JP2011053020A - 静電容量型物理量センサ及び角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出素子10は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体18と、検出電極Efとを有する。シールド配線16は、容量検出回路30の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子10と容量検出回路30の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Cinが、1.5pF<Cin<20pFの範囲とする。
【選択図】図1
Description
かかる構成により、外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度なものとできる。
かかる構成により、外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度なものとできる。
最初に、図1を用いて、本実施形態による静電容量型物理量センサの構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサの構成を示す回路図である。
図2は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサにおけるノイズの説明図である。
図3は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサにおけるノイズについての別の観点からの説明図である。
図4は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを加速度センサに適用した場合の検出素子の構成を示す平面図である。図5は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを加速度センサに適用した場合の構成を示す回路図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。
図6は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを加速度センサに適用した場合の検出素子の他の構成を示す平面図である。なお、図1,図4と同一符号は、同一部分を示している。
図7は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを角速度センサに適用した場合の検出素子の構成を示す平面図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。
図8は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを角速度センサに適用した場合の検出素子の他の構成を示す平面図である。なお、図1,図7と同一符号は、同一部分を示している。
図9は、本発明の一実施形態による静電容量型物理量センサを圧力センサに適用した場合の検出素子の構成を示す平面図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。
11,12…可変容量コンデンサ
16…シールド配線
18,18A,18V,18C…可動体
20…搬送印加部
21,22…搬送波信号源
30…容量検出回路部
31…OPアンプ
32…帰還容量
33…入力端子
34…基準電位
35…回路内部ノイズ
37…出力端子
Cp…寄生容量
Ef…検出電極
Em…可動電極
Claims (6)
- 外界からの物理量により変位可能に支持された可動体と、該可動体の少なくとも片面に形成された検出電極とを有する検出素子と、
前記可動体の変位による前記検出電極の容量の変化を検出する容量検出回路と、
該容量検出回路の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続された配線とを有し、
前記可動体の変位による前記検出電極の容量の変化を前記容量検出回路によって電気信号に変換し、物理量を検出する静電容量型物理量センサであって、
前記検出素子と前記容量検出回路の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Cinが、1.5pF<Cin<20pFの範囲にあることを特徴とする静電容量型物理量センサ。 - 請求項1記載の静電容量型物理量センサにおいて、
前記容量検出回路内の帰還容量の値Cfと前記入力Cinの関係が、0.1<(Cf/Cin)<1.0の範囲にあることを特徴とする静電容量型物理量センサ。 - 請求項1に記載の静電容量型物理量センサにおいて、
前記シールド配線の電位は、容量検出に用いる搬送波信号の直流電位と同電位であることを特徴とする静電容量型物理量センサ。 - 請求項1記載の静電容量型物理量センサにおいて、
前記検出素子は、前記可動体に静電引力を印加する診断電極を備えることを特徴とする静電容量型物理量センサ。 - 請求項1記載の静電容量型物理量センサにおいて、
前記可動体はシリコン結晶により構成されていることを特徴とする静電容量型物理量センサ。 - 外界からの角速度により変位可能に支持された可動体と、該可動体の直交する2面に形成された2つの検出電極と、前記可動体を加振する駆動電極を有する検出素子と、
前記駆動電極により生じる前記前記可動体の振動状態において加えられる角速度によるコリオリの作用により前記2つの検出電極の容量の変化を検出する容量検出回路と、
該容量検出回路の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続された配線とを有し、
前記可動体の変位による前記検出電極の容量の変化を前記容量検出回路によって電気信号に変換し、角速度を検出する角速度センサであって、
前記検出素子と前記容量検出回路の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Cinが、1.5pF<Cin<20pFの範囲にあることを特徴とする角速度センサ。
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