JP2011100882A - シャワーヘッド、シャワーヘッド製造方法、およびシャワーヘッド再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に上部板10と下部板12との間に介在して上部板10と下部板12とを互いに接合する熱融着シート11を備えるシャワーヘッドとする。前記上部板10,前記下部板12および前記熱融着シート11は、それぞれ複数の貫通孔13,14,15を有し、前記熱融着シート11に形成された複数の貫通孔15は、それぞれ前記上部板および前記下部板に形成された複数の貫通孔13,14よりも大きな径を有することが好ましい。
【選択図】図2
Description
また、この発明は、このようなシャワーヘッドを製造する方法および再生する方法にも関している。
また、この発明は、このようなシャワーヘッドを製造する方法および再生する方法を提供することも目的としている。
また、前記上部板、前記熱融着シート、および前記下部板を積層し、前記熱融着シートの熱融着により前記上部板と前記下部板とを互いに接合した後に前記複数の噴出孔を形成することもできる。
ここで、使用済みの前記シャワーヘッドが加熱され前記上部板と前記下部板とに互いに分離された後、再利用される前記他方の上部板または下部板は洗浄により再利用に供され、新たな前記一方の上部板または下部板と接合されてもよい。
シャワーヘッド保持部材5の下側には、ガス供給室6の下面を覆うようにシャワーヘッド1が取り付けられている。シャワーヘッド1には、その上面から下面に貫通する複数の噴出孔7が形成されており、ガス供給室6から供給される反応ガスが複数の噴出孔7を介してシャワーヘッド1の下方に噴出される。また、シャワーヘッド1は導電性の材料で形成された上部電極を有し、シャワーヘッド1の下方にプラズマ発生空間Pが形成される。
上部板10は、導電性を有する材料で形成されてシャワーヘッド保持部材5を介して高周波電源9と接続されており、保持台8の下部電極と対をなす上部電極として機能する。上部板10を形成する導電性を有する材料としては、例えば、シリコン(Si)、金属基複合材料(MMC)、炭化ケイ素(SiC)等が利用できる。上部板10には、シャワーヘッド1に形成される複数の噴出孔7に対応して、上面から下面に貫通する複数の貫通孔13が形成されている。なお、上部板10に形成される複数の貫通孔13の径は、2〜0.5mmであるのが好ましい。
下部板12は、プラズマに対する耐食性を有しパーティクルの発生の少ない材料で形成され、例えば、炭化ケイ素(SiC)、酸化イットリウム(Y2O3)等が利用できる。下部板12には、シャワーヘッド1に形成される複数の噴出孔7に対応して、上面から下面に貫通する複数の貫通孔14が形成されており、その複数の貫通孔14の径は、例えば、0.5mm程度であるのが好ましい。
また、このようにして熱融着されたシャワーヘッド1は、同じように300〜350℃で加熱することで熱融着シート11を溶融または軟化させることにより、上部板10および下部板12から熱融着シート11を取り外すことができる。
このような構成を有するシャワーヘッド1は、図3に示すように、シャワーヘッド1の上部板10を上面にしてガス供給室6の下面を覆うように取り付けられ、上部板10と高周波電源9とがシャワーヘッド保持部材5を介して接続されている。ガス供給源からガス供給室6に供給された反応ガスは、シャワーヘッド1に形成された複数の噴出孔7を介してシャワーヘッド1の下方に噴出される。
続いて、減圧装置によりガス排気口4から真空チャンバ2内の空気が排気され、真空チャンバ2内が所定の真空度になると、反応ガスがガス供給源からガス供給室6に供給される。減圧装置は、真空チャンバ2内の排気を調整し、反応ガスが供給されても真空チャンバ2内が所定の真空度になるよう調節している。
基板Sの表面が、このようにして発生したプラズマに曝され、基板Sにプラズマ処理が施される。
例えば、シャワーヘッド保持部材5からシャワーヘッド1を取り外し、300〜350℃で熱融着シート11が溶融または軟化するまで加熱処理を行い、上部板10と下部板12とを互いに分離する。続いて、腐食された下部板12を新しいものと交換し、洗浄された上部板10、新たな熱融着シート11、および新たな下部板12を積層して、300〜350℃で10〜20分間の加熱処理を行い、熱融着シート11の熱融着により再利用された上部板10と新たな下部板12とを互いに接合してシャワーヘッド1を再生させることができる。
また、シャワーヘッド1の上部板10も反応ガスに長時間に亘って曝され続けることで腐食されるおそれがあるが、このような場合であっても、同様にして、剥離可能な熱融着シート11により、腐食された上部板10のみを交換し使用可能な下部板12を再利用してシャワーヘッド1を再生させることができる。
なお、本実施形態の使用可能な他方の上部板10または下部板12は、洗浄することにより再利用に供されているが、他方の上部板10または下部板12から熱融着シート11などの付着物を除去できればよく、例えば、その表面を掻き取るまたは研磨するなどして再利用に供してもよい。
Claims (7)
- ガス供給源から供給されたガスを複数の噴出孔を介してプラズマ発生空間に噴出すると共に噴出されたガスにプラズマ発生のための電圧を印加する電極として機能するシャワーヘッドであって、
導電性を有する上部板と、
プラズマに対する耐食性を有する下部板と、
ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に前記上部板と前記下部板との間に介在して前記上部板と前記下部板とを互いに接合する熱融着シートと
を備えたことを特徴とするシャワーヘッド。 - 前記上部板、前記下部板および前記熱融着シートは、それぞれ前記複数の噴出孔に対応した複数の貫通孔を有し、
前記熱融着シートに形成された複数の貫通孔は、それぞれ前記上部板および前記下部板に形成された複数の貫通孔よりも大きな径を有することを特徴とする請求項1に記載のシャワーヘッド。 - ガス供給源から供給されたガスを複数の噴出孔を介してプラズマ発生空間に噴出すると共に噴出されたガスにプラズマ発生のための電圧を印加する電極として機能するシャワーヘッドを製造するシャワーヘッド製造方法であって、
導電性を有する上部板とプラズマに対する耐食性を有する下部板とをこれらの間にヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成される熱融着シートを介在させて積層し、
前記熱融着シートの熱融着により前記上部板と前記下部板とを互いに接合させることを特徴とするシャワーヘッド製造方法。 - 前記複数の噴出孔に対応した複数の貫通孔を前記上部板、前記熱融着シート、および前記下部板のそれぞれに形成した後、それぞれに形成された複数の貫通孔の位置を一致させて前記上部板、前記熱融着シート、および前記下部板を積層し、前記上部板と前記下部板とを互いに接合することで前記複数の噴出孔が形成されることを特徴とする請求項3に記載のシャワーヘッド製造方法。
- 前記上部板、前記熱融着シート、および前記下部板を積層し、前記熱融着シートの熱融着により前記上部板と前記下部板とを互いに接合した後に前記複数の噴出孔を形成することを特徴とする請求項3に記載のシャワーヘッド製造方法。
- ガス供給源から供給されたガスを複数の噴出孔を介してプラズマ発生空間に噴出すると共に噴出されたガスにプラズマ発生のための電圧を印加する電極として機能するシャワーヘッドを再生するシャワーヘッド再生方法であって、
前記シャワーヘッドは、
導電性を有する上部板と、
前記プラズマ発生空間に面する下部板と、
ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に前記上部板と前記下部板との間に介在して前記上部板と前記下部板とを互いに接合する熱融着シートと
を備え、
使用済みの前記シャワーヘッドを加熱して前記熱融着シートを溶融または軟化させ、
前記上部板と前記下部板とを互いに分離し、
前記上部板および前記下部板のうち一方を新たなものに交換すると共に他方を再利用し、
新たな一方の上部板または下部板と再利用する他方の前記上部板または前記下部板とをこれらの間にヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成される新たな熱融着シートを介在させて積層し、
前記新たな熱融着シートの熱融着により新たな前記一方の上部板または下部板と再利用する前記他方の上部板または下部板とを互いに接合することを特徴とするシャワーヘッド再生方法。 - 使用済みの前記シャワーヘッドが加熱され前記上部板と前記下部板とに互いに分離された後、再利用される前記他方の上部板または下部板は洗浄により再利用に供され、新たな前記一方の上部板または下部板と接合されることを特徴とする請求項6に記載のシャワーヘッド再生方法。
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