JP2011232574A - 光導波路型センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に光導波路が形成された光導波路型センサであって、光導波路は、基板の一面上において渦巻状に延設されたコアと、基板の一面上におけるコアと同一層において、コアを挟むようにコアの両側面に接して形成された横クラッドを含んでいる。そして、コアの上面及び下面のうち、少なくとも上面の一部が、光がしみだして被検出対象に吸収される伝播面となっている。
【選択図】図1
Description
基板上に光導波路が形成された光導波路型センサであって、
光導波路は、該基板の一面上において延設されたコアと、基板の一面上におけるコアと同一層において、コアを挟むようにコアの両側面に接して形成された横クラッドを含み、
コアは、渦巻状に延設されるとともに、基板とは反対側の面の少なくとも一部が、光がしみだして被検出対象に吸収される伝播面とされていることを特徴とする。
屈折率差Δnが上記式の関係を満たすように光導波路を構成すると、最大透過率を1として規格化した透過率を、最大透過率の1/2倍以上となるようにする、すなわち高透過率とすることができる。光導波路内の透過率が高いということは、伝播損失が小さいということであるので、これにより、検出感度を向上することができる。この点については、本発明者によって確認されている。
光導波路を構成するコア及び横クラッドのうち、除去領域を架橋する部位がメンブレンとされ、
メンブレンにおけるコアの、基板とは反対側の面と基板側の面との両面が、伝播面とされた構成とすることが好ましい。
光導波路を導波される光の波長をλ、サポート層の波長λにおける屈折率をns、サポート層の厚みをtsとすると、
サポート層が、ns×ts≦λを満たして形成されると良い。
光導波路を形成する工程として、
基板上にコアを形成する工程と、
コアの形成後、基板の一面上におけるコアと同一層において、コアを挟むようにコアの両側面に接して横クラッドを堆積形成する工程と、を含み、
横クラッドを形成する工程において、横クラッドを形成するための原料の組成を連続的若しくは段階的に変化させることで、コアとの境界から所定範囲の部位において、コアから離れるにつれて屈折率が連続的若しくは段階的に変化するように横クラッドを形成することを特徴とする。
(第1実施形態)
以下においては、基板11の厚み方向、すなわち、基板11におけるコア13及び横クラッド14の配置面に垂直な方向を単に厚み方向と示す。また、特に断りのない限り、各構成要素の厚みは、上記厚み方向に沿う厚さを指すものとする。
第1実施形態では、コア13の上面13bのみが伝播面とされる例を示した。これに対し、本実施形態では、コア13の上面13bと下面13cが伝播面とされる点を第1の特徴とする。また、メンブレンMEMの座屈を抑制するサポート層16を備える点を第2の特徴とする。なお、図4,図7−図9に示す各断面は、図2に対応している。
本発明者は、上記第1実施形態及び第2実施形態で示した構成において、シミュレーションによって、より好ましい形態についての検討を行った。本実施形態はこの検討結果に基づくものである。なお、以下のシミュレーションにおいては、図8に示すように、コア13の上面13b及び下面13cがともに露出面とされた光導波路型センサ10の構成をモデルとした。
(数1)
0.02n1 2−0.17n1+0.36≦Δn≦0.51n1 2−3.10n1+4.95
本実施形態では、上記数式1の関係を満たしてコア13及び横クラッド14が構成されている。すなわち、光導波路内を導波される光の透過率が高い構成となっている。光導波路内の透過率が高いということは、伝播損失が小さいということであるので、これにより、検出感度を向上することができる。
上記実施形態では、コア13の側面13aに接する横クラッド14の屈折率が単一(一定)である例を示した。これに対し、本実施形態では、図18に示すように、横クラッド14が、コア13との境界から所定範囲に、コア13(の側面13a)から離れるにつれて屈折率が連続的若しくは段階的に小さくなる屈折率傾斜部位14bを有する点を特徴とする。
11・・・基板
12・・・下部クラッド層
13・・・コア
13a・・・側面
13b・・・上面
13c・・・下面
14・・・横クラッド
16・・・サポート層
17・・・除去領域
MEM・・・メンブレン
Claims (13)
- 基板上に光導波路が形成された光導波路型センサであって、
前記光導波路は、該基板の一面上において延設されたコアと、前記基板の一面上における前記コアと同一層において、前記コアを挟むように前記コアの両側面に接して形成された横クラッドを含み、
前記コアは、渦巻状に延設されるとともに、前記基板とは反対側の面の少なくとも一部が、光がしみだして被検出対象に吸収される伝播面とされていることを特徴とする光導波路型センサ。 - 前記コアの屈折率をn1、該屈折率n1と前記横クラッドの屈折率n2との差をΔnとすると、
次式を満たして前記光導波路が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
0.02n1 2−0.17n1+0.36≦Δn≦0.51n1 2−3.10n1+4.95 - 前記コアの厚みが2.0μm以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光導波路型センサ。
- 前記コアの屈折率n1が3以下であることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の光導波路型センサ。
- 前記横クラッドは、前記コアとの境界から所定範囲に、前記コアから離れるにつれて屈折率が連続的若しくは段階的に小さくなる屈折率傾斜部位を有することを特徴とする請求項1に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板には、前記一面に開口する除去領域が設けられ、
前記光導波路を構成する前記コア及び前記横クラッドのうち、前記除去領域を架橋する部位がメンブレンとされ、
前記メンブレンにおけるコアの、前記基板とは反対側の面と前記基板側の面との両面が、前記伝播面とされていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の光導波路型センサ。 - 前記除去領域は、前記基板の一面とは反対の面にも開口する貫通孔であることを特徴とする請求項6に記載の光導波路型センサ。
- 前記コアの伝播面は、被検出対象が接触するよう露出されていることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の光導波路型センサ。
- 前記コアの伝播面の少なくとも一方に対し、前記メンブレンを補強するサポート層が接触配置され、
前記光導波路を導波される光の波長をλ、前記サポート層の波長λにおける屈折率をns、前記サポート層の厚みをtsとすると、
前記サポート層が、ns×ts≦λを満たして形成されていることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の光導波路型センサ。 - 前記サポート層が、ns×ts≦0.3λを満たして形成されていることを特徴とする請求項9に記載の光導波路型センサ。
- 前記基板の一面上には、下部クラッド層を介して、前記コア及び前記横クラッドが形成されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の光導波路型センサ。
- 前記光導波路の入射端に光を入射する光源と、
前記光導波路の出射端から出射された光を検出する光検出器とを備えることを特徴とすることを特徴とする請求項1〜11いずれか1項に記載の光導波路型センサ。 - 基板上に光導波路が形成された光導波路型センサの製造方法であって、
前記光導波路を形成する工程として、
前記基板上にコアを形成する工程と、
前記コアの形成後、前記基板の一面上における前記コアと同一層において、前記コアを挟むように前記コアの両側面に接して横クラッドを堆積形成する工程と、を含み、
前記横クラッドを形成する工程において、前記横クラッドを形成するための原料の組成を連続的若しくは段階的に変化させることで、前記コアとの境界から所定範囲の部位において、前記コアから離れるにつれて屈折率が連続的若しくは段階的に変化するように前記横クラッドを形成することを特徴とする光導波路型センサの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010103181A JP5187344B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光導波路型センサ |
US13/086,455 US8542957B2 (en) | 2010-04-28 | 2011-04-14 | Optical waveguide sensor and manufacturing method of the same |
DE102011017542A DE102011017542A1 (de) | 2010-04-28 | 2011-04-26 | Lichtwellenleitersensor und Herstellungsverfahren für denselben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010103181A JP5187344B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光導波路型センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011232574A true JP2011232574A (ja) | 2011-11-17 |
JP5187344B2 JP5187344B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=44786657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010103181A Expired - Fee Related JP5187344B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光導波路型センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8542957B2 (ja) |
JP (1) | JP5187344B2 (ja) |
DE (1) | DE102011017542A1 (ja) |
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US20110268385A1 (en) | 2011-11-03 |
DE102011017542A1 (de) | 2011-11-03 |
JP5187344B2 (ja) | 2013-04-24 |
US8542957B2 (en) | 2013-09-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110829 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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