KR20220116324A - 화학 기계적 연마를 위한 스팀 생성의 제어 - Google Patents

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Abstract

화학 기계적 연마 시스템은, 스팀을 생성하기 위해 용기에 열을 인가하는 가열 요소를 갖는 스팀 생성기, 연마 패드 상에 스팀을 전달하는 개구, 개구와 용기 사이의 유체 라인에 있는 제1 밸브, 스팀 파라미터를 모니터링하는 센서, 및 제어 시스템을 포함한다. 제어 시스템은 밸브로 하여금 레시피 내의 스팀 전달 스케줄에 따라 개방 및 폐쇄 하고, 센서로부터 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고, 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고, 스팀 전달 스케줄에 따라 밸브가 개방되기 실질적으로 직전에 측정된 값이 목표 값에 도달하도록 제1 밸브 및/또는 제2 압력 해제 밸브 및/또는 가열 요소를 제어하기 위해, 목표 값 및 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하게 한다.

Description

화학 기계적 연마를 위한 스팀 생성의 제어
본 개시내용은 기판 처리 도구, 예를 들어 화학 기계적 연마(CMP)를 위한 스팀의 생성의 제어에 관한 것이다.
집적 회로는 전형적으로, 반도체 웨이퍼 상에 전도성, 반전도성, 또는 절연 층의 순차적 퇴적에 의해 기판 상에 형성된다. 다양한 제조 프로세스는 기판 상의 층의 평탄화를 필요로 한다. 예를 들어, 하나의 제조 단계는 비평면 표면 위에 충전재 층을 퇴적하고, 패터닝된 층의 최상부 표면이 노출될 때까지 충전재 층을 연마하는 것을 수반한다. 다른 예로서, 유전체 층이, 패터닝된 전도성 층 위에 퇴적되고, 그 다음, 후속 포토리소그래피 단계를 가능하게 하기 위해 평탄화될 수 있다.
화학 기계적 연마(CMP)는 평탄화의 하나의 용인된 방법이다. 이러한 평탄화 방법은 전형적으로, 캐리어 헤드 상에 기판이 장착되는 것을 필요로 한다. 기판의 노출된 표면은 전형적으로, 회전 연마 패드에 맞닿게 배치된다. 캐리어 헤드는 연마 패드에 맞닿게 기판을 밀기 위해 기판 상에 제어가능한 부하를 제공한다. 연마 입자를 갖는 연마 슬러리가 전형적으로 연마 패드의 표면에 공급된다.
연마 프로세스에서의 연마율은 온도에 민감할 수 있다. 연마 동안 온도를 제어하기 위한 다양한 기술이 제안되었다.
화학 기계적 연마 시스템은 연마 패드를 지지하기 위한 플래튼, 연마 패드와 접촉하는 상태로 기판을 유지하기 위한 캐리어 헤드, 플래튼과 캐리어 헤드 사이의 상대 운동을 생성하기 위한 모터, 물 유입구 및 스팀 배출구를 갖는 용기, 및 스팀을 생성하기 위해 하부 챔버의 일부에 열을 인가하도록 구성된 가열 요소를 포함하는 스팀 생성기, 플래튼 위로 연장되는 암 - 암은 스팀 생성기로부터의 스팀을 연마 패드 상에 전달하도록 배향된 적어도 하나의 개구를 가짐 -, 개구와 스팀 배출구를 제어가능하게 연결 및 분리하기 위해 개구와 스팀 배출구 사이의 유체 라인에 있는 제1 밸브, 스팀 파라미터를 모니터링하기 위한 센서, 및 센서, 밸브, 및 선택적으로 가열 요소에 결합된 제어 시스템을 포함한다. 제어 시스템은, 비일시적 저장 디바이스에 데이터로서 저장된 연마 프로세스 레시피 내의 스팀 전달 스케줄에 따라 밸브가 개방 및 폐쇄되게 하고, 센서로부터 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고, 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고, 목표 값 및 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하여, 스팀 전달 스케줄에 따라 밸브가 개방되기 실질적으로 직전에 측정된 값이 목표 값에 도달하도록, 제1 밸브 및/또는 제2 압력 해제 밸브 및/또는 가열 요소를 제어하도록 구성된다.
가능한 이점은 다음 중 하나 이상을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다.
스팀, 즉 비등에 의해 생성된 기체 H2O는 각각의 기판의 연마 전에 연마 패드의 스팀 가열을 허용하기에 충분한 양으로 생성될 수 있고, 스팀은 웨이퍼마다 일관된 압력으로 생성될 수 있다. 연마 패드 온도, 및 그에 따른 연마 프로세스 온도는 웨이퍼마다 제어되고 더 균일할 수 있으며, 따라서, 웨이퍼별 불균일성(WIWNU)을 감소시킨다. 과잉 스팀의 생성이 최소화되어, 에너지 효율을 개선할 수 있다. 스팀은 실질적으로 순수한 기체일 수 있는데, 예를 들어 스팀 내에 현탁된 액체가 거의 또는 전혀 없을 수 있다. 건증기(dry steam)이라고도 알려진 그러한 스팀은 플래시 스팀과 같은 다른 스팀 대안들보다 더 높은 에너지 전달 및 더 낮은 액체 함량을 갖는 H2O의 기체 형태를 제공할 수 있다.
하나 이상의 구현의 세부사항은 첨부한 도면 및 아래의 설명에서 기재된다. 다른 양상, 특징 및 장점은 설명 및 도면으로부터 그리고 청구항으로부터 명백할 것이다.
도 1a는 연마 장치의 연마 스테이션의 예의 개략적인 단면도이다.
도 1b는 화학 기계적 연마 장치의 예시적인 연마 스테이션의 개략적인 상면도이다.
도 2는 스팀 생성기로의 전력을 제어하기 위해 수행될 수 있는 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 포함하는 제어 시스템을 예시한다.
도 3a는 예시적인 스팀 생성기의 개략적인 단면도이다.
도 3b는 예시적인 스팀 생성기의 개략적인 최상부 단면도이다.
화학 기계적 연마는 기판, 연마액, 및 연마 패드 사이의 계면에서의 기계적 마모와 화학적 식각의 조합에 의해 동작한다. 연마 프로세스 동안, 기판의 표면과 연마 패드 사이의 마찰로 인해 상당한 양의 열이 생성된다. 또한, 일부 프로세스는 또한, 연마 패드 표면을 컨디셔닝하고 텍스처링하기 위해, 컨디셔닝 디스크, 예를 들어, 연마 다이아몬드 입자로 코팅된 디스크가, 회전하는 연마 패드에 대해 가압되는 인-시튜 패드 컨디셔닝 단계(in-situ pad conditioning step)를 포함한다. 컨디셔닝 프로세스의 마모 또한, 열을 생성할 수 있다. 예를 들어, 2 psi의 공칭 하향력 압력 및 8000 Å/분의 제거 속도를 갖는 전형적인 1분 구리 CMP 프로세스에서, 폴리우레탄 연마 패드의 표면 온도는 약 30℃만큼 상승할 수 있다.
한편, 이전의 연마 동작에 의해 연마 패드가 가열된 경우, 새로운 기판이 초기에 하강되어 연마 패드와 접촉할 때, 기판은 더 낮은 온도에 있고, 따라서 히트 싱크로서 작용할 수 있다. 유사하게, 연마 패드 상에 분배된 슬러리는 히트 싱크로서 작용할 수 있다. 전반적으로, 이러한 효과는 연마 패드의 온도의 공간적인 그리고 시간에 따른 변동을 초래한다.
예를 들어, 참여 반응의 개시 및 속도로서의 CMP 프로세스에서의 화학 관련 변수, 및 기계 관련 변수, 예를 들어, 연마 패드의 표면 마찰 계수 및 점탄성 양쪽 모두는 강하게 온도에 의존한다. 결과적으로, 연마 패드의 표면 온도의 변동은 제거 속도, 연마 균일성, 침식, 디싱(dishing), 및 잔류물의 변화를 초래할 수 있다. 연마 동안 연마 패드의 표면의 온도를 더 엄격하게 제어함으로써, 온도의 변동이 감소될 수 있고, 예를 들어, 웨이퍼 내 불균일성 또는 웨이퍼별 불균일성에 의해 측정되는 바와 같은 연마 성능이 개선될 수 있다.
화학 기계적 연마 프로세스의 온도를 제어하기 위해 제안된 하나의 기술은 연마 패드 상에 스팀을 분무하는 것이다. 스팀은 뜨거운 물보다 우수할 수 있는데, 그 이유는, 예를 들어, 스팀의 잠열로 인해, 뜨거운 물과 동등한 양의 에너지를 부여하기 위해 더 적은 스팀이 요구될 수 있기 때문이다.
전형적인 연마 프로세스에서, 1% 내지 100%의 범위일 수 있는 (전형적으로, 하나의 웨이퍼의 연마의 시작으로부터 후속 웨이퍼의 연마의 시작까지의 총 시간의 백분율로서 측정되는) 듀티 사이클로 스팀이 인가된다. 듀티 사이클이 100%보다 낮은 경우, 스팀 생성 사이클은 2개의 섹션으로 분할될 수 있다: 회복 페이즈 및 분배 페이즈.
전형적으로, 회복 페이즈에서, 스팀 생성을 위한 용기는 폐쇄된 것으로, 즉, 밸브(들)가 폐쇄된 것으로 간주되어, 스팀이 용기를 벗어날 수 없다. 가열기, 예를 들어, 저항성 가열기에 전력이 인가되어, 용기 내의 액체 물에 열 에너지를 입력한다. 또한, 이전 분배 사이클에서 손실된 물을 대체하기 위해 액체 물이 용기 내로 흐를 수 있다.
분배 페이즈에서, 밸브는 스팀이 분배되도록 개방된다. 스팀 생성기는 분배 페이즈 동안 스팀의 유량을 따라가지 못할 수 있고, 이 경우 분배 페이즈는 용기 내의 압력 강하를 동반한다. 일부 상황에서, 가열된 액체 물이 대기에 노출될 때, 기체에 대한 급격한 상 변화(phase change)가 있을 수 있고, 이는 일반적으로 플래시 스팀(flash steam)이라고 지칭된다.
일반적으로, 회복 페이즈 동안, 목표는, 프로세스에 대해 요구될 수 있는 파라미터(온도, 유량, 압력)에 의해 지시되는 바에 따라, 다음 분배 페이즈를 위해 스팀이 준비되게 하기에 충분한 열 에너지를 추가하는 것이다. 일부 경우, 예를 들어, 20초 분배 페이즈에 이어지는 80초 회복 페이즈에서, 요구되는 스팀 압력은 다음 분배 사이클의 시작 전에 잘 달성될 수 있다. 이 시나리오에서, 가열기로의 전력은 요구되는 파라미터, 예를 들어, 압력을 초과하는 스팀을 피하기 위해 꺼질 수 있다. 그러나, 용기는 완벽한 절연체가 아니므로, 일부 열 손실이 발생할 수 있고, 스팀은 원하는 파라미터에 머물러있지 않을 수 있다. 대안적으로, 가열기로의 전력이 유지될 수 있고, 필요한 파라미터, 예를 들어, 압력을 유지하기 위해 과잉 스팀이 경감, 예를 들어, 배기될 수 있다. 그러나, 이는 과잉 에너지를 소비하고 에너지 효율적이지 않다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 회복 페이즈 동안, 제어 시스템은 예를 들어 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 이용하여 가열기에 인가되는 전력을 제어하여, 필요한 파라미터가 다음 분배 페이즈의 시작 직전에 달성되게 할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 화학 기계적 연마 시스템의 연마 스테이션(20)의 예를 예시한다. 연마 스테이션(20)은, 상부에 연마 패드(30)가 위치하는 회전가능한 디스크-형상 플래튼(24)을 포함한다. 플래튼(24)은 축(25)을 중심으로 회전하도록(도 1b의 화살표 A 참조) 동작가능하다. 예를 들어, 모터(22)는, 구동 샤프트(28)를 회전시켜 플래튼(24)을 회전시킬 수 있다. 연마 패드(30)는, 외측 연마 층(34) 및 더 연성의 후면 층(32)을 갖는 2층 연마 패드일 수 있다.
연마 스테이션(20)은 연마액(38), 예를 들어, 연마 슬러리를 연마 패드(30) 상에 분배하기 위해, 예컨대, 슬러리 공급 암(39)의 단부에 공급 포트를 포함할 수 있다. 연마 스테이션(20)은 또한 연마 패드(30)의 표면 거칠기를 유지하기 위해 컨디셔너 디스크를 갖는 패드 컨디셔너를 포함할 수 있다.
캐리어 헤드(70)는, 연마 패드(30)에 맞닿게 기판(10)을 유지하도록 동작가능하다. 캐리어 헤드(70)는 지지 구조(72), 예를 들어, 캐러셀 또는 트랙으로부터 현수되며, 구동 샤프트(74)에 의해 캐리어 헤드 회전 모터(76)에 연결됨으로써 캐리어 헤드가 축(71)을 중심으로 회전할 수 있다. 선택적으로, 캐리어 헤드(70)는, 예를 들어, 트랙을 따른 운동에 의해 캐러셀 상의 슬라이더 상에서 측방향으로 진동하거나 또는 캐러셀 그 자체의 회전 진동에 의해 측방향으로 진동할 수 있다.
캐리어 헤드(70)는, 기판(10)의 후면과 접촉하기 위한 기판 장착 표면을 갖는 가요성 멤브레인(80), 및 기판(10) 상의 상이한 구역, 예를 들어 상이한 방사상 구역에 상이한 압력을 인가하기 위한 복수의 가압가능 챔버(82)를 포함할 수 있다. 캐리어 헤드(70)는 기판을 유지하기 위한 리테이닝 링(84)을 포함할 수 있다. 일부 구현에서, 리테이닝 링(84)은 연마 패드와 접촉하는 하부 플라스틱 부분(86), 및 더 경질의 재료, 예를 들어, 금속으로 이루어진 상부 부분(88)을 포함할 수 있다.
동작 시에, 플래튼은 그 중심 축(25)에 대하여 회전되고, 캐리어 헤드는 그 중심 축(71)에 대하여 회전되고(도 1b의 화살표 B 참조), 연마 패드(30)의 최상부 표면을 가로질러 측방향으로 병진된다(도 1b의 화살표 C 참조).
일부 구현에서, 연마 스테이션(20)은 연마 스테이션 내의/연마 스테이션의 컴포넌트 또는 연마 스테이션의 온도, 예를 들어, 연마 패드 상의 슬러리(38) 및/또는 연마 패드(30)의 온도를 모니터링하기 위한 온도 센서(64)를 포함한다. 예를 들어, 온도 센서(64)는 연마 패드(30) 위에 위치되고 연마 패드(30) 상의 슬러리(38) 및/또는 연마 패드의 온도를 측정하도록 구성된 적외선(IR) 센서, 예를 들어, IR 카메라일 수 있다. 특히, 온도 센서(64)는 방사상 온도 프로파일을 생성하기 위해 연마 패드(30)의 반경을 따라 다수의 지점에서 온도를 측정하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, IR 카메라는 연마 패드(30)의 반경에 걸쳐 있는 시야를 가질 수 있다.
일부 구현에서, 온도 센서는 비접촉 센서가 아니라 접촉 센서이다. 예를 들어, 온도 센서(64)는 플래튼(24) 상에 또는 플래튼(24)에 위치된 열전대 또는 IR 온도계일 수 있다. 또한, 온도 센서(64)는 연마 패드와 직접 접촉할 수 있다.
일부 구현에서, 다수의 온도 센서는 연마 패드(30)의 반경을 따라 다수의 지점에서의 온도를 제공하기 위해 연마 패드(30)에 걸쳐 상이한 방사상 위치에 이격 배치될 수 있다. 이 기술은 IR 카메라의 대안으로 또는 그에 추가하여 사용될 수 있다.
연마 패드(30) 및/또는 패드(30) 상의 슬러리(38)의 온도를 모니터링하도록 위치된 것으로 도 1a에 예시되지만, 온도 센서(64)는 기판(10)의 온도를 측정하기 위해 캐리어 헤드(70) 내부에 위치될 수 있다. 온도 센서(64)는 기판(10)의 반도체 웨이퍼와 직접 접촉(즉, 접촉 센서)할 수 있다. 일부 구현에서, 예를 들어, 연마 스테이션 내의/연마 스테이션의 상이한 컴포넌트의 온도를 측정하기 위해, 다수의 온도 센서가 연마 스테이션(22)에 포함된다.
연마 시스템(20)은 또한, 연마 패드 상의 슬러리(38) 및/또는 연마 패드(30)의 온도를 제어하기 위한 온도 제어 시스템(100)을 포함한다. 온도 제어 시스템(100)은 연마 패드(30)의 연마 표면(36) 상에(또는 연마 패드 상에 이미 존재하는 연마액 상에) 온도 제어된 매체인 스팀을 전달함으로써 동작하는 가열 시스템(104)을 포함한다. 특히, 매체는 예를 들어 스팀 생성기(410)(도 2a 참조)로부터의 스팀을 포함한다. 스팀은 다른 기체, 예를 들어 공기, 또는 액체, 예를 들어 가열된 물과 혼합될 수 있거나, 또는 매체는 실질적으로 순수한 스팀일 수 있다. 일부 구현에서, 첨가제 또는 화학물질이 스팀에 첨가된다.
가열 매체는, 열 전달 암 상의 애퍼처, 예를 들어, 하나 이상의 노즐에 의해 제공되는 예를 들어 홀 또는 슬롯을 통해 유동함으로써 전달될 수 있다. 애퍼처는 가열 매체의 공급원에 연결된 매니폴드에 의해 제공될 수 있다.
예시적인 가열 시스템(104)은 플래튼(24) 및 연마 패드(30) 위로 연마 패드(30)의 가장자리로부터 연마 패드의 중심까지 또는 적어도 중심 근처에(예를 들어, 연마 패드의 총 반경의 5% 이내) 연장되는 암(140)을 포함한다. 암(140)은 베이스(142)에 의해 지지될 수 있고, 베이스(142)는 플래튼(24)과 동일한 프레임(40) 상에 지지될 수 있다. 베이스(142)는, 하나 이상의 액추에이터, 예를 들어, 암(140)을 상승 또는 하강시키기 위한 선형 액추에이터, 및/또는 암(140)을 플래튼(24) 위에서 측방향으로 스윙시키기 위한 회전 액추에이터를 포함할 수 있다. 암(140)은 다른 하드웨어 컴포넌트, 예컨대, 연마 헤드(70), 패드 컨디셔닝 디스크(92), 및 슬러리 분배 암(39)과의 충돌을 회피하도록 위치된다.
다수의 개구(144)가 암(140)의 최하부 표면에 형성된다. 각각의 개구(144)는 기체 또는 증기, 예를 들어, 스팀을 연마 패드(30) 상으로 유도하도록 구성된다. 암(140)은, 개구(144)가 갭(126)에 의해 연마 패드(30)로부터 분리되도록 베이스(142)에 의해 지지될 수 있다. 갭(126)은 0.5 내지 5mm일 수 있다. 특히, 갭(126)은, 가열 유체가 연마 패드에 도달하기 전에 유체의 열이 현저히 소산되지 않도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 갭은, 개구로부터 방출된 스팀이 연마 패드에 도달하기 전에 응축되지 않도록 선택될 수 있다.
가열 시스템(104)은 스팀의 공급원, 예를 들어, 스팀 생성기(410)를 포함할 수 있다. 스팀 생성기(410)는 유체 전달 라인(146)에 의해 암(140) 내의 개구(144)에 연결되고, 이는, 배관, 가요성 튜브, 암(140)을 제공하는 중실 본체를 통한 통로, 또는 이들의 조합에 의해 제공될 수 있다.
스팀 생성기(410)는 물을 보유하는 용기(420), 및 용기(420) 내의 물에 열을 전달하는 가열기(430)를 포함한다. 전력은 전원(250)으로부터 가열기(430)에 전달될 수 있다. 센서(260)는 스팀의 물리적 파라미터, 예를 들어, 온도 또는 압력을 측정하기 위해 용기(420) 내에 또는 유체 전달 라인(146) 내에 위치될 수 있다.
일부 구현에서, 프로세스 파라미터, 예를 들어, 유량, 압력, 온도, 및/또는 액체 대 기체의 혼합 비율은 각각의 노즐에 대해 독립적으로 제어될 수 있다. 예를 들어, 각각의 개구(144)에 대한 유체는, 가열 유체의 온도, 예를 들어, 스팀의 온도를 독립적으로 제어하기 위해, 독립적으로 제어가능한 가열기를 통해 유동할 수 있다.
다양한 개구(144)는 스팀(148)을 연마 패드(30) 상의 상이한 방사상 구역(124) 상으로 유도할 수 있다. 인접한 방사상 구역은 중첩될 수 있다. 선택적으로, 개구(144) 중 일부는 그 개구로부터의 분무의 중심 축이 연마 표면(36)에 대해 빗각을 이루도록 배향될 수 있다. 스팀은, 플래튼(24)의 회전에 의해 야기되는 바와 같은 충돌의 영역에서의 연마 패드(30)의 운동의 방향에 반대되는 방향으로 수평 성분을 갖도록 개구(144) 중 하나 이상으로부터 유도될 수 있다.
도 1b는 개구(144)가 균등한 간격으로 이격된 것으로 예시하지만, 이는 필수적인 것은 아니다. 노즐(120)은, 방사상으로 또는 경사지게, 또는 둘 모두로 불균일하게 분포될 수 있다. 예를 들어, 개구(144)는 연마 패드(30)의 중심을 향해 더 조밀하게 군집될 수 있다. 다른 예로서, 개구(144)는 연마액(39)이 슬러리 전달 암(39)에 의해 연마 패드(30)에 전달되는 반경에 대응하는 반경에 더 조밀하게 군집될 수 있다. 또한, 도 1b는 9개의 개구를 예시하지만, 더 많거나 더 적은 수의 개구가 존재할 수 있다.
스팀(148)의 온도는 스팀이 생성될 때(예를 들어, 도 2a의 스팀 생성기(410)에서) 90 내지 200℃일 수 있다. 스팀의 온도는 스팀이 노즐(144)에 의해 분배될 때, 예를 들어, 수송 중 열 손실로 인해 90 내지 150℃일 수 있다. 일부 구현에서, 스팀은 70-100℃, 예를 들어, 80-90℃의 온도에서 노즐(144)에 의해 전달된다. 일부 구현에서, 노즐에 의해 전달되는 스팀은 과열되는데, 즉, (그 압력에 대해) 비등점을 초과한 온도에 있다.
스팀의 유량은 스팀이 노즐(144)에 의해 전달될 때 가열기 전력 및 압력에 따라 1-1000cc/분일 수 있다. 일부 구현에서, 스팀은 다른 기체와 혼합되는데, 예를 들어 정상 대기 또는 N2와 혼합된다. 대안적으로, 노즐(120)에 의해 전달되는 유체는 실질적으로 순수 물이다. 일부 구현에서, 노즐(120)에 의해 전달되는 스팀(148)은 액체 물, 예를 들어 에어로졸화된 물과 혼합된다. 예를 들어, 액체 물 및 스팀은 1:1 내지 1:10의 상대적인 유동 비율(예를 들어, sccm 단위의 유량을 가짐)로 조합될 수 있다. 그러나, 액체 물의 양이 낮은 경우, 예를 들어, 5 중량% 미만, 예를 들어, 3 중량% 미만, 예를 들어, 1 중량% 미만인 경우, 스팀은 우수한 열 전달 품질을 가질 것이다. 따라서, 일부 구현에서, 스팀은 건증기이고, 즉, 실질적으로 수적이 없다.
연마 시스템(20)은 또한 냉각 시스템, 예를 들어 냉각제 유체를 연마 패드 상에 분배하기 위한 애퍼처를 갖는 암, 고압 헹굼 시스템, 예를 들어 헹굼액을 연마 패드 상에 분무하기 위한 노즐을 갖는 암, 및 연마 패드(30)에 걸쳐 연마액(38)을 고르게 분배하기 위한 와이퍼 블레이드 또는 본체를 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 연마 시스템(20)은 또한 다양한 컴포넌트, 예를 들어 온도 제어 시스템(100)의 동작뿐만 아니라, 캐리어 헤드의 회전, 플래튼의 회전, 캐리어 헤드 내의 챔버에 의해 인가되는 압력 등을 제어하기 위한 제어 시스템(200)을 포함한다.
제어 시스템(200)은 온도 센서(64)로부터 패드 온도 측정치를 수신하도록 구성될 수 있다. 제어 시스템은 사이클마다(각각의 사이클은 전술한 바와 같은 회복 페이즈 및 분배 페이즈를 포함함) 스팀에 대한 목표 파라미터를 설정할 수 있는 제1 제어 루프(202)를 구현한다. 간략하게, 제어 루프(202)는 측정된 패드 온도를 목표 패드 온도와 비교하고, 피드백 신호를 생성할 수 있다. 피드백 신호는 목표 패드 온도에 도달하도록 스팀에 대한 수정된 목표 파라미터를 계산하는 데 사용된다. 예를 들어, 측정된 패드 온도가 이전 분배 페이즈에서 목표 패드 온도에 도달하지 않은 경우, 이때, 피드백 신호는 온도 제어 시스템(200)이 후속 분배 페이즈에서 연마 패드에 더 많은 열을 전달하게 할 것인 반면, 측정된 패드 온도가 이전 분배 페이즈에서 목표 패드 온도를 초과한 경우, 이때, 피드백 신호는 온도 제어 시스템(200)이 후속 분배 페이즈에서 연마 패드에 더 적은 열을 전달하게 할 것이다.
분배 페이즈로부터 분배 페이즈로 연마 패드에 전달되는 열의 양을 제어하기 위해, 여러 기술이 단독으로 또는 조합하여 이용될 수 있다. 첫째, 스팀이 전달되는 기간, 예를 들어 듀티 사이클은 (더 많은 열을 전달하기 위해) 증가되거나 (더 적은 열을 전달하기 위해) 감소될 수 있다. 둘째, 스팀이 전달되는 온도는 (더 많은 열을 전달하기 위해) 증가되거나 (더 적은 열을 전달하기 위해) 감소될 수 있다. 셋째, 스팀이 전달되는 압력 은(더 많은 열을 전달하기 위해) 증가되거나 (더 적은 열을 전달하기 위해) 감소될 수 있다.
따라서, 측정된 패드 온도가 목표 패드 온도에 도달하지 않았다면, 이때, 피드백 신호는 제어 루프(202)가 후속의 분배 페이즈에 대해 목표 스팀 온도, 압력 및/또는 듀티 사이클을 증가시키게 할 수 있다. 한편, 측정된 패드 온도가 이전의 분배 페이즈에서 목표 패드 온도를 초과하면, 이때, 피드백 신호는 제어 루프(202)가 목표 스팀 온도, 압력 및/또는 듀티 사이클을 감소시키게 할 것이다. 그 결과, 스팀의 파라미터 목표 값 r(t), 예를 들어, 압력 또는 온도에 대한 목표 값은 사이클마다 변할 수 있다. 일부 구현에서, 제어 루프는 사이클마다 동작하기보다는, 연마 패드(30)의 온도를 연속 기반으로 연속적으로 모니터링하고 연마가 진행됨에 따라 파라미터 목표 값 r(t)을 조정하면서, 연속적으로 동작할 수 있다.
파라미터 목표 값 r(t)은 제어 루프(202)로부터, 전원(250)에 의해 가열기(430)에 인가되는 전력을 제어하기 위한 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하는 비례 적분 미분(PID) 제어기(204)로 출력된다. PID 제어기(204)는 센서(260)에 연결되어, 파라미터, 예를 들어 온도 또는 압력의 측정치 Y(t)를 수신할 수 있다. PID 제어기(204)는 목표 파라미터 값이 다음 분배 페이즈의 시작 직전에 달성되도록 튜닝될 수 있다. 예를 들어, 목표 파라미터는 밸브가 개방되기 전에 180초 미만, 예를 들어 60초 미만, 예를 들어 30초 미만, 예를 들어 10초 미만, 예를 들어 3초 미만, 예를 들어 1초 미만에 도달될 수 있다.
PID 제어기(204)에서, 목표 파라미터 값 r(t)은 비교기(210)에 의해 센서(260)로부터 측정된 파라미터 값 Y(t)와 비교된다. 비교기는 차이에 기초하여 오차 신호 e(t)를 출력한다.
오차 신호는 제1 비례 출력(P)을 계산하는 비례값 계산기(212)에 입력된다. 비례 출력 P는 다음에 기초하여 계산될 수 있고:
Figure pct00001
여기서, KP는 튜닝 동안 설정된 가중치이다. 오차 신호 e(t)는 또한 제2 적분 출력 I를 계산하는 적분값 계산기(214)에 입력된다. 적분 출력(I)은 다음에 기초하여 계산될 수 있고:
Figure pct00002
여기서, KI는 튜닝 동안 설정된 가중치이다. 오차 신호 e(t)는 또한 3차 미분 출력 D를 계산하는 미분값 계산기(216)에 입력된다. 미분 출력 D는 다음에 기초하여 계산될 수 있고:
Figure pct00003
여기서, KD는 튜닝 동안 설정된 가중치이다.
비례 출력(P), 적분 출력(I) 및 미분 출력(D)은 합 계산기(218)에 의해 합산되어, 전원(250)에 의한 전력 출력을 가열기(430)로 설정하는 제어 신호(u(t))를 출력한다.
일반적으로, PID 제어기(204)를 튜닝할 때, KP를 가능한 한 낮게 유지하는 것이 바람직하다. 그 다음, KI 및 KD는 목표 파라미터 값이 다음 분배 페이즈의 시작 직전에 달성되도록 오버슈트 및 안정 시간에 기초하여 필요에 따라 증가될 수 있다. Cohen-Coon 방법, Ziegler-Nichols 방법, Tyreus-Luyben 방법 및 Autotune 방법과 같은 다양한 PID 튜닝 방법이 이용 가능하다. 일부 구현에서, 인가되는 열의 양은 밸브의 듀티 사이클이 일정하다는 가정 하에서 제어된다. 이 경우, 이득 값 KI, KP 및 KD은 사이클마다 변경될 필요가 없다. 그러나, 일부 구현에서, 듀티 사이클이 사이클마다 변하는 경우, 이때, 각각의 듀티 사이클에 대해 KI, KP 및 KD가 조정될 수 있다. 예를 들어, 일단 듀티 사이클이 계산되면, 이득 값은 이득 값 KI, KP, 및 KD를 듀티 사이클 백분율과 연관시키는 참조표에 기초하여 선택될 수 있다.
일부 구현에서, 가열기(430)에 의해 가해지는 열을 제어하기보다는, PID 제어기(204)는 스팀 생성기(410) 내의 용기로부터 압력을 방출할 수 있는 유량계 또는 밸브(270)를 제어할 수 있다. 이 경우, 유량계 또는 밸브는 스팀 압력을 목표 압력값으로 유지하기 위해 압력을 방출하도록 제어된다. 밸브로서 구현되는 경우, 밸브는 제어 신호 u(t)에 의존하는 듀티 사이클로 개방 및 폐쇄될 수 있다. 유량계로서 구현되는 경우, 제어 신호 u(t)는, 예를 들어, 애퍼처 크기를 조정함으로써 조정기를 통해 유량을 제어할 수 있다. 일부 구현에서, PID 제어기(204)는 밸브(438)를 제어할 수 있고, 이 경우 스팀은 암 내의 개구를 통해 배출된다.
제어 시스템(200) 및 그의 기능 동작은 디지털 전자 회로로, 유형적으로 구현된 컴퓨터 소프트웨어 또는 펌웨어로, 컴퓨터 하드웨어로, 또는 이들 중 하나 이상의 조합으로 구현될 수 있다. 컴퓨터 소프트웨어는 하나 이상의 컴퓨터 프로그램, 즉, 데이터 처리 장치의 프로세서에 의한 실행을 위하여, 또는 프로세서의 동작을 제어하기 위하여 유형의 비일시적 저장 매체 상에서 인코딩된 컴퓨터 프로그램 명령어의 하나 이상의 모듈로서 구현될 수 있다. 전자 회로 및 데이터 처리 장치는 범용 프로그램가능, 프로그램가능 디지털 프로세서, 및/또는 다수의 디지털 프로세서 또는 컴퓨터는 물론, 특수 목적 논리 회로, 예를 들어, FPGA(field programmable gate array) 또는 ASIC(application specific integrated circuit)를 포함할 수 있다.
제어 시스템이 특정 동작 또는 작용을 수행"하도록 구성"된다는 것은 시스템에 동작 시에 시스템으로 하여금 동작 또는 작용을 수행하게 하는 소프트웨어, 펌웨어, 하드웨어, 또는 이들의 조합이 설치되어 있다는 것을 의미한다. 하나 이상의 컴퓨터 프로그램이 특정 동작 또는 작용을 수행하도록 구성된다는 것은 하나 이상의 프로그램이, 데이터 처리 장치에 의해 실행될 때, 장치로 하여금 동작 또는 작용을 수행하게 하는 명령어를 포함한다는 것을 의미한다.
도 3a를 참조하면, 본 설명에 설명된 프로세스를 위한, 또는 화학 기계적 연마 시스템에서의 다른 이용을 위한 스팀은 스팀 생성기(410)를 이용하여 생성될 수 있다. 예시적인 스팀 생성기(410)는 내부 용적(425)을 둘러싸는 캐니스터(420)를 포함할 수 있다. 캐니스터(420)의 벽은 매우 낮은 수준의 무기 오염물을 갖는 단열 재료, 예를 들어 석영으로 제조될 수 있다. 대안적으로, 캐니스터의 벽은 다른 재료로 형성될 수 있는데, 예를 들어 캐니스터의 내부 표면은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 또는 다른 플라스틱으로 코팅될 수 있다. 일부 구현에서, 캐니스터(420)는 10-20 인치 길이 및 1-5 인치 폭일 수 있다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 일부 실시예에서, 캐니스터(420)의 내부 용적(425)은 배리어(426)에 의해 하부 챔버(422) 및 상부 챔버(424)로 분할된다. 배리어(426)는 캐니스터 벽과 동일한 재료, 예를 들어, 석영, 스테인리스강, 알루미늄, 또는 알루미나와 같은 세라믹으로 제조될 수 있다. 더 낮은 오염 위험의 관점에서 석영이 우수할 수 있다. 배리어(426)는 비등하는 물에 의해 비산된 수적을 차단함으로써 액체 물(440)이 상부 챔버(424)에 들어가는 것을 실질적으로 방지할 수 있다. 이는 건증기가 상부 챔버(424)에 축적되는 것을 허용한다.
배리어(426)는 하나 이상의 애퍼처(428)를 포함한다. 애퍼처(428)는 스팀이 하부 챔버(422)로부터 상부 챔버(424) 내로 지나가는 것을 허용한다. 애퍼처(428) - 그리고 특히, 배리어(426)의 가장자리 근처의 애퍼처(428) -는 상부 챔버(426) 내의 액체 함량을 감소시키고 액체가 물(440)로 재가열되는 것을 허용하기 위해, 상부 챔버(424)의 벽 상의 응축물이 하부 챔버(422) 내로 적하하는 것을 허용할 수 있다.
애퍼처(428)는 배리어(426)가 캐니스터(420)의 내측 벽과 만나는 배리어(426)의 가장자리에, 예를 들어 가장자리에만 위치될 수 있다. 애퍼처(428)는 배리어(426)의 가장자리 근처에, 예를 들어, 배리어(426)의 가장자리와 배리어(426)의 중심 사이에 위치될 수 있다. 이러한 구성은, 배리어(426)가 중심에 애퍼처가 없고, 따라서 액체 수적이 상부 챔버에 들어가는 위험을 감소시키면서, 상부 챔버(424)의 측벽 상의 응축물이 상부 챔버 밖으로 유동하는 것을 여전히 허용한다는 점에서 유리할 수 있다.
그러나, 일부 구현에서, 애퍼처는 또한 가장자리로부터 떨어져, 예를 들어 배리어(426)의 폭에 걸쳐, 예를 들어 배리어(425)의 영역에 걸쳐 균일하게 이격되어 위치된다.
도 3a를 참조하면, 물 유입구(432)가 캐니스터(420)의 하부 챔버(422)에 물 저장소(434)를 연결할 수 있다. 물 유입구(432)는 하부 챔버(422)에 물(440)을 제공하기 위해 캐니스터(420)의 최하부에 또는 최하부 근처에 위치될 수 있다.
하나 이상의 가열 요소(430)가 캐니스터(420)의 하부 챔버(422)의 일부를 둘러쌀 수 있다. 가열 요소(430)는 예를 들어 캐니스터(420)의 외부 주위에 감긴 가열 코일, 예를 들어 저항성 가열기일 수 있다. 가열 요소는 또한 캐니스터의 측벽의 재료 상에 박막 코팅에 의해 제공될 수 있고, 전류가 인가되면, 이때, 이 박막 코팅은 가열 요소로서 기능할 수 있다.
가열 요소(430)는 또한 캐니스터(420)의 하부 챔버(422) 내에 위치될 수 있다. 예를 들어, 가열 요소는 가열 요소로부터의 오염물, 예를 들어, 금속 오염물이 스팀 안으로 이동하는 것을 방지하는 재료로 코팅될 수 있다.
가열 요소(430)는 최소 수위(443a)까지 캐니스터(420)의 최하부 부분에 열을 인가할 수 있다. 즉, 가열 요소(430)는 과열을 방지하고 불필요한 에너지 지출을 감소시키기 위해 최소 수위(443a) 미만인 캐니스터(420)의 부분을 덮을 수 있다.
스팀 배출구(436)는 상부 챔버(424)를 스팀 전달 통로(438)에 연결할 수 있다. 스팀 전달 통로(438)는 캐니스터(420)의 최상부에 또는 최상부 근처에, 예를 들어 캐니스터(420)의 천장에 위치되어, 스팀이 캐니스터(420)로부터 스팀 전달 통로(438) 내로, 그리고 CMP 장치의 다양한 컴포넌트로 전달될 수 있게 한다. 스팀 전달 통로(438)는, 예를 들어, 캐리어 헤드(70), 기판(10), 및 패드 컨디셔너 디스크(92)의 스팀 세정 및 예열을 위해, 화학 기계적 연마 장치의 다양한 영역을 향해 스팀을 이동시키는 데 이용될 수 있다.
일부 구현에서, 스팀(446) 내의 오염물을 감소시키도록 구성된 필터(470)가 스팀 배출구(438)에 결합된다. 필터(470)는 이온-교환 필터일 수 있다.
물(440)은 물 저장소(434)로부터 물 유입구(432)를 통해 하부 챔버(422) 내로 유동할 수 있다. 물(440)은 적어도 가열 요소(430) 위에 그리고 배리어(426) 아래에 있는 수위(442)까지 캐니스터(420)를 채울 수 있다. 물(440)이 가열됨에 따라, 기체 매체(446)가 생성되고 배리어(426)의 애퍼처(428)를 통해 상승한다. 애퍼처(428)는 스팀이 상승하는 것을 허용하고, 동시에 응축물이 통과하는 것을 허용하여, 물이 실질적으로 액체가 없는(예를 들어, 스팀 내에 현탁된 액체 수적을 갖지 않는) 스팀인 기체 매체(446)를 생성한다.
일부 구현에서, 수위는 바이패스 튜브(444)에서 수위(442)를 측정하는 수위 센서(460)를 사용하여 결정된다. 바이패스 튜브는 캐니스터(420)와 병렬로 물 저장소(434)를 스팀 전달 통로(438)에 연결한다. 수위 센서(460)는 수위(442)가 바이패스 튜브(444) 내의, 및 그에 따라 캐니스터(420) 내의 어디에 있는지를 표시할 수 있다. 예를 들어, 수위 센서(444) 및 캐니스터(420)는 동일하게 가압되고(예를 들어, 둘 다 동일한 물 저장소(434)로부터 물을 수용하고 둘 다 최상부에서 동일한 압력을 가지며, 예를 들어 둘 다 스팀 전달 통로(438)에 연결됨), 따라서 수위 센서(442)는 수위 센서와 캐니스터(420) 사이에서 동일하다. 일부 실시예에서, 수위 센서(444)의 수위(442)는 그렇지 않으면 캐니스터(420)의 수위(442)를 표시할 수 있는데, 예를 들어 수위 센서(444)의 수위(442)는 캐니스터(420)의 수위(442)를 표시하도록 스케일링된다.
동작시, 캐니스터 내의 수위(442)는 최소 수위(443a)를 초과하고 최대 수위(443b) 미만이다. 최소 수위(443a)는 적어도 가열 요소(430) 위에 있고, 최대 수위(443b)는 스팀 배출구(436) 및 배리어(426)의 충분히 아래에 있으며, 이에 따라 기체 매체(446), 예를 들어 스팀이 캐니스터(420)의 최상부 근처에 축적될 수 있게 하도록 충분한 공간이 제공되고, 여전히 액체 물은 실질적으로 없다.
일부 구현에서, 제어기(200)는 물 유입구(432)를 통한 유체 흐름을 제어하는 밸브(480), 스팀 배출구(436)를 통한 유체 흐름을 제어하는 밸브(482), 및/또는 수위 센서(460)에 결합된다. 수위 센서(460)를 사용하여, 제어기(200)는 캐니스터(420) 내로 들어가는 물(440)의 흐름을 조절하고 캐니스터(420)를 떠나는 기체(446)의 흐름을 조절하여 최소 수위(443a) 위에(및 가열 요소(430) 위에), 그리고 최대 수위(443b) 아래에(그리고 배리어(426)가 있다면 배리어(426) 아래에) 있는 수위(442)를 유지하도록 구성된다. 제어기(200)는 또한 캐니스터(420) 내의 물(440)에 전달되는 열의 양을 제어하기 위해 가열 요소(430)를 위한 전원(250)에 결합될 수 있다.
패드 온도의 측정 및 패드 상으로의 스팀의 전달이 설명되지만, 이는 패드 상의 슬러리의 측정 또는 패드 상의 슬러리 상으로의 스팀의 전달을 포함하는 것으로 이해하여야 한다.
본 발명의 다수의 실시예가 설명되었다. 그럼에도 불구하고, 본 발명의 사상 및 범위에서 벗어남이 없이 다양한 수정이 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 따라서, 다른 실시예가 다음의 청구범위의 범위 내에 있다.

Claims (19)

  1. 화학 기계적 연마 시스템으로서,
    연마 패드를 지지하기 위한 플래튼;
    상기 연마 패드와 접촉하게 기판을 유지하기 위한 캐리어 헤드;
    상기 플래튼과 상기 캐리어 헤드 사이의 상대 운동을 생성하기 위한 모터;
    스팀을 생성하기 위해 하부 챔버의 일부에 열을 인가하도록 구성된 가열 요소, 및 물 유입구 및 스팀 배출구를 갖는 용기를 포함하는 스팀 생성기;
    상기 플래튼 위로 연장되고, 상기 스팀 생성기로부터의 스팀을 상기 연마 패드 상에 전달하도록 배향된 적어도 하나의 개구를 갖는 암;
    상기 개구와 상기 스팀 배출구를 제어가능하게 연결하고 분리하기 위해 상기 개구와 상기 스팀 배출구 사이의 유체 라인에 있는 제1 밸브;
    스팀 파라미터를 모니터링하는 센서; 및
    상기 센서, 상기 밸브 및 선택적으로 상기 가열 요소에 결합된 제어 시스템을 포함하고, 상기 제어 시스템은
    비일시적 저장 디바이스에 데이터로서 저장된 연마 프로세스 레시피의 스팀 전달 스케줄에 따라 상기 밸브가 개방 및 폐쇄되게 하고,
    상기 센서로부터 상기 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고,
    상기 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고,
    상기 스팀 전달 스케줄에 따라 상기 밸브가 개방되기 실질적으로 직전에 상기 측정된 값이 상기 목표 값에 도달하도록 상기 제1 밸브 및/또는 제2 압력 해제 밸브 및/또는 상기 가열 요소를 제어하기 위해 상기 목표 값 및 상기 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스팀 파라미터는 스팀 온도이고, 상기 측정된 값은 측정된 스팀 온도 값이고, 상기 목표 값은 목표 스팀 온도 값인, 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 스팀 파라미터는 스팀 압력이고, 측정된 값은 측정된 스팀 압력 값이고, 목표 값은 목표 스팀 압력 값인, 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제어기는, 상기 스팀 전달 스케줄에서의 전달 기간 이외의 시간 동안 상기 밸브를 제어하기 위해 상기 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어기는 상기 가열 요소를 제어하기 위해 상기 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정된 값이 상기 밸브가 개방되기 전 10초 미만에 상기 목표 값에 도달하도록 상기 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제어기는, 상기 측정된 값이 상기 밸브가 개방되기 전 3초 미만에 상기 목표 값에 도달하도록, 상기 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정된 값이 상기 밸브가 개방되기 전 1초 미만에 목표 값에 도달하도록 상기 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 상기 용기의 수위를 모니터링하는 수위 센서를 포함하고, 상기 제어기는 상기 수위 센서로부터 신호를 수신하도록, 그리고, 상기 용기 내의 수위를 상기 가열 요소 위에 그리고 상기 스팀 배출구 아래에 유지하기 위해 상기 수위 센서로부터의 상기 신호에 기초하여 상기 물 유입구를 통한 물의 유량을 수정하도록 구성되는, 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제어기는 사이클의 분배 페이즈 동안 상기 밸브를 개방하도록 구성되고, 상기 사이클의 회복 페이즈 동안 상기 밸브를 폐쇄하도록 구성되는, 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 각각의 사이클은 단일 기판의 연마에 대응하는, 시스템.
  12. 제10항에 있어서, 각각의 사이클은 단일 분배 페이즈 및 단일 회복 페이즈로 구성되는, 시스템.
  13. 제10항에 있어서, 상기 연마 패드의 온도를 측정하기 위한 온도 센서 위치를 더 포함하는, 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제어기는 상기 센서로부터 상기 연마 패드의 온도를 나타내는 신호를 수신하고, 상기 신호에 기초하여 상기 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 설정하도록 구성되는, 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제어기는 사이클마다 상기 목표 값을 설정하도록 구성되는, 시스템.
  16. 제14항에 있어서, 상기 제어기는 사이클을 통해 연속 기반으로 상기 목표 값을 설정하도록 구성되는, 시스템.
  17. 화학 기계적 연마 시스템으로서,
    연마 패드를 지지하기 위한 플래튼;
    상기 연마 패드와 접촉하게 기판을 유지하기 위한 캐리어 헤드;
    상기 플래튼과 상기 캐리어 헤드 사이의 상대 운동을 생성하기 위한 모터;
    스팀을 생성하기 위해 하부 챔버의 일부에 열을 인가하도록 구성된 가열 요소, 및 물 유입구 및 스팀 배출구를 갖는 용기를 포함하는 스팀 생성기;
    상기 스팀 생성기로부터의 스팀을 상기 연마 패드 상에 전달하도록 배향된 적어도 하나의 개구를 갖는 상기 플래튼 위로 연장되는 암;
    상기 개구와 상기 스팀 배출구 사이의 유체 라인에 있으며, 상기 개구와 상기 스팀 배출구를 제어가능하게 연결하고 분리하는 제1 밸브;
    상기 제1 밸브와 상기 스팀 배출구 사이의 상기 유체 라인 내의 제2 밸브 또는 흐름 조절기 - 상기 제2 밸브는 상기 용기로부터 압력을 제어가능하게 방출하도록 구성됨 -;
    스팀 파라미터를 모니터링하는 센서; 및
    상기 센서, 상기 밸브 및 선택적으로 상기 가열 요소에 결합된 제어 시스템을 포함하고, 상기 제어 시스템은
    비일시적 저장 디바이스에 데이터로서 저장된 연마 프로세스 레시피 내의 스팀 전달 스케줄에 따라 상기 제1 밸브가 개방 및 폐쇄되게 하고,
    상기 센서로부터 상기 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고,
    상기 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고,
    상기 밸브가 상기 스팀 전달 스케줄에 따라 개방되기 실질적으로 직전에 상기 측정된 값이 상기 목표 값에 도달하도록 상기 제2 밸브를 제어하기 위해, 상기 목표 값 및 상기 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 화학 기계적 연마 시스템.
  18. 스팀 생성 조립체로서,
    스팀을 생성하기 위해 하부 챔버의 일부에 열을 인가하도록 구성된 가열 요소, 및 물 유입구 및 스팀 배출구를 갖는 용기를 포함하는 스팀 생성기;
    스팀 배출구를 개구에 제어가능하게 연결하고 개구로부터 분리하기 위한, 상기 스팀 배출구로부터의 유체 라인 내의 제1 밸브;
    스팀 파라미터를 모니터링하는 센서; 및
    상기 센서, 상기 밸브 및 선택적으로 상기 가열 요소에 결합된 제어 시스템을 포함하고, 상기 제어 시스템은
    비일시적 저장 디바이스에 데이터로서 저장된 연마 프로세스 레시피의 스팀 전달 스케줄에 따라 상기 밸브가 개방 및 폐쇄되게 하고,
    상기 센서로부터 상기 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고,
    상기 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고,
    상기 측정된 값이 실질적으로 상기 밸브가 상기 스팀 전달 스케줄에 따라 개방되기 직전에 상기 목표 값에 도달하도록 상기 제1 밸브 및/또는 제2 압력 해제 밸브 및/또는 상기 가열 요소를 제어하기 위해, 상기 목표 값 및 상기 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하도록 구성되는, 스팀 생성 조립체.
  19. 명령어를 갖는 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품으로서, 상기 명령어는 하나 이상의 프로세서로 하여금,
    비일시적 저장 디바이스에 데이터로서 저장된 연마 프로세스 레시피에 액세스하고;
    스팀 생성 디바이스의 배출구와 개구 사이의 제1 밸브가 상기 스팀 전달 스케줄에 따라 개방 및 폐쇄되게 하고;
    센서로부터 상기 스팀 생성 디바이스 내의 스팀의 스팀 파라미터에 대한 측정된 값을 수신하고;
    상기 스팀 파라미터에 대한 목표 값을 수신하고,
    상기 측정된 값이 실질적으로 상기 밸브가 상기 스팀 전달 스케줄에 따라 개방되기 직전에 상기 목표 값에 도달하도록 상기 제1 밸브 및/또는 제2 압력 해제 밸브 및/또는 상기 가열 요소를 제어하기 위해, 상기 목표 값 및 상기 측정된 값을 입력으로서 이용하여 비례 적분 미분 제어 알고리즘을 수행하게 하는, 컴퓨터 프로그램 제품.
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