JP2011136406A - 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 522
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 231
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title abstract 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 65
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 63
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 13
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 12
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
- B24B37/015—Temperature control
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
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- B24—GRINDING; POLISHING
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- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02024—Mirror polishing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】研磨パッド11が貼付された研磨テーブル13と、基板を保持するトップリング14とを備えた基板研磨装置において、研磨パッド11面上の温度を検出する放射温度計19と、研磨パッド11面上の温度を調整するパッド温調手段26と、研磨パッド温度情報に基づいてパッド温調手段26を制御して研磨パッド11面上の温度を制御する温度コントローラ20を備え、温度コントローラ20は複数種のPIDパラメータから所定のルールに基づき所定のPIDパラメータを選択し、パッド温度情報に基づいて選択したPIDパラメータを用いて研磨パッド11面上の温度を制御する。
【選択図】図1
Description
11 研磨パッド
13 研磨テーブル
14 トップリング
16 スラリ供給ノズル
17 スラリー
19 放射温度計
20 温度コントローラ
22 電空レギュレータ
23 3方制御弁
25 温水製造タンク
26 パッド温調手段
27 電圧調整器
28 温度計
30 温水
31 冷水
33 固体
33−1 研磨パッド接触部材
33−2 シリコンラバーヒータ
33−3 アルミ製循環水ケース
35 蓋体
36 固定軸
38 ブラケット
39 固体支持軸
40 回転軸
41 電圧調整器
43 トップリン支持アーム
45 温風ヒータ
46 温風
48 棒状ヒータ
49 丸孔
50 流量コントローラ
53 受渡機構
54 温水
56 ノズル
Claims (23)
- 上面に研磨パッドが貼付された研磨テーブルと、基板を保持する基板保持手段とを備え、回転する研磨テーブルの研磨パッド面上に回転する前記基板保持手段で保持する基板を押圧接触させ、該基板を研磨する研磨装置において、
前記研磨パッド面上の温度を検出する研磨パッド温度検出手段と、前記研磨パッド面上に接触し該研磨パッド面上の温度を調整するパッド温調手段と、前記研磨パッド温度検出手段で検出したパッド温度情報に基づいて前記パッド温調手段を制御して前記研磨パッド面上の温度を制御する温度コントローラを備え、
前記温度コントローラは複数種のPIDパラメータから所定のルールに基づき所定のPIDパラメータを選択し、前記パッド温度情報に基づいて前記選択したPIDパラメータを用いて前記研磨パッド面上の温度を制御することを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1に記載の基板研磨装置において、
前記温度コントローラは、研磨プロセス又は研磨中の前記基板に形成された膜種に応じて前記複数種のPIDパラメータから所定のPIDパラメータを選択し、前記パッド温度情報に基づいて前記選択したPIDパラメータを用いて前記パッド温調手段を制御し、前記研磨パッド面上の温度を制御することを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1に記載の基板研磨装置において、
前記温度コントローラは、前記研磨パッド面上の冷却用と加熱用で前記複数種のPIDパラメータを持ち、該複数種のPIDパラメータから所定のPIDパラメータを選択することを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項2又は3に記載の基板研磨装置において、
前記PIDパラメータは、予めレシピに登録しておき、該レシピにより選択可能であることを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1に記載の基板研磨装置において、
前記パッド温調手段は、前記研磨パッド面の半径方向に接触する研磨パッド接触面を有する固体を具備し、該固体内を流れる熱交換媒体である流体の間で前記研磨パッド接触面を介して熱交換を行うように構成されていることを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板研磨装置において、
前記基板保持手段は基板を保持する基板保持部を支持するヘッド部を備え、該ヘッド部に前記研磨パッド面に温風を吹き付ける温風ヒータを設けたことを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板研磨装置において、
前記研磨パッド面に冷風を吹き付ける冷風吹付手段をけたことを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の基板研磨装置において、
前記基板保持手段が保持する前記基板を加熱する基板加熱手段を設けたことを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項8に記載の基板研磨装置において、
前記基板加熱手段は温水を吹き付ける温水吹付手段であることを特徴とする基板研磨装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の基板研磨装置において、
前記基板保持手段を複数備え、それぞれ基板保持手段に対応して前記研磨パッド温度検出手段、前記パッド温調手段、前記温度コントローラを備えたことを特徴とする基板研磨装置。 - 回転する研磨テーブルの研磨パッド面上に回転する基板保持手段で保持する基板を押圧接触させて該基板を研磨する基板研磨方法において、
温度コントローラにより複数種のPIDパラメータから所定のルールに基づき所定のPIDパラメータを選択し、該選択したPIDパラメータを用いて前記研磨パッド面上の温度情報に基づいて前記研磨パッド面上に接触し該研磨パッド面上の温度を調整するパッド温調手段を制御して前記研磨パッド面上の温度を制御しながら前記基板を研磨することを特徴とする基板研磨方法。 - 上面に研磨パッドが貼付された研磨テーブルと、基板を保持する基板保持手段とを備え、回転する研磨テーブルの研磨パッド面上に回転する前記基板保持手段で保持する基板を押圧接触させ、該基板を研磨する基板研磨装置の前記研磨パッド面上に接触し該研磨パッド面の温度を調整する基板研磨装置の研磨パッド面温調装置であって、
前記研磨パッド面上に接触する研磨パッド接触面を有する固体を具備し、該固体は前記研磨パッドに接触する側を熱伝導性、体磨耗性、及び耐食性に優れた材料で構成し、前記研磨パッドに接触する側の反対側を線膨張係数が前記研磨パッドに接触する側の材料の線膨張係数に近く、且つ断熱性の優れた材料からなるカバーで覆った構成であり、
前記研磨パッド接触面を介して前記固体内を流れる熱交換媒体である流体との間で熱交換を行うように構成されていることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体の前記研磨パッドに接触する側をSiC製或いはアルミナ製としたことを特徴とする研磨パッド面温調装置。 - 請求項12又は13に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体の前記研磨パッドに接触する面は面粗さを小さくする鏡面仕上げ或いはCVDコーティング処理としていることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至14のいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体は前記研磨パッド面上に半径方向に配置され自重で接するようになっており、該研磨パッド面の円周方向と半径方向の振れ、及び該研磨パッドの磨耗による厚みの変化に追従する追従機構を具備する構成であることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至15のいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体は前記研磨パッドの交換に支障とならないように該研磨パッドの外周部で、
垂直方向に跳ね上げ可能な跳ね上げ機構を介して支持部に支持されていることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至16のいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体には、前記研磨パッドの中心側と外周側の端部に熱交換媒体である流体を給・排出する流体給・排出口を設けたことを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項17に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記研磨パッド面を冷却するときは、前記固体の研磨パッドの中心側の流体給・排出口から前記流体を供給し、前記研磨パッドの外周側の流体給・排出口から排出することを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項17に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記研磨パッド面を加熱するときは、前記固体の研磨パッドの外周側の流体給・排出口から温流体を供給し、研磨パッドの中心側の流体給・排出口から排出することを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項17に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記流体給・排出口は前記固体の研磨パッドの中心側の端部に1個、研磨パッドの外周側の端部に2個以上設けたことを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至20のいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体の平面形状は前記研磨パッドの中心側に接する端部が狭く外周側に接する端部が広い台形状であることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至21のいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記流体は、液体又は気体であることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。 - 請求項12乃至22にのいずれか1項に記載の基板研磨装置の研磨パッド面温調装置において、
前記固体に流れる流体は比例制御3方弁を経由して流れ、該比例制御3方弁には温流体と冷流体が供給され、各々の流体流量が制御・混合され、温調された流体として前記固体内流路に供給されることを特徴とする基板研磨装置の研磨パッド面温調装置。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009298965A JP5547472B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 |
US12/974,123 US8845391B2 (en) | 2009-12-28 | 2010-12-21 | Substrate polishing apparatus, substrate polishing method, and apparatus for regulating temperature of polishing surface of polishing pad used in polishing apparatus |
TW099145434A TWI566883B (zh) | 2009-12-28 | 2010-12-23 | 基板研磨裝置、基板研磨方法及用於研磨裝置之研磨墊之研磨表面調溫裝置 |
KR1020100133336A KR101678081B1 (ko) | 2009-12-28 | 2010-12-23 | 기판폴리싱장치, 기판폴리싱방법, 및 폴리싱장치에 사용되는 폴리싱패드의 폴리싱면의 온도를 조절하기 위한 장치 |
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CN201010621521.0A CN102179757B (zh) | 2009-12-28 | 2010-12-28 | 基板抛光设备、基板抛光方法和在该抛光设备中用于调节抛光垫的抛光面温度的设备 |
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US17/229,106 US20210229235A1 (en) | 2009-12-28 | 2021-04-13 | Substrate polishing apparatus, substrate polishing method, and apparatus for regulating temperature of polishing surface of polishing pad used in polishing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009298965A JP5547472B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011136406A true JP2011136406A (ja) | 2011-07-14 |
JP2011136406A5 JP2011136406A5 (ja) | 2012-12-13 |
JP5547472B2 JP5547472B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=44188119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009298965A Active JP5547472B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | 基板研磨装置、基板研磨方法、及び基板研磨装置の研磨パッド面温調装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US8845391B2 (ja) |
JP (1) | JP5547472B2 (ja) |
KR (1) | KR101678081B1 (ja) |
CN (2) | CN102179757B (ja) |
TW (1) | TWI566883B (ja) |
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KR102293098B1 (ko) | 2017-03-23 | 2021-08-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 연마 방법 및 연마 장치 |
KR20180108449A (ko) * | 2017-03-23 | 2018-10-04 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 연마 방법 및 연마 장치 |
JP2019111591A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドの温度を調整するためのパッド温調機構および研磨装置 |
JP2019160996A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 東芝メモリ株式会社 | 研磨パッド、半導体製造装置、および半導体装置の製造方法 |
US11883926B2 (en) | 2018-03-13 | 2024-01-30 | Kioxia Corporation | Polishing pad, semiconductor fabricating device and fabricating method of semiconductor device |
JP2021529097A (ja) * | 2018-06-27 | 2021-10-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 化学機械研磨の温度制御 |
JP7287987B2 (ja) | 2018-06-27 | 2023-06-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 化学機械研磨の温度制御 |
JP7066599B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-05-13 | 株式会社荏原製作所 | 温度調整装置及び研磨装置 |
TWI800697B (zh) * | 2018-11-28 | 2023-05-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 溫度調整裝置及研磨裝置 |
JP2020082295A (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 株式会社荏原製作所 | 温度調整装置及び研磨装置 |
CN111383960A (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-07 | 细美事有限公司 | 用于处理基板的装置和方法 |
JP2020203375A (ja) * | 2019-06-11 | 2020-12-24 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
JP7386125B2 (ja) | 2019-06-11 | 2023-11-24 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
JP2023518650A (ja) * | 2020-06-29 | 2023-05-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 化学機械研磨のための蒸気発生の制御 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201139055A (en) | 2011-11-16 |
US20110159782A1 (en) | 2011-06-30 |
TWI566883B (zh) | 2017-01-21 |
CN104842259B (zh) | 2018-01-12 |
US20190168354A1 (en) | 2019-06-06 |
KR101678081B1 (ko) | 2016-12-06 |
JP5547472B2 (ja) | 2014-07-16 |
US20140364040A1 (en) | 2014-12-11 |
KR20110076784A (ko) | 2011-07-06 |
CN102179757A (zh) | 2011-09-14 |
US20210229235A1 (en) | 2021-07-29 |
CN104842259A (zh) | 2015-08-19 |
US8845391B2 (en) | 2014-09-30 |
CN102179757B (zh) | 2015-04-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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