TWI416122B - 探針卡及檢查裝置 - Google Patents
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI684011B (zh) * | 2016-07-28 | 2020-02-01 | 義大利商探針科技公司 | 電子裝置用探針卡 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP6245876B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2017-12-13 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード |
TW201537181A (zh) * | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Mpi Corp | 垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱 |
KR102116661B1 (ko) * | 2014-06-02 | 2020-06-01 | (주)케미텍 | 테스트 장치의 커넥터 시스템 |
JP6411169B2 (ja) | 2014-10-22 | 2018-10-24 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007520702A (ja) * | 2004-01-16 | 2007-07-26 | フォームファクター, インコーポレイテッド | 低い機械的曲げ強度の電気的回路基板のためのプローブカード構造 |
US20070264878A1 (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-15 | Nidec-Read Corporation | Probe, testing head having a plurality of probes, and circuit board tester having the testing head |
TW200813458A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-16 | Yokowo Seisakusho Kk | Socket for use in inspection |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650991A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Toho Denshi Kk | プローブ装置 |
JP2006153723A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Japan Electronic Materials Corp | 垂直型コイルスプリングプローブとこれを用いたプローブユニット |
JP2009162483A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007520702A (ja) * | 2004-01-16 | 2007-07-26 | フォームファクター, インコーポレイテッド | 低い機械的曲げ強度の電気的回路基板のためのプローブカード構造 |
US20070264878A1 (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-15 | Nidec-Read Corporation | Probe, testing head having a plurality of probes, and circuit board tester having the testing head |
TW200813458A (en) * | 2006-09-12 | 2008-03-16 | Yokowo Seisakusho Kk | Socket for use in inspection |
TW200931024A (en) * | 2007-12-10 | 2009-07-16 | Tokyo Electron Ltd | Probe card |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI684011B (zh) * | 2016-07-28 | 2020-02-01 | 義大利商探針科技公司 | 電子裝置用探針卡 |
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