JP2011142165A - 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の位置決め装置は、平面を有する天板と、前記平面に対して垂直な方向に駆動し前記天板を移動させる複数のアクチュエータと、を備える位置決め装置において、前記天板の周波数応答を測定して、前記天板の弾性振動の共振周波数においてピークが検出された際に、前記ピークを低減するように前記複数のアクチュエータの推力分配比率を調整する制御手段を有することを特徴とする。
【選択図】 図4
Description
図1は第1実施形態におけるステージの概略構成図である。また、図2は、ステージ制御系のブロック図である。このブロック図では、Z、θx、θy軸についてのみ示してあるが、実機の制御系にはX、Y、θz軸も含まれる。ここで、θx、θy、θzは、それぞれX、Y、Z軸回りの回転を示す。
工程1のZ軸指令の分配比率(inv(M)の1列目)の調整について説明する(図4(b))。
S3では、ピークとノッチの周波数の関係により、ねじれモードがθx剛体変位に対して同相で励振されている(低い周波数)か、逆相で励振されている(高い周波数)か、を確認する。
S3では、ピークとノッチの周波数の関係により、ねじれモードがθy剛体変位に対して同相で励振されている(低い周波数)か、逆相で励振されている(高い周波数)か、を確認する。
図7は第2実施形態における天板の概略構成図である。第1実施形態とはアクチュエータの配置が異なり、天板に対して菱形となるように配置されている。これは、曲げモードに対しては、節で囲まれた4つの領域それぞれに1つずつ配置する。曲げモードについては、推力分配行列によって適切に推力を分配することで、励振しないようにすることができる。さらに、ねじれモードと湾曲モードの節の交点に配置することによって、ねじれモードと湾曲モードについては、励振しないようにすることができる。
図8は第3実施形態における、ステージ天板形状の変形例である。
図9は第4実施形態として、本発明を適用可能な露光装置の一例を示す概略構成図である。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述の実施形態の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラス基板等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
2 粗動ステージ
4 ウエハステージ
11 制御装置
Z1、Z2、Z3、Z4 Zアクチュエータ
E1、E2、E4 Zエンコーダ
Claims (14)
- 平面を有する天板と、前記平面に対して垂直な方向に駆動して前記天板を移動させる複数のアクチュエータと、を備える位置決め装置において、
前記天板の周波数応答を測定して、前記天板の弾性振動の共振周波数においてピークが検出された際に、前記ピークを低減するように前記複数のアクチュエータの推力分配比率を調整する制御手段を有する位置決め装置。 - 前記アクチュエータは、前記天板に発生する弾性振動の節によって分けられる複数の領域の前記弾性振動の腹の部分に少なくとも1つずつ配置されることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記制御手段は、前記複数の領域のうち、前記天板の移動方向と弾性振動とが同相に変位する領域に配置された前記アクチュエータの推力分配比率を低減するとともに、前記天板の移動方向と弾性振動とが逆相に変位する領域に配置された前記アクチュエータの推力分配比率を増加することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記複数の領域は、前記天板に発生する弾性振動の互いに交差する第1方向と第2方向とにそれぞれ延びる節によって分けられる4つの領域であることを特徴とする請求項2または3に記載の位置決め装置。
- 前記天板に発生する弾性振動は、ねじれ振動であることを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。
- 前記天板に発生する弾性振動は、曲げ振動であることを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。
- 前記制御手段は、前記平面に垂直な方向における前記天板の目標位置を振動させ、前記4つの領域のうち対角する領域に配置された前記アクチュエータをペアとして、一方のペアの推力分配比率を増加し他方のペアの推力分配比率を低減することを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記制御手段は、前記第1方向に延びる軸回り方向における前記天板の目標位置を振動させ、前記第2方向に延びる軸で分けられる領域に配置された前記アクチュエータをそれぞれペアとして、一方のペアの推力分配比率を増加し他方のペアの推力分配比率を低減することを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記制御手段は、前記第2方向に延びる軸回り方向における前記天板の目標位置を振動させ、前記第1方向に延びる軸で分けられる領域に配置された前記アクチュエータをそれぞれペアとして、一方のペアの推力分配比率を増加し他方のペアの推力分配比率を低減することを特徴とする請求項4乃至8のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記制御手段は、前記平面に垂直な方向および前記第1方向に延びる軸回り方向および前記第2方向に延びる軸回り方向における前記天板の位置決めの際に用いる前記アクチュエータの推力分配比率を求めたあとで、前記平面に垂直な方向および前記第1方向に延びる軸回り方向および前記第2方向に延びる軸回り方向における前記天板の移動が互いに干渉しないように前記各方向への駆動指令の分配比率を求めることを特徴とする請求項9に記載の位置決め装置。
- 前記天板は、略正方形状であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 平面を有する天板と、前記平面に対して垂直な方向に駆動して前記天板を移動させる複数のアクチュエータと、を備える位置決め装置における前記複数のアクチュエータの推力分配比率の調整方法において、
前記天板の周波数応答を測定する工程と、
前記測定で前記天板の弾性振動の共振周波数においてピークが検出されたかを確認する工程と、
前記ピークが確認された際に、前記ピークを低減するように前記複数のアクチュエータの推力分配比率を調整する工程と、
を含むことを特徴とする推力分配比率の調整方法。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の位置決め装置を備えることを特徴とする露光装置。
- 請求項13に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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