JP2011233780A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子の製造方法は、イオン注入工程と、カーボン層形成工程と、イオン活性化工程と、カーボン層除去工程と、を含む。前記イオン注入工程では、前記基板にイオンを注入する。前記カーボン層形成工程では、前記イオン注入工程でイオンが注入された基板の表面にカーボン層を形成する。前記イオン活性化工程では、前記カーボン層が形成された基板を加熱してイオンを活性化させる。前記カーボン層除去工程では、前記イオン活性化工程が行われた前記基板を1500℃以上2300℃以下のSi蒸気圧下で加熱して前記カーボン層を除去する。
【選択図】図6
Description
70 基板
71 エピタキシャル層
72 イオン注入部分
80 グラフェンキャップ
Claims (14)
- 少なくとも表面がSiC層で構成される基板を用いた半導体素子の製造方法において、
前記基板にイオンを注入するイオン注入工程と、
前記イオン注入工程でイオンが注入された基板の表面にカーボン層を形成するカーボン層形成工程と、
前記カーボン層が形成された基板を加熱してイオンを活性化させるイオン活性化工程と、
前記イオン活性化工程が行われた前記基板を温度範囲が1500℃以上2300℃以下のSi蒸気圧下で加熱することで前記カーボン層を除去するカーボン層除去工程と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記イオン注入工程の前に、前記基板の前記SiC層の表面に単結晶SiCのエピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程を含み、
前記イオン注入工程では、前記基板の表面に形成されたエピタキシャル層にイオンを注入することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記イオン注入工程でイオンが注入された前記基板を温度範囲が1500℃以上2300℃以下のSi蒸気圧下で加熱して分子レベルで平坦化する平坦化工程を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1から3までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記イオン活性化工程において、前記基板を温度範囲が1600℃以上2300℃以下で加熱することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1から4までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記カーボン層除去工程では、前記カーボン層が除去されるとともに、前記基板の表面が分子レベルで平坦化され、エッチングされることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記カーボン層形成工程は、前記基板を温度範囲が1500℃以上2300℃以下の真空状態で加熱して前記基板の表面にグラフェン層を形成するグラフェン層形成工程であることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項6に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記グラフェン層形成工程では、10-4Pa以下の減圧下の真空状態にしてグラフェン層を形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記カーボン層形成工程では、化学的気相成長法、有機レジスト法、又は電子サイクロトロン共鳴スパッタ法によってカーボン層を形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1から8までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記SiC層は、4H−SiC単結晶又は6H−SiC単結晶で構成されていることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項9に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記SiC層の表面が(0001)Si面又は(000−1)C面であることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項9又は10に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記SiC層の表面は、ジャスト面又は<11−20>方向のオフ角が8度以下の面であることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項9から11までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記SiC層の表面は、ジャスト面又は<1−100>方向のオフ角が8度以下の面であることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項9から12までの何れか一項に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記SiC層の表面が、SiC分子の積層方向の1周期分であるフルユニットの高さ又は半周期分であるハーフユニットの高さからなるステップで終端していることを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項6又は7に記載の半導体素子の製造方法であって、
前記カーボン層除去工程を省略することにより、前記グラフェン層付きの半導体素子を得ることを特徴とする半導体素子の製造方法。
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