JPWO2016114114A1 - センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1Aと図1Bはそれぞれ実施の形態1におけるセンサ10の斜視図と分解斜視図である、図2は、センサ10の断面図である。
図7Aは、実施の形態2におけるセンサ100の斜視図である。センサ100は、パッケージ基板104と、パッケージ基板104から突出するリード端子105と、パッケージ基板104に設けられた蓋191とを備える。
図19Aと図19Bは実施の形態3におけるセンサ100bの断面図である。図19Aと図19Bにおいて図9Aと図9Bに示す実施の形態2におけるセンサ100と同じ部分には同じ参照番号を付す。センサ100bは図7Aと図7Bに示す実施の形態2におけるセンサ100とほぼ同じ外観を有する。図19Aと図19Bはそれぞれ図9Aと図9Bと同じ位置でのセンサ100bの断面を示す。
図21は、実施の形態4におけるセンサ300のパッケージ基板104の内部の構成を示す上面図である。図22はセンサ300のセンサ素子301、302の上面図である。図21と図22において、図7Aから図16に示す実施の形態2におけるセンサ100と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図25は、実施の形態5におけるセンサ400のパッケージ基板104の内部構成を示す上面図である。図26はセンサ400のセンサ素子401、402の上面図である。図25と図26において、図7Aから図16に示す実施の形態2におけるセンサ100と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図29は、実施の形態6におけるセンサ500のパッケージ基板104の内部の構成を示す上面図である。図30はセンサ500のセンサ素子501、502、506の上面図である。図29と図30において、図7Aから図16に示す実施の形態2におけるセンサ100と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図32は実施の形態7におけるセンサ690の回路図である。センサ690は、センサ部601と、センサ部601から出力される電気信号を積分する積分部605と、相関二重サンプリング部609とを備える。積分部605は、非反転入力端子602bと反転入力端子602aと出力端子602cとを有するオペアンプ602と、オペアンプ602の反転入力端子602aと出力端子602cとの間に接続されたコンデンサ603と、コンデンサ603に並列に接続された抵抗604とを有する。相関二重サンプリング部609は、非反転入力端子606bと反転入力端子602aと出力端子606cとを有するオペアンプ606を有する。オペアンプ606は、非反転入力端子606bと反転入力端子602aとの間の電圧差を増幅して出力端子606cから出力する。センサ690はスイッチ部612、615をさらに有してもよい。
2 回路部品
3 パッケージ
4 金属蓋
5 電極
10,10a,10b センサ
11 リード
11a リードの部分(第1の部分)
11b リードの部分(第2の部分)
11c 先端
12 センサ素子
13a 回路部品
14 パッケージ
14k 空間
15 グランド電極
16 蓋
19,21 間隔
20 凹部
30 端子
40 端部
100,300,400,500 センサ
101,102,152 センサ素子
301,302,401,402 センサ素子
501,502,506 センサ素子
103 検出回路
104 パッケージ基板
104a,204a,204b 凹部
105 リード端子
106 外部基板
111 錘部
112a,112b 梁部
113,123 支持部
114a,114b,124a,124b,124c 貫通配線
174a,174c 貫通配線
314a,314b,314c,324a,324b,324c 貫通配線
414a,414b,414c,424a,424b,424c 貫通配線
115a,115c,125a,125c 固定電極
121 錘部
122a,122b 梁部
130 基板
131a 基板
131b 基板
140 基板
141a 基板
141b 基板
1314a,1314b,1314c 導電ワイヤ
1324a,1324b,1324c 導電ワイヤ
AX1〜AX6 軸
AX21,AX41 支持軸
601 センサ部
602 オペアンプ(第1のオペアンプ)
603 コンデンサ(第1のコンデンサ)
604 抵抗(第1の抵抗)
605 積分部
606 オペアンプ(第2のオペアンプ)
607 コンデンサ(第2のコンデンサ)
608 コンデンサ(第3のコンデンサ)
609 相関二重サンプリング部
610 抵抗(第2の抵抗)
611 抵抗(第3の抵抗)
612 スイッチ部(第1のスイッチ部)
613 復調部(第1の復調部)
614 復調部(第2の復調部)
615 スイッチ部(第2のスイッチ部)
Claims (22)
- センサ素子と、
内側に前記センサ素子を収容するパッケージと、
前記パッケージに設けられたグランド電極と、
前記パッケージの開口部を覆う蓋と、
前記パッケージから延出するリードと、
を備え、
前記リードは、
前記パッケージの側面との間に空間が設けられるように前記側面に沿って延びるとともに前記グランド電極に電気的に接続された第1の部分と、
前記蓋と前記パッケージとの間に配置されてかつ前記パッケージの前記内側に向かって延びる第2の部分と、
を有する、センサ。 - 前記蓋は前記パッケージの一部によりかしめられて前記パッケージに固定されている、請求項1に記載のセンサ。
- 少なくとも前記空間に面する前記側面の部分は前記蓋に近いほど前記内側へ傾斜している、請求項1に記載のセンサ。
- 前記パッケージに収容された回路部品を更に備えた、請求項1に記載のセンサ。
- 前記センサ素子は加速度を検出する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記回路部品は前記センサ素子からの検出信号を処理して、前記検出した加速度に対応する加速度信号を出力する、請求項5に記載のセンサ。
- 前記パッケージから延出して外部基板と接続される複数の接続用リードを更に備え、
前記複数の接続用リードの少なくとも1つは前記グランド電極である、請求項1に記載のセンサ。 - 前記第2の部分の先端は前記パッケージの内壁面より前記内側に向かって突出する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記蓋は金属材料から形成されている、請求項1に記載のセンサ。
- 前記パッケージは樹脂材料から形成されている、請求項1に記載のセンサ。
- 前記リードの前記第2の部分はスリットで分離された複数の部分を有する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記リードの前記第2の部分は突起部を有する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記センサ素子を含むセンサ部と、
前記センサ部から出力される信号を処理する回路部品と、
をさらに備え、
前記回路部品は、
第1の非反転入力端子と第1の反転入力端子と出力端子とを有する第1のオペアンプと、
前記第1のオペアンプの前記第1の反転入力端子と前記出力端子との間に接続された第1のコンデンサと、
前記第1のコンデンサに並列に接続された第1の抵抗と、
を有し、前記センサ部から出力される電気信号を積分する積分部と、
第2の非反転入力端子と第2の反転入力端子とを有して前記第2の非反転入力端子と前記第2の反転入力端子との間の電圧差を増幅する第2のオペアンプを有する相関二重サンプリング部と、
を有する、請求項1に記載のセンサ。 - 前記相関二重サンプリング部は、
前記積分部から出力される出力信号を蓄積する第2のコンデンサと、
前記積分部から出力される前記出力信号を蓄積する第3のコンデンサと、
をさらに有し、
前記相関二重サンプリング部は、前記第2のコンデンサの電圧と前記第3のコンデンサの電圧との差分を出力する、請求項13に記載のセンサ。 - 前記相関二重サンプリング部は、前記第2のコンデンサと並列に接続された第2の抵抗と、前記第3のコンデンサと並列に接続された第3の抵抗とをさらに有する、請求項14に記載のセンサ。
- 前記センサ部は、第1の電極と第2の電極と第3の電極と第4の電極とを有しており、
前記第2のコンデンサは、前記第3の電極と前記第1の電極との間の電圧差に対応する出力信号を蓄積し、
前記第3のコンデンサは、前記第4の電極と前記第2の電極との間の電圧差に対応する出力信号を蓄積する、請求項14に記載のセンサ。 - 前記センサ部から出力される出力信号は連続的な信号である、請求項13から16のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサ部は2つの出力信号を出力可能であり、
前記センサ部から出力される2つの出力信号のうち前記積分部に供給する出力信号を決定する第1のスイッチ部をさらに備えた、請求項13から17のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記積分部から出力される前記出力信号を復調して前記第2のコンデンサに蓄積させる第1の復調部と、
前記積分部から出力される前記出力信号を復調して前記第3のコンデンサに蓄積させる第2の復調部と、
を有する第2のスイッチ部をさらに備え、
前記第1の復調部と前記第2の復調部は前記積分部の出力信号を、前記第2のオペアンプの前記第2の反転入力端子と前記第2の非反転入力端子のいずれか一方に振り分ける、請求項18に記載のセンサ。 - 前記第1の復調部と前記第2の復調部は第2のスイッチ部として機能し、
前記第1のスイッチ部を切り換える周波数は、前記第2のスイッチ部を切り換える周波数と同じである、請求項19に記載のセンサ。 - 前記センサ部を含む複数のセンサ部と、
前記相関二重サンプリング部を含む複数の相関二重サンプリング部と、
を更に備え、
前記複数のセンサ部の数と前記複数の相関二重サンプリング部の数が一致する、請求項13から20のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記相関二重サンプリング部が差分処理をする周波数は、前記積分部から出力される出力信号の周波数の6倍以上である、請求項13から21のいずれか1つに記載のセンサ。
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