程とを有するとよい。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るワーク切削装置の概念的斜視図である。図2は、本実施の形態で加工対象とするワーク10の一例を示す平面図である。図3は、同ワーク切削装置の要部正面図である。図4は、同ワーク切削装置の要部の模式的平面図である。このワーク切削装置は、スピンドルユニット20と、加工テーブルとしてのθテーブル40と、2つの撮像装置90L,90Rと、粗位置決め用カメラ92とを備える。
Pc=S−Pm
を満たすようにストロークSは設定される。なお、切断マークピッチPmは、図2の縦方向と横方向とで同じであっても異なってもよく、また、対応する切断ライン毎に異なってもよい。撮像装置90L,90RのX方向の配置ピッチPcは、好ましくは調節可能とする。切削加工動作の詳細は後述する。
本実施の形態のワーク切削装置は、構成面では第1の実施の形態のものと同様である。一方、本実施の形態では、第1の実施の形態と異なり、ワーク10は厚さ方向の所定の深さに切断マークを有する。例えば、積層されたセラミック等のグリーンシートの内層に切断マークを形成してあるものが本実施の形態のワーク10に該当する。但し、基準マーク12は外層(素子電極が無い外側の層)に形成されているものとする。これは既述の通り、セラミック系のグリーンシートの場合は、焼成前であるため、比較的軟質な材料と言える。この場合、切断工程のみならず各工程においてワークに歪が発生し、上述の基準マークによる座標定義だけでは、個々の素子位置に対して切断位置の誤差の発生が避けられない。外層に各マークを印刷しても、素子電極の形成とは厳密には別工程となってしまう。そのため、加工精度向上のためには、内層(素子電極がある層)に切断マークを形成し、これを撮像することが望ましいためである。なお、内層における切断マークは、素子電極と同工程で形成することが望ましい。以下、工程面における第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
第1及び第2の実施の形態では、縦横それぞれの最後の行の加工工程を除く毎回の加工工程の前後に第1及び第2の撮像工程をそれぞれ実行し、かつ演算工程を実施してワーク10のY方向移動量及びθ方向位置補正量を求めた。本実施の形態では、毎回ではなく、複数回の加工工程に1回の撮像工程を実行する実施形態を説明する。図16及び図17は、本実施の形態におけるワーク切断動作の模式的説明図である。
YP :切断ライン間の距離
n(又はm) :ワーク単位での加工工程回数(=切断ライン本数)
Ybc :回転刃23と撮像装置90とのY方向距離
h :切断ラインの行番号(図15)
i :撮像工程を行なう切断ラインの行番号(図15)
※「n未満の複数種類の整数であってkが定数の場合は数列となる」
j :ワーク単位での撮像工程回数
k :(加工工程回数n−1)/(撮像工程回数j)
※「k回の加工工程に1回の撮像を行なう」
第1の実施の形態 n=j
k=1
Ybc=YP(推奨)
第3の実施の形態 n>j
k=6(2以上の自然数、定数)
又はk=k1,k2,k3,…(任意の自然数、変数)
Ybc=k×YP(kが定数の場合、推奨)
i=k×h+1
=6×h+1=6×(0,1,2,3,…)+1
=(1,7,13,19,…) ※ 等差数列
(ただしimax<n、h=0として1行目の切断ラインに対応する 切断マークを撮像)
n=(k×j)+1+α(αは余剰切断ライン)
と表すことができる。即ち、第3の実施の形態はk=6に限定されず種々の例が存在するが、第1の実施の形態と第3の実施の形態で明確に異なるのは、n=jであるかn>jであるかという点である。
第2の実施の形態では、ワーク10の各辺の近傍で一方の縁と他方の縁とを結ぶ4本の直線状の溝111a〜111dを形成した(図13参照)。これに対し、本実施の形態では、図19に示すように、溝211a〜211dを一直線ではなく断続直線となるように成する。
図21は、本発明の第5の実施の形態に係るワーク切削装置の要部正面図である。図21と図3との対比から明らかなように、本実施の形態のワーク切削装置は、第1の実施の形態のものと異なり、X方向にSだけストロークするワーク10上の切断マークにおいて、図中右側の切断マークを図中右側の撮像装置90Rで撮像し、図中左側の切断マークを図中左側の撮像装置90Lで撮像する配置である。本実施の形態のその他の点は、第1の実施の形態と同様である。本実施の形態の配置の場合の撮像装置90L,90RのX方向の配置ピッチPc,切断マークピッチPm,切削加工時のワーク10のX方向の移動ストロークSの関係は、SとPcの差の絶対値がPmとなる。なお、第1の実施の形態の関係式 Pc=S−Pm も、SとPcの差の絶対値がPmである点で、本実施の形態の関係と同義である。切断マークの認識および演算は、切断マークの左右情報が逆になること以外は第1の実施の形態と同じ原理の論理演算を用いることができる。本実施の形態も、第1の実施の形態と同様の作用効果を得られる。
図22は、本発明の第6の実施の形態に係るワーク切削装置の要部の模式的平面図である。図22と図4との対比から明らかなように、本実施の形態のワーク切削装置は、第1の実施の形態のものと異なり、撮像装置90L,90Rの視野を、ピッチYpを有する切断マークY方向2箇所をカバーする撮像範囲としている。撮像装置90L,90RがY方向2箇所(又は2以上)の切断マークを同時に認識可能とすることによって、ワーク切断後のY方向移動を待たずに次の切断基準となる切断マークの情報を得ることができる。これによる高速化の効果を以下に詳細に説明する。
図23は、撮像装置90L,90Rの視野が切断マーク一つだけの場合における、ワーク10の回転刃23に対するXY各方向の相対移動を示すタイムチャートである。この場合、切断マークのY方向情報はそのまま切断位置に反映されるため、回転刃23及び撮像装置90L,90R等のY方向駆動手段は停止精度を優先した動作となり、例えばサーボモータが静定状態となるまで待機した後に撮像を行なうこととなる。すなわち、切断マークCa1Rの撮像後、Y方向の相対移動して切断マークCa2Rを撮像するにあたり、サーボモータが制御的に指示された位置に機械的に落ち着くまでの時間である静定時間(図23の拡大部分も参照)の分だけ待ってから撮像を行うこととなる。また、撮像時間中の装置動作は、機械振動による撮像ブレを誘発するため避けるべきである。したがって、静定時間と撮像時間の和が「待ち時間」となる。
図24は、撮像装置90L,90Rの視野が切断マーク二つをカバーする場合のワーク切削動作の模式的説明図である。図25は、同場合における、ワーク10の回転刃23に対するXY各方向の相対移動を示すタイムチャートである。図24(A)に示すように、ワーク10をX方向に移動して撮像装置90Lの視野に切断マークを入れたとき、切断マークCa1Rに加え、切断マークCa2Rも撮像装置90Lの視野に入る。このため、図25のタイムチャートの通り、ワーク10のX方向移動が完了すると同時に切断マークCa1Rだけでなく切断マークCa2Rの撮像データの取得が可能であるため、サーボモータが静定状態となるまで待機する、および撮像時間中の装置動作を避ける、という「待ち時間」を設ける必要が無く、その分高速化が可能である。なお、ワーク10をX方向移動させて回転刃23で加工ラインCa1に沿った切断(図24(B)→(C))を実行後も同様に、切断マークCa2Lに加え、切断マークCa3Lも撮像装置90Rの視野に入る。このため、上記と同様に「待ち時間」を設ける必要が無く、その分高速化が可能である。他の加工ラインに沿った切断後の切断マーク撮像についても同様のことがいえる。
10 ワーク
12 基準マーク
21 フランジ
22 回転軸
23 回転刃
25 Zスライダ
40 θテーブル
60 Y方向スライドガイド
70 Yスライダ
80 Xスライダ
81 X方向スライドガイド
90L,90R 撮像装置
92 粗位置決め用カメラ
95 制御部
ワーク載置用の加工テーブルと、
前記加工テーブル上のワークを加工可能な回転砥石、及び前記回転砥石が取り付けられた回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記スピンドルユニットに取り付けられた切削液供給ノズルと、
前記加工テーブル上のワークを撮像可能な2つの撮像装置と、
前記加工テーブルを前記回転軸と垂直なX方向に相対移動可能なX方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記回転軸と平行なY方向に相対移動可能なY方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向に相対移動可能なZ方向移動手段とを備え、
前記2つの撮像装置はそれぞれ、
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通りかつ前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出す構成であり、
前記2つの撮像装置は、前記X方向に関して前記回転軸を挟んでピッチPcの距離で反対側に位置し、前記2つの撮像装置の撮像光軸は前記Z方向に平行であって、
前記ワークは、加工すべき加工ラインに対応する両側に所定ピッチPmで配置された加工マークを有し、
前記回転砥石を回転させる動作と、
前記Y方向移動手段によって前記回転砥石を所定ピッチだけ前記Y方向に相対移動する動作と、
前記Z方向移動手段によって前記回転砥石を前記ワークが加工可能な位置に前記Z方向に相対移動する動作と、
前記加工可能なZ方向位置を維持した状態で前記回転砥石に対して前記ワークを前記X方向移動手段で相対移動することで前記ワークを前記回転砥石によって加工する動作と、を含む加工工程を、所定数n回繰り返し実行可能であり、
前記2つの撮像装置は、前記加工工程における前記相対移動ストロークSの移動端にて一方側及び他方側の前記マークをそれぞれ撮像する撮像工程を実行可能であり、
前記ワークの加工時のX方向の移動ストロークをSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなるように前記移動ストロークSは設定される。
前記2つの撮像装置は、ワーク当たりn回の前記加工工程のうちj回の前記撮像工程を実行し、前記nと前記jの関係は、
n≧j
であるとよい。
前記加工テーブルを前記Z方向に平行なθ軸で回転可能な回転手段と、
前記X方向移動手段、前記Y方向移動手段、前記Z方向移動手段、及び前記回転手段を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、撮像した前記マークの画像に基づいて前記回転砥石の前記Y方向への相対移動ピッチ及び前記θ軸を中心とする回転角度補正量を演算するとよい。
ワークと、回転砥石と、2つの撮像装置とを準備する準備工程と、
前記回転砥石に対する前記ワークの相対位置を調節する調節工程と、
前記調節工程の後に、前記回転砥石に対して前記ワークを前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に相対移動することで、前記ワークを前記回転砥石によって加工するn回の加工工程とを有し、
前記調節工程と前記加工工程とを繰り返し所定回数実行するワーク加工方法であり、
前記ワークは、前記加工工程で加工する加工方向に関して異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記2つの撮像装置は、前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に関して前記回転砥石を挟んで反対側に位置し、
前記2つの撮像装置は、前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工方向の配置距離をPmとし、 前記加工工程の前記X方向の相対移動量をSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなる位置関係を有し、
本方法は、
前記調節工程の後かつ前記加工工程の前に、前記加工工程における前記X方向への相対移動開始位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の一方側にあるものを、前記2つの撮像装置の一方により撮像し、前記加工工程の後に、前記加工工程における前記X方向への相対移動終了位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の他方側にあるものを、前記2つの撮像装置の他方により撮像するj回の撮像工程と、
前記撮像工程の後かつ前記調節工程の前に、前記撮像工程における撮像画像を基に、前記調節工程における相対位置の調節量を演算するj回の演算工程とを有し、
前記n回の加工工程と前記j回の撮像工程は、
n≧j
であって、
前記ワークは、前記加工工程で加工する各々の加工ラインに対して2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
各回の前記調節工程の後かつ各回の前記加工工程の前に前記第1撮像工程を実行し、各回の前記加工工程の後に前記第2撮像工程を実行する。
本発明の第3の態様も、ワーク加工方法である。この方法は、
ワークと、回転砥石と、2つの撮像装置とを準備する準備工程と、
前記回転砥石に対する前記ワークの相対位置を調節する調節工程と、
前記調節工程の後に、前記回転砥石に対して前記ワークを前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に相対移動することで、前記ワークを前記回転砥石によって加工するn回の加工工程とを有し、
前記調節工程と前記加工工程とを繰り返し所定回数実行するワーク加工方法であり、
前記ワークは、前記加工工程で加工する加工方向に関して異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記2つの撮像装置は、前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に関して前記回転砥石を挟んで反対側に位置し、
前記2つの撮像装置は、前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工方向の配置距離をPmとし、 前記加工工程の前記X方向の相対移動量をSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなる位置関係を有し、
本方法は、
前記調節工程の後かつ前記加工工程の前に、前記加工工程における前記X方向への相対移動開始位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の一方側にあるものを、前記2つの撮像装置の一方により撮像し、前記加工工程の後に、前記加工工程における前記X方向への相対移動終了位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の他方側にあるものを、前記2つの撮像装置の他方により撮像するj回の撮像工程と、
前記撮像工程の後かつ前記調節工程の前に、前記撮像工程における撮像画像を基に、前記調節工程における相対位置の調節量を演算するj回の演算工程とを有し、
前記n回の加工工程と前記j回の撮像工程は、
n≧j
であって、
前記ワークは、前記加工工程で加工するk本の加工ライン毎に2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
前記撮像工程を行なう加工ラインの行番号をiとすると、前記演算工程では、iと(i+k)での前記撮像工程によって定義された各加工ラインのデータを基に、(i+1)から(i+k−1)の加工ラインを定義し、前記調節工程における相対位置の調節量を演算する。
前記加工工程を所定回数実行した後に、前記ワークを前記X方向及び前記Y方向と垂直なZ方向を軸に相対的に所定角度だけ回転させる回転工程を実行し、
前記回転工程の後、再度、前記調節工程及び前記加工工程を所定回数実行するとよい。
前記ワークは、厚さ方向の所定の深さに前記マークを有し、
本方法は、前記準備工程の後かつ前記調節工程の前に、前記回転砥石によって複数箇所に溝加工をして各マークを露出させる溝形成工程を有するとよい。
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通り前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記加工工程は、前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出しながら実行するとよい。
Claims (22)
- ワーク載置用の加工テーブルと、
前記加工テーブル上のワークを加工可能な回転砥石、及び前記回転砥石が取り付けられた回転軸を有するスピンドルユニットと、
前記加工テーブル上のワークを撮像可能な2つの撮像装置とを備え、
前記回転軸と平行なY方向と、
前記回転軸と垂直なX方向と、
前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向とに、前記加工テーブルと前記スピンドルユニットとの相対位置を制御可能であり、
前記2つの撮像装置は、前記X方向に関して前記回転軸を挟んでピッチPcの距離で反対側に位置し、前記2つの撮像装置の撮像光軸は前記Z方向に平行であって、
前記ワークは、加工すべき加工ラインに対応する両側に所定ピッチPmで配置された加工マークを有し、
前記ワークの加工時のX方向の移動ストロークをSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなるように前記移動ストロークSは設定される、ワーク加工装置。 - 請求項1に記載の装置において、前記2つの撮像装置の撮像光軸は、前記回転砥石の取付位置を通る前記回転軸に垂直な面から前記Y方向の同じ側に所定距離だけずれた各位置で、前記加工テーブル上のワークの存在平面と交差する、ワーク加工装置。
- 請求項1又は2に記載の装置において、前記2つの撮像装置はそれぞれ、
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通りかつ前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出す構成である、ワーク加工装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の装置において、
前記加工テーブルを前記回転軸と垂直なX方向に相対移動可能なX方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記回転軸と平行なY方向に相対移動可能なY方向移動手段と、
前記スピンドルユニットを前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向に相対移動可能なZ方向移動手段と、
前記加工テーブルを前記Z方向に平行なθ軸で回転可能な回転手段と、
前記X方向移動手段、前記Y方向移動手段、前記Z方向移動手段、及び前記回転手段を制御する制御部とを有し、
前記加工テーブルの前記ワーク載置面及び前記ワークの存在平面が前記Z方向に垂直な平面であり、
前記ワークは、加工すべき加工ライン上の異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記加工ラインは、加工時の前記X方向と一致し、
前記回転砥石を回転させる動作と、前記Y方向移動手段によって前記回転砥石を所定ピッチだけ前記Y方向に相対移動する動作と、前記Z方向移動手段によって前記回転砥石を前記ワークが加工可能な位置に前記Z方向に相対移動する動作と、前記加工可能なZ方向位置を維持した状態で前記回転砥石に対して前記ワークを前記X方向移動手段で相対移動することで前記ワークを前記回転砥石によって加工する動作と、を含む加工工程を、所定数n回繰り返し実行可能であり、
前記2つの撮像装置は、前記加工工程における前記相対移動ストロークSの移動端にて一方側及び他方側の前記マークをそれぞれ撮像する撮像工程を実行可能であり、
前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工ライン方向の配置距離をPm、前記加工工程の前記X方向の相対移動ストロークをSとしたとき、
前記制御部は、SとPcの差の絶対値がPmとなるように前記X方向移動手段を制御し、
前記2つの撮像装置は、ワーク当たりn回の前記加工工程のうちj回の前記撮像工程を実行し、前記nと前記jの関係は、
n≧j
であるワーク加工装置。 - 請求項4に記載の装置において、前記2つの撮像装置は、前記n回の前記加工工程中に、k回の前記加工工程に対して1回の前記撮像工程を複数回実行する、ワーク加工装置。
- 請求項4に記載の装置において、
前記撮像装置は、前記Y方向の加工ライン上の所定ピッチに存在する2以上の加工マークを撮像可能な撮像視野を有するワーク加工装置。 - 請求項4から6のいずれかに記載の装置において、前記制御部は、撮像した前記マークの画像に基づいて前記回転砥石の前記Y方向への相対移動ピッチ及び前記θ軸を中心とする回転角度補正量を演算する、ワーク加工装置。
- ワークと、回転砥石と、2つの撮像装置とを準備する準備工程と、
前記回転砥石に対する前記ワークの相対位置を調節する調節工程と、
前記調節工程の後に、前記回転砥石に対して前記ワークを前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に相対移動することで、前記ワークを前記回転砥石によって加工するn回の加工工程とを有し、
前記調節工程と前記加工工程とを繰り返し所定回数実行するワーク加工方法であり、
前記ワークは、前記加工工程で加工する加工方向に関して異なる位置に少なくとも1つずつマークを有し、
前記2つの撮像装置は、前記回転砥石の回転軸と垂直なX方向に関して前記回転砥石を挟んで反対側に位置し、
前記2つの撮像装置は、前記2つの撮像装置の前記X方向の配置ピッチをPc、前記マークの前記加工方向の配置距離をPmとし、 前記加工工程の前記X方向の相対移動量をSとしたとき、SとPcの差の絶対値がPmとなる位置関係を有し、
本方法は、
前記調節工程の後かつ前記加工工程の前に、前記加工工程における前記X方向への相対移動開始位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の一方側にあるものを、前記2つの撮像装置の一方により撮像し、前記加工工程の後に、前記加工工程における前記X方向への相対移動終了位置にある前記ワークの有するマークのうち前記加工工程における相対移動方向の他方側にあるものを、前記2つの撮像装置の他方により撮像するj回の撮像工程と、
前記撮像工程の後かつ前記調節工程の前に、前記撮像工程における撮像画像を基に、前記調節工程における相対位置の調節量を演算するj回の演算工程とを有し、
前記n回の加工工程と前記j回の撮像工程は、
n≧j
である、ワーク加工方法。 - 請求項8に記載の方法において、前記n回の前記加工工程中に、k回の前記加工工程に対して1回の前記撮像工程を複数回実行する、ワーク加工方法。
- 請求項8に記載の方法において、
前記撮像装置は、前記Y方向の加工ライン上の所定ピッチに存在する2以上の加工マークを撮像可能な撮像視野を有するワーク加工方法。 - 請求項8から10のいずれかに記載の方法において、前記演算工程で演算する前記調節量は、前記ワークの前記Y方向への相対移動量と、前記ワークの前記Z方向を軸とする相対回転角度θの補正量とを含む、ワーク加工方法。
- 請求項8から11のいずれかに記載の方法において、前記2つの撮像装置の撮像光軸は、前記回転砥石の取付位置を通る前記回転軸に垂直な面に対して前記Y方向の同じ側で、所定距離だけずれた各位置で前記加工テーブル上のワークの存在平面と交差する、ワーク加工方法。
- 請求項8から12のいずれかに記載の方法において、
前記ワークは、前記加工工程で加工する各々の加工ラインに対して2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
各回の前記調節工程の後かつ各回の前記加工工程の前に前記第1撮像工程を実行し、各回の前記加工工程の後に前記第2撮像工程を実行する、ワーク加工方法。 - 請求項8から12のいずれか記載の方法において、
前記ワークは、前記加工工程で加工するk本の加工ライン毎に2つのマークを前記加工方向に関して異なる位置にそれぞれ有し、
前記撮像工程を行なう加工ラインの行番号をiとすると、前記演算工程では、iと(i+k)での前記撮像工程によって定義された各加工ラインのデータを基に、(i+1)回から(i+k−1)の加工ラインを定義し、前記調節工程における相対位置の調節量を演算する、ワーク加工方法。 - 請求項8から14のいずれかに記載の方法において、
前記加工工程を所定回数実行した後に、前記ワークを前記X方向及び前記Y方向と垂直なZ方向を軸に相対的に所定角度だけ回転させる回転工程を実行し、
前記回転工程の後、再度、前記調節工程及び前記加工工程を所定回数実行する、ワーク加工方法。 - 請求項8から15のいずれかに記載の方法において、
前記ワークは、厚さ方向の所定の深さに前記マークを有し、
本方法は、前記準備工程の後かつ前記調節工程の前に、前記回転砥石によって複数箇所に溝加工をして各マークを露出させる溝形成工程を有する、ワーク加工方法。 - 請求項16に記載の方法において、前記溝形成工程は、前記回転砥石と前記ワークとが相対的にアッパーカットになるようにして前記ワークを前記X方向に相対移動させるものである、ワーク加工方法。
- 請求項16に記載の方法において、前記溝形成工程における各箇所の溝加工を、前記回転砥石を前記X方向及び前記Y方向の双方に垂直なZ方向に相対移動することのみで行う、ワーク加工方法。
- 請求項18に記載の方法において、前記溝形成工程では、複数の直線の各々について、同一直線上の異なる複数の位置に前記溝加工を実行する、ワーク加工方法。
- 請求項18又は19に記載の方法において、前記第1及び第2の撮像工程では、アッパーカット加工によって露出されたマークを撮像する、ワーク加工方法。
- 請求項8から20のいずれかに記載の方法において、前記2つの撮像装置はそれぞれ、
ハウジングと、
前記ハウジング内の内部空間と、
前記ハウジング外部と前記内部空間とを連通させる開口と、
前記内部空間を通り前記開口から前記ハウジング外部へと続く撮像光軸を有する撮像部と、
前記内部空間から前記開口を通して前記ハウジング外部を照らす照明部と、
前記内部空間へ気体を供給するための気体供給孔とを有し、
前記加工工程は、前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給された気体を前記開口から前記ハウジング外部に噴き出しながら実行する、ワーク加工方法。 - 請求項21に記載の方法において、
前記加工工程の前に、前記気体供給孔を通して前記内部空間に供給する気体の圧力を上昇させる圧力上昇工程と、
前記加工工程の後に、前記気体の圧力を下降させる圧力下降工程とを有する、ワーク加工方法。
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