JP2009527716A - 蒸気を送達するシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 外部システムへ蒸気を送達する方法であって、
格納容器内に液体を入れることであって、前記液体は、蒸気を形成するために前記格納容器内で蒸発する、ことと、
前記格納容器内の圧力を気圧より低く減圧することと、
前記格納容器内の前記圧力を圧力感知器で感知することと、
所望レベルを下回る前記感知された圧力に応じて、前記液体を加熱することと、
前記外部システムへ前記蒸気を送達することと
を含む、方法。 - 前記減圧することは、前記格納容器内の前記圧力を、20トルから150トルの圧力まで減圧することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記格納容器内部の前記圧力を、実質的に定圧に維持することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記液体は、液体の水である、請求項1に記載の方法。
- 前記感知された圧力を示す信号を制御器に送信し、前記液体に加えられる熱量を増加させるために、制御信号を前記制御器から加熱器に送信することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記格納容器内の前記圧力と前記所望圧力との差に比例する、制御信号を前記加熱器に送信することを含む、請求項5に記載の方法。
- 機械的手段により実質的に攪拌されていない状態で、前記液体を維持することを含む、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの障壁を用いて、飛散した液体の少なくとも一部が前記格納容器の蒸気排出管に流入することを防ぐことを含む、請求項1に記載の方法。
- 蒸気送達システムであって、
液体および前記液体からの蒸気を含有するように適合されたチャンバであって、前記チャンバは、前記チャンバ内の圧力が気圧より低く減圧されるように、前記チャンバを減圧器と連結させるように構成されたポートを含む、チャンバと、
前記蒸気を前記チャンバから排出できるように、前記チャンバに対して配置された蒸気排出部と、
前記チャンバ内の前記圧力を測定するために、前記チャンバ内にあり、前記液体の外側に配置された圧力感知器であって、前記感知器は、前記チャンバ内の前記圧力を示す信号を提供するように構成される、圧力感知器と、
前記チャンバに連結され、前記液体に熱を加えることができるように配置された加熱器と、
前記圧力感知器および前記加熱器に連結された制御回路であって、前記制御回路は、前記チャンバの前記圧力の低下を示す前記信号に応じて、前記加熱器によって前記液体に加えられる熱量を増加させるように構成される、制御回路と
を含む、システム。 - 前記制御回路は、比例積分微分(PID)制御回路である、請求項9に記載のシステム。
- 前記液体は液体の水であり、前記蒸気は水蒸気である、請求項9に記載のシステム。
- 前記チャンバは、前記蒸気排出部に流入する前記液体の量を減少させることができるように構成および配置されたバッフルを含む、請求項9に記載のシステム。
- 工程環境から望ましくない構成要素を軽減する方法であって、
格納容器内に液体を入れることであって、前記液体の蒸気は、前記望ましくない構成要素と組み合わすことができる、ことと、
前記格納容器内の圧力を気圧より低く減圧することと、
前記チャンバ内の前記圧力を圧力感知器で感知することと、
前記気圧より低い前記チャンバ内の圧力を維持しながら、前記チャンバ内の前記蒸気の望ましい量を維持できるように、前記感知された圧力に応じて前記液体に加えられる熱量を調節することと、
前記望ましくない構成要素を減少させるために、前記蒸気を活用する軽減システムへ前記蒸気を送達することと
を含む、方法。 - 前記工程環境は、半導体製造工程環境である、請求項13に記載の方法。
- 前記液体は液体の水である、請求項13に記載の方法。
- 前記液体に加えられる熱量を調節することは、PID制御器で熱量を調節することを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記減圧することは、前記工程環境内における半導体製造に関連しても活用される減圧器で、前記チャンバ内の前記圧力を減圧することを含む、請求項13に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/355,617 US7547005B2 (en) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | System and method for delivering vapor |
PCT/US2007/006720 WO2008027079A2 (en) | 2006-02-16 | 2007-02-16 | System and method for delivering vapor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009527716A true JP2009527716A (ja) | 2009-07-30 |
Family
ID=38367552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008555426A Pending JP2009527716A (ja) | 2006-02-16 | 2007-02-16 | 蒸気を送達するシステムおよび方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7547005B2 (ja) |
EP (1) | EP1993713A4 (ja) |
JP (1) | JP2009527716A (ja) |
KR (1) | KR20080096684A (ja) |
CN (1) | CN101473131A (ja) |
TW (1) | TW200848664A (ja) |
WO (1) | WO2008027079A2 (ja) |
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2007
- 2007-02-16 WO PCT/US2007/006720 patent/WO2008027079A2/en active Application Filing
- 2007-02-16 CN CNA2007800092317A patent/CN101473131A/zh active Pending
- 2007-02-16 JP JP2008555426A patent/JP2009527716A/ja active Pending
- 2007-02-16 EP EP07852354A patent/EP1993713A4/en not_active Withdrawn
- 2007-02-16 KR KR1020087021356A patent/KR20080096684A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-06-11 TW TW096121077A patent/TW200848664A/zh unknown
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CN101473131A (zh) | 2009-07-01 |
TW200848664A (en) | 2008-12-16 |
WO2008027079A2 (en) | 2008-03-06 |
KR20080096684A (ko) | 2008-10-31 |
US7547005B2 (en) | 2009-06-16 |
WO2008027079A3 (en) | 2009-03-05 |
EP1993713A2 (en) | 2008-11-26 |
EP1993713A4 (en) | 2009-12-23 |
US20070187850A1 (en) | 2007-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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