JP2011211224A5 - 液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Claims (16)

1. 液浸領域の液体を介して基板を露光する液浸露光装置であって、
   投影光学系と、
   前記液浸領域を形成するための液体を供給する供給口を有する第１ノズル部材と、
   前記第１ノズル部材との間にギャップが形成されるように前記第１ノズル部材から離れて配置された第２ノズル部材と、を備え、
   前記第２ノズル部材は、前記供給口から供給された液体を回収する回収口と気体を吹き出す吹出口とを有する液浸露光装置。
2. 前記第２ノズル部材を動かす駆動機構をさらに備える請求項１に記載の液浸露光装置。
3. 液浸領域の液体を介して基板を露光する液浸露光装置であって、
   投影光学系と、
   前記液浸領域を形成するための液体を供給する供給口を有する第１ノズル部材と、
   前記供給口から供給された液体を回収する回収口と気体を吹き出す吹出口とを有する第２ノズル部材と、
   前記第２ノズル部材を動かす駆動機構と、を備える液浸露光装置。
4. 前記第２ノズル部材は、前記投影光学系の光軸に対して前記第１ノズル部材の外側に配置されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
5. 前記回収口は、前記基板の表面が対向するように前記第２ノズル部材に設けられている請求項１〜４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
6. 前記供給口は、前記基板の表面が対向するように前記第１ノズル部材に設けられ、
   前記回収口は、前記投影光学系の光軸に対して前記供給口よりも外側に設けられている請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
7. 前記供給口は、前記投影光学系の光軸を囲むように複数設けられている請求項６に記載の液浸露光装置。
8. 前記吹出口は、前記投影光学系の光軸に対して前記回収口の外側に配置されている請求項１〜７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
9. 前記第２ノズル部材は、前記投影光学系の光軸に対して前記吹出口の外側に配置された吸引口を有する請求項８に記載の液浸露光装置。
10. 前記吹出口は、前記基板の表面が対向するように前記第２ノズル部材に設けられている請求項８又は９に記載の液浸露光装置。
11. 前記回収口は、前記投影光学系の光軸を囲むように設けられている請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
12. 前記第１ノズル部材は、前記投影光学系の像面側先端部を囲むように配置されている請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
13. 前記第１ノズル部材は、前記投影光学系を構成する光学素子を保持する保持部材に接続されている請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
14. 前記第２ノズル部材の位置及び姿勢の少なくとも一方が調整可能である請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
15. 投影光学系と液浸領域の液体とを介して基板を露光する液浸露光方法であって、
    前記液浸領域を形成するために第１ノズル部材の供給口から液体を供給することと、
    前記第１ノズル部材との間にギャップが形成されるように前記第１ノズル部材から離れて配置された第２ノズル部材の回収口を介して前記供給口から供給された液体を回収することと、
    前記第２ノズル部材の吹出口から気体を吹き出すことと、を含む液浸露光方法。
16. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光する露光処理工程を含むデバイス製造方法。