JP2011105569A - グラフェン薄膜の製膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化グラフェン粉末を液体中に分散させた分散液を基板20に塗布し、液体を除去して、酸化グラフェン薄膜10を基板20上に形成し、この酸化グラフェン薄膜10の上に金属21を接触させて、金属21を加熱溶融することによって、酸化グラフェン薄膜21を還元し、グラフェン薄膜を得る。ここで、酸化グラフェンは、酸化グラファイトを単層に剥離することによって得られることが好ましい。また、金属21がGa、In、Zn、Cd、Sn、Pb、Biの金属元素、及びこれらの金属元素の合金であることが好ましい。
【選択図】図3
Description
この方法は、グラファイト単結晶を粘着テープによって剥離し、数十層のグラフェン積層体を粘着テープに転写する。粘着テープに転写されたグラフェン積層体を注意深くSiO2/Si基板上に擦り付けることで、ランダムにグラフェン及び2層以上のグラフェン積層膜がSiO2/Si基板に製膜される。
非特許文献3では、以下に述べる塗布法を用いてグラフェン薄膜を作製している。
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酸化グラフェン粉末を液体中に分散させた分散液を基板に塗布し、液体を除去して、酸化グラフェン薄膜を基板上に形成し、この酸化グラフェン薄膜の上に金属を接触させて、金属を加熱溶融することによって、酸化グラフェン薄膜を還元し、グラフェン薄膜を得ることとする。ここで、酸化グラフェンは、酸化グラファイトを単層に剥離することによって得られることが好ましい。また、金属がGa、In、Zn、Cd、Sn、Pb、Biの金属元素、及びこれらの金属元素の合金であることが好ましい。
グラフェン薄膜は、厚さが10nm以下の積層膜であることが好ましい。グラフェン薄膜の膜厚が10nmを超えると、グラフェン薄膜の透明性を確保することが困難になり、透明導電膜として用いることが困難になる。10nmを層数に換算すると、約30層程度になる。また、グラフェン薄膜が薄くなれば透過率は向上するが、シート抵抗が上がってしまうので、下限は5nm程度である。
図1ないし図5に、本発明の実施例を工程順に示す。なお、図1ないし図5は模式図である。
このインジウムの溶融は、156℃にまで加熱すると開始され、図4に示すように基板一面に濡れ、効果によって酸化グラフェン10の酸素の結合が切れ、金属21であるインジウムに吸収されることによって還元が行われる。
加熱温度を0℃から600℃まで変化させると、インジウムが融解する156℃を超えた、200℃から還元の効果が見られ、特に200℃から300℃
にかけて、導電率が飛躍的に向上し、加熱温度が500℃付近で、導電率は5000S/cmに達している。
加熱時間を3時間とすると、透明導電膜に必要な導電率である、5000S/cmが得られる。その後加熱時間を延ばしでも、ほほ導電率は飽和している。
また、グラフェン薄膜をシリコンデバイスに適用する場合には、600℃以下の温度で、ごく短時間加熱すればよいことが、図6、図7の結果より類推される。
また、300℃以下での低温プロセスでもグラフェン薄膜を形成できるようになったので、太陽電池用の透明導電膜に適用できる可能性が高まった。
11:グラフェン
20:基板
21:金属
22:酸化グラフェン分散液
Claims (8)
- 酸化グラフェン粉末を液体中に分散させた分散液を基板に塗布し、液体を除去して、酸化グラフェン薄膜を基板上に形成し、この酸化グラフェン薄膜の上に金属を接触させて、金属を加熱溶融することによって、酸化グラフェン薄膜を還元し、グラフェン薄膜を得ることを特徴とするグラフェン薄膜の製膜方法。
- 酸化グラフェンは、酸化グラファイトを単層に剥離することによって得られることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- 金属がGa、In、Zn、Cd、Sn、Pb、Biの金属元素、及びこれらの金属元素の合金であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- 前記加熱の温度が、600℃以下で200℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- 前記加熱の温度が、300℃以下で200℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- 前記加熱の温度が、300℃以下で200℃以上であり、加熱時間が3時間以上で6時間以下であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- 加熱が、10-3Pa以下の真空中で行われることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
- グラフェン薄膜は、厚さが10nm以下で5nm以上の積層膜であることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製膜方法。
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