JP2011071273A - 半導体発光装置の製造方法及び半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体発光装置の製造方法は、仮基板の主面上に発光層を含む半導体層と第1の配線層を形成する工程と、半導体層及び第1の配線層を溝によって複数のチップに分離する工程と、仮基板の主面と第2の配線層が形成された支持基板の主面とを対向させ、仮基板上の複数のチップのうち隣り合わない複数の接合対象チップの各々の第1の配線層を一括して第2の配線層に接合させる工程と、接合されたチップと仮基板との界面にレーザ光を照射してチップと仮基板とを分離させ、複数のチップを仮基板から支持基板に一括して移す工程とを備えた。
【選択図】図5
Description
また、本発明の他の一態様によれば、発光層と前記発光層が発する光が取り出される第1の主面と前記第1の主面の反対側の第2の主面とを有する半導体層と、前記半導体層の前記第2の主面側に設けられた第1の配線層とを有するチップと、前記第1の配線層と接合された第2の配線層と、主面上に前記第2の配線層が形成され、前記第2の配線層に対して接合された前記チップを支持し、前記チップよりも平面サイズが大きい支持基板と、を備え、前記チップは、互いに分離されて仮基板に形成された複数のうちの隣り合わないものから選択されて、前記仮基板に支持されたままの状態で前記第2の配線層に接合され、前記チップの前記第1の主面と前記仮基板との界面に照射されたレーザ光により前記仮基板が分離されることで前記支持基板に移されたことを特徴とする半導体発光装置が提供される。
ここで、接合金属32と接合金属33の下層の支持基板31側に第3の配線層を形成することも可能である。第3の配線層を形成することによって、コンタクト電極41の位置を任意に配置することが可能となり、例えば半導体チップ10が搭載された領域より外側にコンタクト電極41を形成することによって、パッド42のピッチを広げることができ、回路基板への実装を容易にすることができる。また、第3の配線層は支持基板31の下面に形成することも可能である。この場合には、コンタクト電極41を接合金属32、33の下に形成した後、支持基板31の下側でコンタクト電極41と電気的に接続された第3の配線層がパッド42に結線された構造となる。
Claims (5)
- 仮基板の主面上に、発光層を含む半導体層を形成する工程と、
前記半導体層における、前記仮基板の主面に接する第1の主面の反対側の第2の主面側に第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の配線層及び前記半導体層を貫通して前記仮基板に達する溝を形成し、前記溝によって前記半導体層及び前記第1の配線層を複数のチップに分離する工程と、
支持基板の主面上に第2の配線層を形成する工程と、
前記仮基板の主面と前記支持基板の主面とを対向させ、前記仮基板上の複数の前記チップのうち隣り合わない複数の接合対象チップの各々の前記第1の配線層を一括して前記第2の配線層に接合させる工程と、
前記第2の配線層に対して接合された前記接合対象チップの前記第1の主面と前記仮基板との界面にレーザ光を照射して前記接合対象チップと前記仮基板とを分離させ、前記複数の接合対象チップを前記仮基板から前記支持基板に一括して移す工程と、
前記支持基板における前記チップが接合された部分より外側の部分を切断する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 前記支持基板に移されず前記仮基板に残された前記チップを、別の支持基板に移す工程をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記仮基板上で互いに等間隔で並んでいる複数の前記チップを前記接合対象チップとして前記支持基板に一括して移すことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記仮基板の主面と前記支持基板との主面を対向させて前記接合対象チップを前記第2の配線層に接合させた状態で、前記接合対象チップ以外のチップと前記支持基板との間に隙間が形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置の製造方法。
- 発光層と前記発光層が発する光が取り出される第1の主面と前記第1の主面の反対側の第2の主面とを有する半導体層と、前記半導体層の前記第2の主面側に設けられた第1の配線層とを有するチップと、
前記第1の配線層と接合された第2の配線層と、
主面上に前記第2の配線層が形成され、前記第2の配線層に対して接合された前記チップを支持し、前記チップよりも平面サイズが大きい支持基板と、
を備え、
前記チップは、互いに分離されて仮基板に形成された複数のうちの隣り合わないものから選択されて、前記仮基板に支持されたままの状態で前記第2の配線層に接合され、前記チップの前記第1の主面と前記仮基板との界面に照射されたレーザ光により前記仮基板が分離されることで前記支持基板に移されたことを特徴とする半導体発光装置。
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US12/726,452 US8367523B2 (en) | 2009-09-25 | 2010-03-18 | Method for manufacturing semiconductor light-emitting device and semiconductor light emitting device |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5023229B1 (ja) * | 2011-04-27 | 2012-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子の製造方法 |
CN103582958A (zh) * | 2011-06-01 | 2014-02-12 | 皇家飞利浦有限公司 | 将发光器件附着到支撑衬底的方法 |
KR20140053388A (ko) * | 2011-08-29 | 2014-05-07 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 반도체 디바이스용 불연속 패터닝된 본드 및 연관된 시스템 및 방법 |
JP2014515560A (ja) * | 2011-06-01 | 2014-06-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 支持基板に接合された発光デバイス |
US8772810B2 (en) | 2012-03-26 | 2014-07-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same |
KR20150023452A (ko) * | 2012-06-22 | 2015-03-05 | 소이텍 | Led들 또는 태양 전지들의 구조들을 제조하는 방법 |
JP2015514319A (ja) * | 2012-03-30 | 2015-05-18 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 封止された半導体発光デバイス |
JP2016527714A (ja) * | 2013-07-05 | 2016-09-08 | 晶元光▲電▼股▲ふん▼有限公司 | 発光デバイス及びその製造方法 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4724222B2 (ja) | 2008-12-12 | 2011-07-13 | 株式会社東芝 | 発光装置の製造方法 |
JP2012089828A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-05-10 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5537446B2 (ja) | 2011-01-14 | 2014-07-02 | 株式会社東芝 | 発光装置、発光モジュール、発光装置の製造方法 |
JP5603793B2 (ja) | 2011-02-09 | 2014-10-08 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置 |
JP5603813B2 (ja) | 2011-03-15 | 2014-10-08 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置及び発光装置 |
JP5535114B2 (ja) | 2011-03-25 | 2014-07-02 | 株式会社東芝 | 発光装置、発光モジュール、発光装置の製造方法 |
DE102011015725B4 (de) * | 2011-03-31 | 2022-10-06 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Vereinzeln eines Bauelementverbunds |
JP5642623B2 (ja) | 2011-05-17 | 2014-12-17 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置 |
JP5662277B2 (ja) | 2011-08-08 | 2015-01-28 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置及び発光モジュール |
JP2013065726A (ja) | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 半導体発光装置及びその製造方法 |
WO2013058222A1 (ja) * | 2011-10-18 | 2013-04-25 | 富士電機株式会社 | 固相接合ウエハの支持基板の剥離方法および半導体装置の製造方法 |
JP6214968B2 (ja) * | 2012-08-27 | 2017-10-18 | シチズン時計株式会社 | 光デバイス |
JP2014150196A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Toshiba Corp | 半導体発光装置およびその製造方法 |
EP3022779B1 (en) * | 2013-07-19 | 2020-03-18 | Lumileds Holding B.V. | Pc led with optical element and without substrate carrier |
JP6486819B2 (ja) * | 2015-12-25 | 2019-03-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
DE102016117912A1 (de) * | 2016-09-22 | 2018-03-22 | Nexwafe Gmbh | Verfahren zum Anordnen mehrerer Saatsubstrate an einem Trägerelement und Trägerelement mit Saatsubstraten |
CN108109950A (zh) * | 2016-11-25 | 2018-06-01 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种半导体器件及其制造方法和电子装置 |
CN108666212B (zh) * | 2018-05-02 | 2023-01-10 | 南方科技大学 | 一种led芯片制作方法 |
US11646392B2 (en) * | 2020-06-09 | 2023-05-09 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light-emitting device |
TWI773279B (zh) * | 2021-04-27 | 2022-08-01 | 友達光電股份有限公司 | 顯示面板 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617384A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-19 | Tokyo Shibaura Electric Co | Production of display device |
JP2007173465A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Rohm Co Ltd | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
US7256483B2 (en) * | 2004-10-28 | 2007-08-14 | Philips Lumileds Lighting Company, Llc | Package-integrated thin film LED |
JP2007335877A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Korai Kagi Kofun Yugenkoshi | 発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2009003435A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur herstellung von optoelektronischen bauelementen und optoelektronisches bauelement |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8294172B2 (en) * | 2002-04-09 | 2012-10-23 | Lg Electronics Inc. | Method of fabricating vertical devices using a metal support film |
JP2003345267A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Canon Inc | 表示装置及びその製造方法 |
US7015117B2 (en) * | 2003-07-14 | 2006-03-21 | Allegis Technologies, Inc. | Methods of processing of gallium nitride |
US20050205883A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-22 | Wierer Jonathan J Jr | Photonic crystal light emitting device |
US7202141B2 (en) | 2004-03-29 | 2007-04-10 | J.P. Sercel Associates, Inc. | Method of separating layers of material |
US7989304B2 (en) * | 2006-03-28 | 2011-08-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for transferring semiconductor element, method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device |
US9111950B2 (en) * | 2006-09-28 | 2015-08-18 | Philips Lumileds Lighting Company, Llc | Process for preparing a semiconductor structure for mounting |
JP4866268B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2012-02-01 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法及び電子部品装置の製造方法 |
KR101346538B1 (ko) * | 2007-09-26 | 2013-12-31 | 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 | 발광소자 및 그것을 이용한 발광장치 |
TWI345276B (en) * | 2007-12-20 | 2011-07-11 | Chipmos Technologies Inc | Dice rearrangement package structure using layout process to form a compliant configuration |
JP4724222B2 (ja) | 2008-12-12 | 2011-07-13 | 株式会社東芝 | 発光装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-09-25 JP JP2009220435A patent/JP5534763B2/ja active Active
-
2010
- 2010-02-25 TW TW099105512A patent/TWI419380B/zh active
- 2010-02-25 EP EP10154638.0A patent/EP2302703A3/en not_active Withdrawn
- 2010-03-18 US US12/726,452 patent/US8367523B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617384A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-19 | Tokyo Shibaura Electric Co | Production of display device |
US7256483B2 (en) * | 2004-10-28 | 2007-08-14 | Philips Lumileds Lighting Company, Llc | Package-integrated thin film LED |
JP2007173465A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Rohm Co Ltd | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
JP2007335877A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Korai Kagi Kofun Yugenkoshi | 発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2009003435A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur herstellung von optoelektronischen bauelementen und optoelektronisches bauelement |
JP2010532089A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-09-30 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光電構成素子の製造方法および光電構成素子 |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5023229B1 (ja) * | 2011-04-27 | 2012-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子の製造方法 |
US9431581B2 (en) | 2011-06-01 | 2016-08-30 | Koninklijke Philips N.V. | Method of attaching a light emitting device to a support substrate |
CN103582958A (zh) * | 2011-06-01 | 2014-02-12 | 皇家飞利浦有限公司 | 将发光器件附着到支撑衬底的方法 |
JP2019114804A (ja) * | 2011-06-01 | 2019-07-11 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | 支持基板に接合された発光デバイス |
JP2014515559A (ja) * | 2011-06-01 | 2014-06-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 発光デバイスを支持基板に取り付ける方法 |
JP2014515560A (ja) * | 2011-06-01 | 2014-06-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 支持基板に接合された発光デバイス |
JP2020150274A (ja) * | 2011-06-01 | 2020-09-17 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | 発光デバイスを支持基板に取り付ける方法 |
JP2018014521A (ja) * | 2011-06-01 | 2018-01-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 発光デバイスを支持基板に取り付ける方法 |
JP7134198B2 (ja) | 2011-06-01 | 2022-09-09 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | 発光デバイスを支持基板に取り付ける方法 |
US9705047B2 (en) | 2011-06-01 | 2017-07-11 | Koninklijke Philips N.V. | Method of attaching a light emitting device to a support substrate |
JP2017108156A (ja) * | 2011-06-01 | 2017-06-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 支持基板に接合された発光デバイス |
JP2014529908A (ja) * | 2011-08-29 | 2014-11-13 | マイクロン テクノロジー,インク. | 半導体デバイス用不連続パターン化接合ならびに関連システムおよび方法 |
KR101637105B1 (ko) * | 2011-08-29 | 2016-07-06 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 반도체 디바이스용 불연속 패터닝된 본드 및 연관된 시스템 및 방법 |
US11901342B2 (en) | 2011-08-29 | 2024-02-13 | Micron Technology, Inc. | Discontinuous patterned bonds for semiconductor devices and associated systems and methods |
US11222874B2 (en) | 2011-08-29 | 2022-01-11 | Micron Technology, Inc. | Discontinuous patterned bonds for semiconductor devices and associated systems and methods |
US10242970B2 (en) | 2011-08-29 | 2019-03-26 | Micron Technology, Inc. | Discontinuous patterned bonds for semiconductor devices and associated systems and methods |
KR20140053388A (ko) * | 2011-08-29 | 2014-05-07 | 마이크론 테크놀로지, 인크 | 반도체 디바이스용 불연속 패터닝된 본드 및 연관된 시스템 및 방법 |
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JP2015514319A (ja) * | 2012-03-30 | 2015-05-18 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 封止された半導体発光デバイス |
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