JP2011124548A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板を露光する露光装置であって、
   基板を保持し、ＸＹＺ座標におけるＸＹ平面上の第１位置から前記ＸＹ平面上の第２位置に至る第１経路を移動可能な基板ステージと、
   基板を保持して前記ＸＹ平面上の第３位置から前記第２位置に至る第２経路を移動可能な搬送アームと、
   前記基板ステージに配置され、前記第２位置で前記搬送アームとの間で基板を受け渡しするために、前記ＸＹＺ座標におけるＺ軸の方向に沿って昇降可能な昇降部材と、
   制御部と、を備え、
   昇降動作中の前記昇降部材によって保持されている基板と前記搬送アームとの衝突及び昇降動作中の前記昇降部材と前記搬送アームに保持されている基板との衝突を避けるために必要な前記基板ステージと前記搬送アームとの前記ＸＹ平面における間隔をａとするとき、
   前記制御部は、前記搬送アームとの間で基板を受け渡しするために開始された前記昇降部材による昇降動作が終了する時点で、前記第２位置に向け移動を開始した前記基板ステージが前記第２位置より前記第１経路において前記間隔ａだけ手前側の第４位置に到着するか否かを判断し、前記基板ステージが前記第４位置に到着しないと判断したならば、前記昇降部材による昇降動作の終了よりも前に前記搬送アームが前記第２位置に向けて移動を開始するように前記基板ステージの移動、前記昇降部材の昇降及び前記搬送アームの移動を制御することを特徴とする露光装置。
2. 前記制御部は、前記判断において、前記基板ステージが前記第４位置に到着しないと判断した場合に、前記搬送アームが前記基板ステージと同時又はそれよりも早く前記第２位置に到着するように前記基板ステージの移動、前記昇降部材の昇降及び前記搬送アームの移動を制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記制御部は、前記判断において、前記基板ステージが前記第４位置に到着すると判断したならば、前記昇降部材による昇降動作が終了する時点において、前記第２位置に向けて移動を開始した前記搬送アームと前記第２位置に向けて移動を開始した前記基板ステージとの前記ＸＹ平面における間隔が前記間隔ａよりも大きくなるように前記基板ステージの移動、前記昇降部材の昇降及び前記搬送アームの移動をさらに制御することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
4. 前記第１位置は、前記基板ステージに保持された基板に対する露光処理が終了した状態または計測処理が終了した状態の当該基板ステージの位置であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. デバイスを製造する方法であって、
   請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記露光された基板を現像する工程と、
   を含む方法。