JP2011054937A - 基板上に単結晶層を作製する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、拡散制限ガスの存在下で、基板に向かって、第2材料の中性種のビームを供給し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間にし、第2材料の中性種を露出領域上に吸着され、これにより第1単結晶材料の上にこれと接触して第2材料の単結晶層を成長させる工程とを含み、拡散制限ガスは、非反応性ガスからなる。
【選択図】図1
Description
第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
第2材料の中性種のビームを、拡散制限ガスの存在下で、基板に向けて供給し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間とし、第2材料の中性種が露出領域に吸着され、これにより第1単結晶材料の上にこれと接触して第2材料の単結晶層を成長させる工程とを含み、
拡散制限ガスは非反応性ガスである。
第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
チャンバ中に、非反応性の拡散制限ガスを導入し、プロセスチャンバを1×10−6torrから1×10−4torrの間とする工程と、
第2材料の中性種のビームを基板に向かって供給し、第2材料の中性種が露出領域に吸着される工程とを含む。
第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
第2材料の中性種のビームを基板に向かって供給し、第2材料の中性種が露出領域に吸着される工程と、
中性種のビームと同時に、非反応性の拡散制限ガスのフラックスをチャンバ中に供給し、プロセスチャンバ中の圧力を、1×10−6torrから1×10−4torrの間とする工程とを含む。
単結晶シリコンから形成された露出領域を上部に有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、その後に、
300℃と550℃の間の温度で、単結晶シリコンの上に、これに接触するように単結晶ゲルマニウム層を成長させる工程であって、Ge原子のビームを基板に向かって供給し、Ge原子を露出領域の上に吸着させる工程を含む工定とを含み、
Ge原子のビームを供給する工程は、拡散制限ガスの存在下で行われ、プロセスチャンバ中の圧力は1×10−6torrから1×10−4torrの間である。
第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、拡散制限ガスが存在するプロセスチャンバ中に配置し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間とする工程と、
第2材料の中性種のビームを基板に向けて供給し、第2材料の中性種を露出領域上に吸着され、これにより第1単結晶材料の上にこれと接触して第2材料の単結晶層を成長させる工程とを含む。
拡散制限ガスは、水素プラズマやH2フラックスのような水素源から形成される水素ではない。本発明では、拡散制限ガスは、非反応性ガスである。非反応性ガスは、露出した第1単結晶材料、および/または第2材料の吸着した中性種(原子/分子)とボンドを形成しない。好適には、非反応性ガスは分子状窒素(N2)または希ガス(例えば、He、Ar)またはN2および希ガスの混合物である。
単結晶シリコンからなる露出領域を上部に有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
300℃と550℃との間の温度で、分子線エピタキシ(MBE)により、単結晶シリコンの上にこれと接触する単結晶ゲルマニウム層を成長させる工程であって、プロセスチャンバ中でGeソースの蒸発により基板に向かってGe原子のビームを供給してGe原子を露出領域上に吸着させ、これにより単結晶Siの上にこれと接触する単結晶Ge層を成長させる工程を含む工程とを含み、
Ge原子のビームを供給する工程は、プロセスチャンバ中の圧力が1×10−6torrと1×10−4torrとの間である、拡散制限ガスの存在下で行われる。
以下の実施例では、測定結果は、粗さ、結晶品質、および単結晶層中に存在する単結晶材料以外の種の濃度について述べられる。
Si(111)上へのGeエピタキシが、N2ビームの供給有りと無しにおいて、約400℃の基板温度で行われた。N2ビームの供給無しのエピタキシャル成長が、7×10−10torrのバックグラウンド圧力で行われた。N2の供給の有る成長は、1.2sccmのN2流量を用いて、2.5×10−5torrの圧力で行われた。
Si上へのGeのエピタキシャル成長に対する、N2ガスビームの影響が、200nmのGe層に対して調査された。
Si上へAlのエピタキシャル成長に対する、N2ガスの影響が、6nmの膜厚のAl層に対して調査された。
Claims (15)
- 基板上に単結晶材料の層を成長させる方法であって、
第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
拡散制限ガスの存在下で、基板に向かって、第2材料の中性種のビームを供給し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間にし、第2材料の中性種を露出領域上に吸着され、これにより第1単結晶材料の上にこれと接触して第2材料の単結晶層を成長させる工程とを含み、
拡散制限ガスは、非反応性ガスである方法。 - 第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、その後に、
非反応性の拡散制限ガスをチャンバ中に導入し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間にする工程と、
第2材料の中性種のビームを基板に向かって供給し、第2材料の中性種を露出領域上に吸着される工程とを含む請求項1に記載の方法。 - 第1単結晶材料から形成された露出領域を有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
第2材料の中性種のビームを基板に向かって供給し、第2材料の中性種を露出領域上に吸着される工程と、
中性種のビームと共に、非反応性の拡散制限ガスのフラックスをチャンバ中に供給し、プロセスチャンバ中の圧力を1×10−6torrから1×10−4torrの間にする工程とを含む請求項1に記載の方法。 - 基板をチャンバ中に配置する前に、および拡散制限ガスと中性種を導入する工程の前に、プロセスチャンバ中を10−9torrより低いバックグラウンド圧力にする請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 拡散制限ガスのフラックスは、0.1sccmと20sccmとの間である請求項3に記載の方法。
- 拡散制限ガスは、希ガス、分子状N2、またはそれらの混合物である請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 第1単結晶材料は、IV族の半導体材料である請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 第1単結晶材料は、III−V化合物半導体材料である請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 第2単結晶材料は、IV族の半導体材料である請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 第2単結晶材料は、ゲルマニウムであり、成長工程は、300℃と550℃との間の温度で行われる請求項9に記載の方法。
- 第2単結晶材料は、III−V化合物半導体材料である請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 第2単結晶材料は、金属である請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 金属は、アルミニウムである請求項12に記載の方法。
- 基板上に単結晶ゲルマニウム層を成長する方法であって、
単結晶シリコンから形成された露出領域を上部に有する基板を、プロセスチャンバ中に配置する工程と、
300℃と550℃との間の温度で、単結晶シリコンの上にこれと接触した単結晶ゲルマニウム層を成長させる工程であって、Ge原子のビームを基板に向かって供給し、露出領域上にGe原子を吸着させる工程を含む工程と、を含み、
Ge原子のビームを供給する工程は、拡散制限ガスの存在下で行われ、プロセスチャンバ中の圧力は、1×10−6torrから1×10−4torrの間となる方法。 - CMOSデバイスの製造のための、請求項1〜14に記載の方法の使用。
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