JP2006019648A - 鉄シリサイド発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉄シリサイド発光素子において、n型低抵抗シリコン(111)基板1と、このn型低抵抗シリコン(111)基板1に形成される連続層から成るβ−FeSi2 連続膜2と、このβ−FeSi2 連続膜上に形成されるp型シリコン膜とを有する。
【選択図】図1
Description
〔1〕鉄シリサイド発光素子において、n型シリコン(111)基板と、このn型シリコン(111)基板に形成される連続層から成るβ−FeSi2 連続膜と、このβ−FeSi2 連続膜上に形成されるp型シリコン膜とを有することを特徴とする。
n型低抵抗CZ(Czochralski)−Si(111)基板上に650℃でRDE法により、テンプレートとしてのβ−FeSi2 膜を20nmを形成し、その上に750℃でMBE法により〔110〕/〔101〕高配向β−FeSi2 膜80nmを形成した。次いで、500℃でSi層600nmをエピタキシャル成長させ、750℃でボロンとSiを同時に照射するMBE法によりp型Si層を形成し、Ar雰囲気で800℃で14時間のアニールを行った。また、CZ−Si基板をHe希釈H2 雰囲気で1200℃、1時間のアニールを行い基板表面に無欠陥層を作製したDZ(denuded zone)−CZ基板上に同様の構造を作製し、PL発光特性を比較した。
作製した試料は、図3に示すように、β−FeSi2 が連続膜としてSi中に埋め込まれていた。
2 β−FeSi2 連続膜
2A β−FeSi2 薄膜(20nm)
2B β−FeSi2 薄膜(80nm)
3 Si層
3A Si層(600nm)
3B p型Si層(300nm)
Claims (6)
- (a)n型シリコン(111)基板と、
(b)該n型シリコン(111)基板に形成される連続層から成るβ−FeSi2 連続膜と、
(c)該β−FeSi2 連続膜上に形成されるp型シリコン膜とを有することを特徴とする鉄シリサイド発光素子。 - 請求項1記載の鉄シリサイド発光素子において、前記n型シリコン(111)基板が、低抵抗エピタキシャル基板、低抵抗CZ基板、低抵抗DZ−CZ基板又は低抵抗FZ基板であることを特徴とする鉄シリサイド発光素子。
- (a)n型低抵抗シリコン(111)基板を用意し、
(b)該n型低抵抗シリコン(111)基板上にβ−FeSi2 連続膜をエピタキシャル成長し、
(c)該β−FeSi2 連続膜をp型シリコン膜で埋め込み、p型シリコン/β−FeSi2 /n型シリコンのダブルヘテロ構造を真空中で一貫して製造することを特徴とする鉄シリサイド発光素子の製造方法。 - 請求項3記載の鉄シリサイド発光素子の製造方法において、前記工程(c)に続いて、不活性ガス雰囲気中で、熱処理を行い、結晶の質を向上させることを特徴とする鉄シリサイド発光素子の製造方法。
- 請求項3記載の鉄シリサイド発光素子の製造方法において、前記β−FeSi2 連続膜は、まず、n型低抵抗シリコン(111)基板上にFeのみを堆積し、第1のβ−FeSi2 薄膜をエピタキシャル成長し、次いで、該第1のβ−FeSi2 薄膜をテンプレート(種結晶)として、この上に、SiとFeを同時に照射する分子線エピタキシー法により、第2のβ−FeSi2 薄膜をエピタキシャル成長させて形成することを特徴とする鉄シリサイド発光素子の製造方法。
- 請求項3記載の鉄シリサイド発光素子の製造方法において、前記p型シリコン膜は、まず、前記β−FeSi2 連続膜上にSi層をエピタキシャル成長し、さらに該Si層上にボロンとSiを同時照射してp型Si層を堆積することを特徴とする鉄シリサイド発光素子の製造方法。
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US8492243B2 (en) | 2008-01-30 | 2013-07-23 | Siltronic Ag | Method for the production of a semiconductor structure |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8492243B2 (en) | 2008-01-30 | 2013-07-23 | Siltronic Ag | Method for the production of a semiconductor structure |
RU2485632C1 (ru) * | 2012-01-19 | 2013-06-20 | Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН (ИАПУ ДВО РАН) | Способ создания светоизлучающего элемента |
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