JP2011145279A - プローブカード及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブカードは、被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードであって、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備えた。本発明の検査装置は、プローブカードを備えた検査装置であって、当該プローブカードとして、前記プローブカードを用いた。
【選択図】 図7
Description
まず、本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置としては、本実施形態のプローブカードを備えた検査装置すべてを用いることができる。以下では、プローブカード以外の構成が、特許文献1のプローバと同様であるとし、特許文献1のプローバと同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、プローブカードを中心に説明する。
検査が終了したウェハ11は、例えば搬送装置によって取り外され、新しいウェハ11が搭載されて、上記検査が繰り返される。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態では、プローブカード以外の検査装置の構成が、第1実施形態の検査装置と同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、プローブカードを中心に説明する。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態における中間絶縁シート69及び上段絶縁シート71の改良に関するものである。このため、第2実施形態と同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、中間絶縁シートを中心に説明する。図12は本実施形態に係るプローブカードの絶縁シートを示す平面図、図13は図12の絶縁シートの要部を示す拡大図である。
[変形例]
なお、前記第1実施形態では、絶縁シートを2枚(中間絶縁シート49及び上段絶縁シート51)にしたが、ポゴピン12の寸法等の諸条件に合わせて、絶縁シートを1枚又は3枚以上にしてもよい。これは、第2実施形態及び第3実施形態においても同様である。この場合も、前記各実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (11)
- 被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードにおいて、
試験装置に接続される配線が配設された配線基板と、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、
当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備えたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記支持部材が、前記ポゴピンの下部が通る下部支持穴を備え、前記各ポゴピンの下部を位置決めして摺動可能に保持し、
前記シート状支持部材が、前記ポゴピンの中間部が通る支持穴を備え、隣接するポゴピン間でのショートを防止すると共に各ポゴピンを柔軟にかつ正確に支持して各ポゴピンの垂直性を保持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項2のプローブカードにおいて、
前記各ポゴピンは、前記支持基板に前記支持部材の前記下部支持穴と前記シート状支持部材の前記支持穴を貫通して支持され、前記各ポゴピンの上端部は前記配線基板の電極パッドに接触していることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至3にいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記シート状支持部材の内部や表面に、当該シート状支持部材の伸縮に伴う撓みを抑える補強膜を施したことを特徴とするプローブカード。 - 請求項4に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜が、前記シート状支持部材の表面や複数層構造の中間層に施されたメッキ等の薄膜で構成され、当該薄膜がパターンを施して又はベタ面状に設けられたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項5に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜のパターンが、前記支持穴の周縁を囲繞して施されたことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記シート状支持部材が、2枚設けられて、前記ポゴピンの中間位置を2カ所で支持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記ポゴピンは、圧縮バネを包み込む筒状のバレルである上端針部と、前記バレルの中に入り込み前記圧縮バネに当接するプランジャーである下端針部とを備え、
前記支持部材は、前記ポゴピンの前記下端針部を支持し且つ摺動を許し、前記シート状支持部材は、前記ポゴピンの前記上端針部を単に支持することを特徴とするプローブカード。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記各ポゴピンの中間部を保持する前記シート状支持部材を、当該中間部の位置で支持するスペーサーを有し、当該スペーサーが着脱自在に、かつ、前記シート状支持部材の設置枚数に応じた数だけ取り付けられることを特徴とするプローブカード。 - 請求項9に記載のプローブカードにおいて、
前記スペーサーの厚さが、前記シート状支持部材の設置枚数及び前記プローブの寸法に合わせて調整されることを特徴とするプローブカード。 - プローブカードを備えた検査装置において、
前記プローブカードとして、請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプローブカードを用いたことを特徴とする検査装置。
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