JP2014510414A - 中性粒子ビームを用いた発光素子の製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
すなわち、これまでの薄膜形成は、1,000 ℃以上の高温の結晶成長温度を必要としており、こうした高温処理によって作製される単結晶体の応用分野は非常に制限される。
しかし、特許文献1に公開された方法は、希望する単結晶薄膜を得るために非晶質(amorphous)、または多結晶薄膜を事前にプラズマCVD法によって作製しなければならず、薄膜の単結晶化のために中性粒子ビームを所定の角度に照射すべく、多様な構造の反射器を提供しなければならないため、作製工程に多大な努力と複雑な装置の製作を要するため、希望する半導体発光素子の生産コストを高めることで、LED等の普及ないしは市場性を低下させうる。
また、本発明の他の目的は、半導体発光素子の作製において、発光素子を形成するそれぞれの層ごとに求められる工程の特性を考慮することで、最も効率の良い製造過程及び装置を提供することにある。
また、本発明は、前記の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法において、前記基板の温度を600ないし700℃に維持することを特徴とする窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法を提供することができる。
また、本発明は、前記III族固体元素の放出ステップは、出射と停止を周期的に反復するモジュレーション(modulation)モードにて動作することを特徴とする窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法を提供することができる。
また、本発明は、前記窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法において、前記中性粒子ビームの発生及び中性粒子ビームの運動エネルギーの付与のために、中性粒子ビーム発生源に印加する電位Vは、
前記数式において、
ここでのMGaは、Ga原子の質量、Mnは中性粒子ビーム元素の質量を意味し、θは衝突直前中性粒子ビーム元素の進行方向となす衝突後のGa原子の進行方向との角度である。
また、本発明によれば、窒化物半導体単結晶薄膜の形成を、中性粒子ビームによって最初から単結晶状態で作製するため、多結晶薄膜を作製した後単結晶化する方法及びそれに伴う製造装置に比べ、より簡便な方法及び装置を提供するため、半導体発光素子の価格競争力を向上させるができる。
また、本発明によれば、発光素子のp型半導体層のドーピング効率を高めつつも、p型不純物が他の層に拡散することで、発光素子の品質を低下させる問題点を防止することができる。
工程チャンバ(7)内に基板(5)を基板搭載台(6)の上の装着し、工程チャンバ(7)の上方に中性粒子ビーム発生源(1)を設置する(図6参照)。前記中性粒子ビーム発生源は、電子サイクロトロン共鳴(ECR: Electron Cyclotron Resonance)によるプラズマ発生方式を用い、中和プレートを備えた中性粒子ビーム発生源であり、磁石構造物を用いて構成し、前記中性粒子ビーム発生源(1)は、本発明者によって発明され出願された特許文献2に詳細に記載されたものを採択するため、その構成に関する記載は省略するものの、前記公報記載内容は、本発明の内容に編入される。
また、使用する不活性元素はアルゴン(Ar)を含め、He、Ne、Kr、Xe等の等の不活性元素をそれぞれ用いるか、これらのうち二つ以上の元素を適切に混合して用いることも可能である。
蒸気中性粒子ビームの出射とIII族固体元素の蒸気噴射は、ほとんど同時に連続的に行われるよう動作を制御するものの、固定元素発生源(3)は、中性粒子ビーム発生源(1)とは異なり、出射と停止を周期的に反復するモジュレーション(modulation)モードにて動作することができる。
出射時間におけるIII族固体元素の単位面積あたりの数は、一周期(出射時間+停止時間)における中性粒子ビーム内の窒素原子数と同じであるか多くなければならない。すなわち、
ここでのPは蒸気圧[Pa]、Mは蒸気化を試みる元素の質量[kg]、kはプランク定数、Tは蒸着セルの加熱温度[K]である。例えば、1,007℃における蒸気圧は10−3Torrであり、1,132℃においては10−2Torrであるため、これに該当する出射口における固体元素のフラックスは、それぞれ約3×1017atoms/cm2sと約3×1018atoms/cm2sとなる。
(N+Ar)+Ga−−>GaN+Ar
左項の括弧はNとArから構成された中性粒子ビームを表している。ここにおけるArの主な役割は、Ga原子への運動エネルギー及び運動量の伝達である。すなわち、Ga原子が基板に衝突した前後に、Arから運動エネルギーと運動量が伝達され、エネルギーの高いGa原子に変換され、中性粒子ビーム内のN原子と反応してGaNの結晶を形成することとなる。これは、既存のGaN層を形成した後に、中性粒子、イオン、電子またはレーザービームでアニーリング(annealing)する方法とは全く異なる新しい方法である。
また、中性粒子ビームの発生メカニズムを分析して、前記中性粒子ビームの発生及び中性粒子ビームの運動エネルギーの付与のために、中性粒子ビーム発生源に印加する電位Vは次の通りである。
とりわけ、既存のMOCVD法によってp−型ドープを行う場合、p−型ドーピング反応気体である前駆体(Precursor)として、Cp2Mgのような水素を多量に含む分子気体を用いるため、膜形成過程において多量の水素が発生してMgと結合してしまい、Mgがドーピング元素として機能を果たすことができなくなり、ドーピング効率がが非常に低下することとなる。しかも、こうした低い効率のドーピング状況において、ドーピング密度を合わせるために過度の前駆体気体を用いるため、ドープされていないMgが多量に生じ、これらがp型GaNの特性を悪化させる。
結局、既存のMOCVD法の場合は、ドーピング効率を高めるために温度を上げると、Mgの活性層への拡散が問題となり、温度を下げて多量の前駆体ガスを注入すると、ドーピング効率が低くなり、ドープされていないMgによってp型GaNの特性が低下する。
しかし、中性粒子ビームと水素のない固体元素そのもののを用いると、既存の問題点を克服することができる。中性粒子ビームと固体元素を用いる不純物ドーピングのための装置が、図2に図示されている。
前記ドーピング過程を化学式で表すと下の通りである。
n型ドーピング:(N+Ar)+Ga+Si→GaN:Si+Ar
p型ドーピング:(N+Ar)+Ga+Mg→GaN:Mg+Ar
図3に示された発光素子は、GaN系発光ダイオード(LED)の構造を例示として説明している。発光素子は基板(10)、バッファ層(11)、n型半導体層(12)、多重量子井戸層(MQW)(13)、p型半導体層(14)、透明電極層(15)を含む。基板(10)にはサファイア等の材料を用いることができ、バッファ層(11)は、AlN、結晶化度の低いGaN等で構成することができる。
ここにおいて、活性化層である多重量子井戸層(MQW)(13)は、InGaNにて形成されうる。ここでのn型半導体層(12)、多重量子井戸層(MQW)(13)、p型半導体層(14)は、中性粒子ビームで形成されうることについては、既に詳細に説明した通りである。
図4の(a)に示されたMOCVD工程を見れば、基板が高温にて洗浄された後、低温にてバッファ層(11)が形成される。その後、1,000〜1,100℃の状態にある領域Aにおいてn型半導体(12)が形成される。この期、700〜800℃の状態にある領域Bにおいて多重量子井戸層(MQW)(13)が形成される。そして、再度温度が上昇して900〜1,000℃の状態にある領域Cにおいてp型半導体層(14)が形成されうる。
結局、MOCVD工程において、p型半導体層(14)を形成すべく低温で処理するとp型元素のドーピング効率が低下し、前記p型元素が結晶に参加できなくなり、電気伝導度を下げるという問題点が存在することとなり、反対に高温で処理するとp型元素の拡散により、発光素子全体の品質を下げるという問題点が存在することになる。
その反面、図4の(b)と同様に、中性粒子ビームエピタキシャル工程を用いる場合は、MOCVD工程に比べて相対的に低温にあたる600℃程度でドーピングが可能となるため、ドーピング効率を高めつつ基板の損傷を防ぎ、p型元素の拡散を防止することができるという長所がある。
ステップ(S100)、(S110)においては、基板を洗浄しバッファ層を形成する。本ステップの具体的な工程処理方法は、従来のGaN系LED製造に用いられた方法が採用されうる。
ステップ(S120)においては、MOCVD工程を用いてn型半導体層を形成する。ここで、n型元素としてはSiが利用されることがある。n型半導体層はp型半導体層と比べてドーピング効率が高いため、MOCVD技術を採択した場合、迅速な処理速度によって効率よくn型元素をドープすることができる。
この後、ステップ(S130)においては、中性粒子ビームエピタキシャル工程を用いて多重量子井戸層(MQW)を形成する。前記多重量子井戸層(MQW)はInGaNへと形成されることがある。
ステップ(S140)においては、p型半導体層が中性粒子ビームエピタキシャル工程によって形成される。p型半導体層のp型元素としてはMg+が用いられる。ここで、p型元素はn型元素に比べてドーピング効率が大きく下回る。また、高温ではドーピング元素が他の層に拡散するおそれがある。しかし、ステップ(S140)においては、p型半導体層を形成するにあたって、低温で処理可能な中性粒子ビームエピタキシャル工程を採択することで、ドーピング効率を向上させると同時に、発光素子の品質低下を防止することができる。
ステップ(S150)においては、p型半導体層の上に透明電極を形成する。透明電極の形成は、スパッタリング、中性粒子ビーム等の方法によって実施することができる。
すなわち、MOCVD工程を実施する第1チャンバと、中性粒子ビームを用いて多重量子井戸層(MQW)を形成する第2チャンバ、及び中性粒子ビームを用いてp型元素をドープする第3チャンバによって、全体の工程を実施することができる(図7参照)。しかし、中性粒子ビームを用いる前記の二つの工程は、一つのチャンバにて順次分離実施することも可能である。
ここで、中性粒子ビームを用いるチャンバにて処理される具体的な例示は、本発明の明細書において既に十分に説明した通りである。
このような構成により、ドーピング効率の良いn型半導体層の形成は、工程処理の迅速なMOCVD法を採用し、ドーピング効率が相対的に落ちるp型半導体層の形成は、中性粒子ビームを用いることで、全体的な発光素子の品質と作製効率を向上させることができる。
Claims (15)
- 電子サイクロトロン共鳴(ECR:Electron
Cyclotron Resonance)によるプラズマ発生方式を用いて、中和プレートを備えた中性粒子ビーム発生源から、窒素(N)原子と不活性元素を含む中性粒子ビームを放出するステップと、
前記中性粒子ビームが前記基板に届く直前または直後に、III族固体元素を放出するステップを含み、
前記中性粒子ビームと前記III族固体元素が、前記基板上に窒化物半導体単結晶薄膜によって蒸着される
ことを特徴とする窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法によって形成される窒化物半導体単結晶薄膜に、ドープを目的とする固体元素を前駆体噴射ガスがない状態で直接提供するよう放出するステップを、前記III族固体元素の放出ステップと同時に含む
請求項1に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 窒素(N)原子と不活性元素を含む中性粒子ビームを放出すると同時に、III族固体元素を放出し、形成される窒化物半導体単結晶薄膜にドープすることを目的とする固体元素、または同時に放出する
ことを特徴とする窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記不活性元素は、Ar、He、Ne、Kr、Xeのうち一つか、もしくは二つ以上の元素を混合したものである
請求項2または3に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記III族固体元素は、Al、Ga、Inのうち一つか、もしくは二つ以上の元素を混合したものである
請求項4に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記基板の温度を200〜800℃に維持する
請求項5に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記中性粒子ビームの運動エネルギーを2〜100eVとする
請求項6に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記III族固体元素の放出ステップは、出射と停止を周期的に反復するモジュレーションモードにて動作する
請求項7に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 出射時間τonと停止時間τoffの比率は、
(ただし、ΓIIIは、III族固体元素のフラックス(atoms/cm2s)、Γnは、中性粒子ビームフラックス、γは中性粒子ビームにおける窒素原子の比率、τonは出射時間、τoffは停止時間)である
請求項8に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記III族固体元素の放出とドープすることを目的とする固体元素の放出は、出射及び停止を同期化することで、周期的に反復する
請求項9に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 前記III族固体元素の放出とドープすることを目的とする固体元素の放出は、出射及び停止を互いにずれさせることで、周期的に反復する
請求項9に記載の窒化物半導体単結晶薄膜の形成方法。 - 窒素(N)と不活性元素を中性粒子ビームによって発生させ、基板の上に出射する中性粒子ビーム発生装置と、
前記中性粒子ビーム発生装置の動作とともに、III族固体元素を基板上に噴射する固体元素発生装置と、
形成される窒化物半導体単結晶薄膜にドーピング元素を前駆体噴射ガスがない状態で、直接提供するためのドーピング用固体元素発生装置とを備える
ことを特徴とする窒化物半導体単結晶薄膜形成装置。 - 発光素子の製造方法において、
有機金属気相成長法(MOCVD)を用いてn型元素をドープすることで、n型半導体層を形成するステップと、
中性粒子ビームを用いて活性層を形成するステップと、
中性粒子ビームを用いてp型元素をドープすることで、p型半導体層を形成するステップを含む
ことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 発光素子の製造装置において、
有機金属気相成長法(MOCVD)を用いてn型元素をドープすることで、n型半導体層を形成する第1チャンバと、
中性粒子ビーム発生装置を備え中性粒子ビームで活性層を形成する第2チャンバと、
中性粒子ビームでp型元素をドープすることで、p型半導体層を形成する第3チャンバを備え、
前記第3チャンバは、中性粒子ビーム発生装置と、前記中性粒子ビーム発生装置の動作とともに、III族固体元素を基板上に噴射する固体元素発生装置と、形成される窒化物半導体単結晶薄膜にp型ドーピング元素を前駆体噴射ガスがない状態で、直接提供するためのp型ドーピング用固体元素発生装置を備える
ことを特徴とする発光素子製造装置。 - 発光素子の製造装置において、
有機金属気相成長法(MOCVD)を用いてn型元素をドープすることで、n型半導体層を形成する第1チャンバと、
中性粒子ビーム発生装置を備え中性粒子ビームで活性層とp型半導体層を形成する第2チャンバを備え、
前記第2チャンバは、中性粒子ビーム発生装置と、前記中性粒子ビーム発生装置の動作とともに、III族固体元素を基板上に噴射する固体元素発生装置と、形成される窒化物半導体単結晶薄膜にp型ドーピング元素を前駆体噴射ガスがない状態で、直接提供するためのp型ドーピング用固体元素発生装置を備える
ことを特徴とする発光素子製造装置。
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