JP2008039435A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008039435A JP2008039435A JP2006210356A JP2006210356A JP2008039435A JP 2008039435 A JP2008039435 A JP 2008039435A JP 2006210356 A JP2006210356 A JP 2006210356A JP 2006210356 A JP2006210356 A JP 2006210356A JP 2008039435 A JP2008039435 A JP 2008039435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- self
- diagnosis
- fixed
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】 枠電極15内に離隔して設けられた一対の固定電極11、12と、上記一対の固定電極間で加速度に応じて変位し得るようにされ、上記各固定電極との間の静電容量を変化させる質量体13Aを有する可動電極13と、上記質量体に対向して配設され上記枠電極に固定された自己診断用電極14とを備えた構成とする。
【選択図】図1
Description
そして、可動電極13の変位により生ずる上記C1、C2の静電容量の変化を信号処理ASIC部20のセンサ出力として確認することにより正常動作の確認あるいは異常を検出する。
以下、この発明の実施の形態1を図にもとづいて説明する。図1は、実施の形態1によるセンサチップ部10の構成を示す平面図である。信号処理ASIC部20は図5と同様であるため説明を省略する。また、図1において、図6と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。図6と異なる点は、自己診断用電極14の端子形成部14Bと結合部14Cを省略し、対向電極14Aを枠電極15側に延長して枠電極15と一体化した点である。
次に、この発明の実施の形態2を図にもとづいて説明する。図2は、実施の形態2によるセンサチップ部10の構成を示すもので、(a)はシールドを装着した状態を示す平面図、(b)は上記シールドを取り除いた状態を示す平面図、(c)は(a)(b)のB−B線における断面図である。これらの図において、図1と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
自己診断時には、実施の形態1と同様、可動電極13と枠電極15との間に所定の電圧を印加する。実施の形態2ではこの場合、シールド18Aと可動電極13との間にも所定の電圧が印加されることになり、静電気力が作用して質量体13Aに影響を及ぼすことになるが、図2(a)(b)において上下方向に印加される加速度による変動量に比べて無視できるほど微小なものであるため、実際上はほとんど影響しない。
次に、この発明の実施の形態3を図にもとづいて説明する。図3は、実施の形態3による加速度センサの回路構成を示すブロック図で、(a)は通常の加速度センサとしての動作状態を示し、(b)は自己診断時の状態を示す。これらの図において、図5と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
次に、この発明の実施の形態4を図にもとづいて説明する。図4は、実施の形態4による加速度センサの回路構成を示すブロック図で、(a)は通常の加速度センサとしての動作状態を示し、(b)は第2の固定電極と可動電極とで形成されるコンデンサC2を診断対象とする状態を示し、(c)は第1の固定電極と可動電極とで形成されるコンデンサC1を診断対象とする状態を示す。これらの図において、図5と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
そのため、第2の固定電極12は自己診断回路27から所定の電圧が印加されて自己診断電極として作用し、可動電極13の質量体13Aを変位させてコンデンサC1を変化させる。
Claims (4)
- 枠電極内に離隔して設けられた一対の固定電極と、上記一対の固定電極間で加速度に応じて変位し得るようにされ、上記各固定電極との間の静電容量を変化させる質量体を有する可動電極と、上記質量体に対向して配設され上記枠電極に固定された自己診断用電極とを備えた加速度センサ。
- 上記枠電極に装着され、上記枠電極に接続されたシールドを設けたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 一対の固定電極と、上記各固定電極間に配設され、加速度に応じて変位することにより上記各固定電極との間の静電容量を変化させる可動電極とを有するセンサチップ部と、上記静電容量の変化を電圧に変換して加速度を検出する信号処理回路と、自己診断時に上記固定電極の一方に所定の電圧を印加する自己診断回路と、上記自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される自己診断用コンデンサとを備えたことを特徴とする加速度センサ。
- 一対の固定電極と、上記各固定電極間に配設され、加速度に応じて変位することにより上記各固定電極との間の静電容量を変化させる可動電極とを有するセンサチップ部と、上記静電容量の変化を電圧に変換して加速度を検出する信号処理回路と、一方の固定電極と上記可動電極とによって形成されるコンデンサの自己診断時に他方の固定電極に所定の電圧を印加する自己診断回路と、上記自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される自己診断用コンデンサと、他方の固定電極と上記可動電極とによって形成されるコンデンサの自己診断時に一方の固定電極に所定の電圧を印加する別の自己診断回路と、上記別の自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される別の自己診断用コンデンサとを備えたことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006210356A JP5061524B2 (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006210356A JP5061524B2 (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008039435A true JP2008039435A (ja) | 2008-02-21 |
JP5061524B2 JP5061524B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=39174638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006210356A Expired - Fee Related JP5061524B2 (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5061524B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011007707A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサの異常診断装置 |
JP2011095104A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 静電容量式センサ |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0961456A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
JPH1090299A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | 静電容量式加速度センサ |
JPH1151967A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 多軸加速度センサ及びその製造方法 |
JP2000329562A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-11-30 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP2002040047A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Denso Corp | 容量型物理量検出センサ |
JP2003028741A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型センサ装置 |
JP2004202604A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Aisin Seiki Co Ltd | パッケージ構造および製造方法 |
JP2005114440A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 故障診断可能な静電容量検出型加速度センサ |
JP2005127890A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 自己診断可能な静電容量検出型加速度センサ |
JP2005345206A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
-
2006
- 2006-08-01 JP JP2006210356A patent/JP5061524B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0961456A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
JPH1090299A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | 静電容量式加速度センサ |
JPH1151967A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 多軸加速度センサ及びその製造方法 |
JP2000329562A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-11-30 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP2002040047A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Denso Corp | 容量型物理量検出センサ |
JP2003028741A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-29 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型センサ装置 |
JP2004202604A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Aisin Seiki Co Ltd | パッケージ構造および製造方法 |
JP2005114440A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 故障診断可能な静電容量検出型加速度センサ |
JP2005127890A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 自己診断可能な静電容量検出型加速度センサ |
JP2005345206A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011007707A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサの異常診断装置 |
JP2011095104A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 静電容量式センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5061524B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8427177B2 (en) | Capacitance sensor | |
US8759927B2 (en) | Hybrid intergrated component | |
JP4670427B2 (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
JP4752952B2 (ja) | 力学量センサ、及び該力学量センサの製造方法 | |
JP5284911B2 (ja) | 静電容量型物理量センサ及び角速度センサ | |
JP2007178420A (ja) | 容量式物理量センサおよびその診断方法 | |
US6963134B2 (en) | Semiconductor sensor with substrate having a certain electric potential | |
JP5095927B2 (ja) | センサ | |
US8013403B2 (en) | Sensor apparatus for detecting variations in a dynamic quantity while suppressing detection deviations that are caused by bending deformation of a sensor chip | |
JP5061524B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP6660295B2 (ja) | ピックオフトランスデューサワイヤボンドビット検出 | |
US6370960B1 (en) | Capacitive sensor | |
US20160142044A1 (en) | Signal processing device | |
JP2005114440A (ja) | 故障診断可能な静電容量検出型加速度センサ | |
JP2007248327A (ja) | 加速度センサ | |
JP2004294071A (ja) | 容量型半導体センサ装置 | |
JP5648595B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3750679B2 (ja) | 外力検知センサ装置 | |
JP2010190701A (ja) | 圧力センサの実装構造 | |
JP5609801B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP6982725B2 (ja) | センサ | |
CN109641740A (zh) | 具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法 | |
JP2745908B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP2006250910A (ja) | 加速度センサ | |
US20130276537A1 (en) | Micromechanical sensor element and sensor device having this type of sensor element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110506 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |