JP2011187795A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 裏面中央に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状凸部とを有するウエーハから該環状凸部を除去するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面側又は裏面側から、該円形凹部と該環状凸部との境界部にスクライバチップを所定荷重で当接させるステップと、ウエーハと該スクライバチップとを相対移動させて該境界部に沿った環状罫書き線を形成するステップと、該環状罫書き線が形成されたウエーハに外力を付与して該環状凸部と該円形凹部とを分離するステップと、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図10
Description
11 半導体ウエーハ
17 デバイス領域
19 外周余剰領域
22 研削ホイール
56 円形凹部
58 環状凸部
62 スクライブ加工装置
116 スクライバシャンク
118 スクライバチップ
130,142 環状罫書き線
134 粘着テープ
135 エキスパンド装置
136,146 保持テーブル
144 環状押圧部材
Claims (1)
- 裏面中央に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状凸部とを有するウエーハから該環状凸部を除去するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面側又は裏面側から、該円形凹部と該環状凸部との境界部にスクライバチップを所定荷重で当接させるステップと、
ウエーハと該スクライバチップとを相対移動させて該境界部に沿った環状罫書き線を形成するステップと、
該環状罫書き線が形成されたウエーハに外力を付与して該環状凸部と該円形凹部とを分離するステップと、
を具備したことを特徴とするウエーハの加工方法。
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