JP2011078905A - フラックス塗布装置およびフラックス塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スキージ(ベース部14、スキージ本体16)を有するスキージユニット10と、マスクが押し当てられた塗布対象基板およびユニット10の少なくとも一方を他方に接近させる第1方向に移動させて先端部16xをマスクに押し当てた状態で塗布対象基板およびユニット10の少なくとも一方を他方に対して塗布面に沿った第2方向に移動させてフラックスを塗り拡げさせる移動機構とを備え、ユニット10は、ベース部11a,11bと、ベース部11aに対するベース部11bの第1方向に沿った相対的な移動を許容しつつベース部11a,11bを相互に連結する直動案内機構12と、ベース部11a,11bを相互に離間させる方向に付勢するスプリング13とを備え、軸長が第2方向に沿うように配設された回動軸15を介してスキージがベース部11bに取り付けられている。
【選択図】図2
Description
2 塗布ユニット
3 フラックス供給部
3a ノズル
4 移動機構
4a 取付部
5 基板搬送機構
6 制御部
10a,10b スキージユニット
11a,11b,14 ベース部
12 直動案内機構
12a,12b シャフト
13 スプリング
15 回動軸
16 スキージ本体
16x 先端部
17 取付け用板
20 メタルマスク
20a 開口部
F フラックス
P 塗布対象基板
Pa 塗布領域
Claims (3)
- 供給されたフラックスを塗布対象基板の塗布面に塗り拡げるスキージを有するスキージユニットと、前記塗布面における前記フラックスの塗布領域を露出させる開口部が設けられたマスクが当該塗布面に押し当てられた前記塗布対象基板および前記スキージユニットの少なくとも一方を他方に対して接近させる第1方向に移動させて前記スキージの平面視直線状の先端部を当該マスクの表面に押し当てた状態において当該塗布対象基板および当該スキージユニットの少なくとも一方を他方に対して前記塗布面に沿った第2方向に移動させて前記塗布領域に前記フラックスを塗り拡げさせる移動機構とを備え、
前記スキージユニットは、第1ベース部および第2ベース部と、前記第1ベース部に対する前記第2ベース部の前記第1方向に沿った相対的な移動を許容しつつ当該第1ベース部および当該第2ベース部を相互に連結する連結機構と、前記第1ベース部および前記第2ベース部を相互に離間させる方向に付勢する付勢部材とを備えると共に、軸長が前記第2方向に沿うように配設された回動軸を介して前記スキージが前記第2ベース部に取り付けられて構成されているフラックス塗布装置。 - 前記スキージは、スキージ本体と、前記回動軸を介して前記第2ベース部に取り付けられると共に前記スキージ本体を取り外し可能に構成された第3ベース部とを備えて構成されている請求項1記載のフラックス塗布装置。
- 請求項1または2記載のフラックス塗布装置を使用して前記塗布対象基板の前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布方法。
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