JP2023518650A - 化学機械研磨のための蒸気発生の制御 - Google Patents
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Abstract
Description
に基づいて計算することができ、ここで、KPは、調整中に設定される重みである。誤差信号e(t)は、第2の積分出力Iを計算する積分値計算器214にも入力される。積分出力Iは、
に基づいて計算することができ、ここで、KIは、調整中に設定される重みである。誤差信号e(t)は、3次微分出力Dを計算する微分値計算器216にも入力される。積分出力Dは、
に基づいて計算することができ、ここで、KDは、調整中に設定される重みである。
Claims (19)
- 化学機械研磨システムであって、
研磨パッドを支持するためのプラテン、
前記研磨パッドと接触するように基板を保持するためのキャリアヘッド、
前記プラテンと前記キャリアヘッドとの間の相対的運動を発生させるモータ、
吸水口及び蒸気出口を有する容器と、蒸気を発生させるために下方チャンバの一部に熱を加えるように構成された加熱要素とを含む蒸気発生器、
前記蒸気発生器から前記研磨パッド上に蒸気を供給するように方向付けられた少なくとも1つの開口を有する、前記プラテンにわたって延在するアーム、
前記開口及び前記蒸気出口を制御可能に接続及び接続解除するための、前記開口と前記蒸気出口との間の流体ラインにおける第1のバルブ、
蒸気パラメータをモニタリングするためのセンサ、並びに
前記センサ、前記バルブ、及び任意選択的に前記加熱要素に連結された制御システムであって、
非一時的記憶デバイス内にデータとして記憶された研磨処理レシピにおける蒸気供給スケジュールに従って前記バルブを開閉させ、
前記センサから前記蒸気パラメータの測定値を受信し、
前記蒸気パラメータの目標値を受信し、
前記測定値が、前記蒸気供給スケジュールに従って前記バルブが開くほぼ直前に前記目標値に達するように、前記第1のバルブ及び/又は第2の圧力解放バルブ及び/又は前記加熱要素を制御するように、前記目標値及び前記測定値を入力として比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行する
ように構成された制御システム
を備えている化学機械研磨システム。 - 前記蒸気パラメータが蒸気温度であり、前記測定値が測定された蒸気温度値であり、前記目標値が目標蒸気温度値である、請求項1に記載のシステム。
- 前記蒸気パラメータが蒸気圧力であり、前記測定値が測定された蒸気圧力値であり、前記目標値が目標蒸気圧力値である、請求項1に記載のシステム。
- コントローラが、前記蒸気供給スケジュールにおける供給期間以外の時間に前記バルブを制御するように、前記比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- コントローラが、前記加熱要素を制御するように、前記比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- コントローラは、前記測定値が、前記バルブが開かれる10秒未満前に前記目標値に達するように、前記比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記測定値が、前記バルブが開かれる3秒未満前に前記目標値に達するように、前記比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行するように構成されている、請求項6に記載のシステム。
- 前記コントローラは、前記測定値が、前記バルブが開かれる1秒未満前に前記目標値に達するように、前記比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行するように構成されている、請求項7に記載のシステム。
- 前記容器内の水位をモニタリングするための水位センサを備え、コントローラは、前記水位センサから信号を受信し、前記容器内の水位を前記加熱要素の上方に及び前記蒸気出口の下方に維持するように前記水位センサからの前記信号に基づいて前記吸水口を通る水の流量を修正するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- コントローラは、サイクルの分与段階中に前記バルブを開くように構成され、前記サイクルの回復段階中に前記バルブを閉じるように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 各サイクルが、単一の基板の研磨に対応する、請求項10に記載のシステム。
- 各サイクルが、単一の分与段階及び単一の回復段階からなる、請求項10に記載のシステム。
- 前記研磨パッドの温度を測定するための温度センサ位置をさらに含む、請求項10に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記センサから前記研磨パッドの前記温度を表す信号を受信し、前記信号に基づいて前記蒸気パラメータの前記目標値を設定するように構成されている、請求項13に記載のシステム。
- 前記コントローラが、サイクルごとに前記目標値を設定するように構成されている、請求項14に記載のシステム。
- 前記コントローラが、サイクルを通じて連続的に前記目標値を設定するように構成されている、請求項14に記載のシステム。
- 化学機械研磨システムであって、
研磨パッドを支持するためのプラテン、
前記研磨パッドと接触するように基板を保持するためのキャリアヘッド、
前記プラテンと前記キャリアヘッドとの間の相対的運動を発生させるモータ、
吸水口及び蒸気出口を有する容器と、蒸気を発生させるために下方チャンバの一部に熱を加えるように構成された加熱要素とを含む蒸気発生器、
前記蒸気発生器から前記研磨パッド上に蒸気を供給するように方向付けられた少なくとも1つの開口を有する、前記プラテンにわたって延在するアーム、
前記開口及び前記蒸気出口を制御可能に接続及び接続解除するための、前記開口と前記蒸気出口との間の流体ラインにおける第1のバルブ、
前記第1のバルブと前記蒸気出口との間の前記流体ラインにおける第2のバルブ又は流量調整器であって、当該第2のバルブが、前記容器から圧力を制御可能に抜くように構成された、第2のバルブ又は流量調整器、
蒸気パラメータをモニタリングするためのセンサ、並びに
前記センサ、前記バルブ、及び任意選択的に前記加熱要素に連結された制御システムであって、
非一時的記憶デバイス内にデータとして記憶された研磨処理レシピにおける蒸気供給スケジュールに従って前記第1のバルブを開閉させ、
前記センサから前記蒸気パラメータの測定値を受信し、
前記蒸気パラメータの目標値を受信し、
前記測定値が、前記蒸気供給スケジュールに従って前記バルブが開くほぼ直前に前記目標値に達するように、前記第2のバルブを制御するように、前記目標値及び前記測定値を入力として比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行する
ように構成された制御システム
を備えている化学機械研磨システム。 - 蒸気発生アセンブリであって、
吸水口及び蒸気出口を有する容器と、蒸気を発生させるために下方チャンバの一部に熱を加えるように構成された加熱要素とを含む蒸気発生器、
前記蒸気出口を開口に制御可能に接続及び前記開口から制御可能に接続解除するための、前記蒸気出口からの流体ラインにおける第1のバルブ、
蒸気パラメータをモニタリングするためのセンサ、並びに
前記センサ、前記バルブ、及び任意選択的に前記加熱要素に連結された制御システムであって、
非一時的記憶デバイス内にデータとして記憶された研磨処理レシピにおける蒸気供給スケジュールに従って前記バルブを開閉させ、
前記センサから前記蒸気パラメータの測定値を受信し、
前記蒸気パラメータの目標値を受信し、
前記測定値が、前記蒸気供給スケジュールに従って前記バルブが開くほぼ直前に前記目標値に達するように、前記第1のバルブ及び/又は第2の圧力解放バルブ及び/又は前記加熱要素を制御するように、前記目標値及び前記測定値を入力として比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行する
ように構成された制御システム
を備えている蒸気発生アセンブリ。 - 命令を有する非一時的コンピュータ可読媒体を備えたコンピュータプログラム製品であって、前記命令は、1つ又は複数のプロセッサに、
非一時的記憶デバイス内にデータとして記憶された研磨処理レシピにアクセスさせ、
蒸気発生デバイスの出口と開口との間の第1のバルブを蒸気供給スケジュールに従って開閉させ、
前記蒸気発生デバイス内の蒸気の蒸気パラメータの測定値をセンサから受信させ、
前記蒸気パラメータの目標値を受信させ、
前記測定値が、前記蒸気供給スケジュールに従って前記バルブが開くほぼ直前に前記目標値に達するように、前記第1のバルブ及び/又は第2の圧力解放バルブ及び/又は加熱要素を制御するように、前記目標値及び前記測定値を入力として比例-積分-微分制御アルゴリズムを実行させる、
コンピュータプログラム製品。
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