JP2011016712A - 冷却ノズル及びそれを用いた冷却方法並びに脆性材料基板の割断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円環状に形成された気体噴出口61と、この円環状の気体噴出口61の略中心から外方に突出した、冷却液が噴出する液管8とを設ける。そして、液管8の突出量を0.5〜1.0mmの範囲とする。また、冷却液量を少なくし且つ冷却スポットを小さくする観点からは、液管8の先端81から3mm以上を同一内径の直管部とするのが好ましい。ノズルキャップ6の気体流路62の内周面の、中心軸Oに対する傾斜角度を、気体噴出口61に向かって段階的に小さくするのが好ましい。
【選択図】図1
Description
7 ノズルピース
8 液管
N 冷却ノズル
d 気体噴出口からの液管の突出量
50 脆性材料基板
52 スクライブライン
53 垂直クラック
61 気体噴出口
62 気体流路
63 第1傾斜面
64 第2傾斜面
71 液流路
72 気体流路
81 先端
LB レーザビーム
Claims (7)
- 円環状に形成された気体噴出口と、この円環状の気体噴出口の略中心から外方に突出した、冷却液が噴出する液管とを有し、
前記液管の突出量が0.5〜1.0mmの範囲であることを特徴とする冷却ノズル。 - 前記液管の先端から3mm以上が同一内径の直管部である請求項1記載の冷却ノズル。
- 気体流路の中心軸に対する、気体流路の内周面の傾斜角度が、前記気体噴出口に向かって段階的に小さくなる請求項1又は2記載の冷却ノズル。
- 前記気体噴出口に向かって、前記気体流路の内周面が45〜60°に傾斜した後、20〜30°に傾斜した請求項3記載の冷却ノズル。
- 前記請求項1〜4のいずれかに記載の冷却ノズルを用いて被冷却物を冷却する方法であって、
前記冷却ノズルの前記液管の先端と被冷却物の表面との距離を3〜10mmの範囲とすることを特徴とする冷却方法。 - 脆性材料基板に対してレーザビームを相対移動させながら照射して、前記基板を溶融温度未満に加熱した後、前記基板に対して冷却ノズルから冷却液を噴出させて冷却して、前記基板に生じた熱応力によって、垂直クラックからなるスクライブラインを形成する工程を含む脆性材料基板の割断方法において、
前記冷却ノズルとして、前記請求項1〜4のいずれかに記載の冷却ノズルを用いることを特徴とする脆性材料基板の割断方法。 - 前記冷却ノズルの前記液管の先端と脆性材料基板の表面との距離を3〜10mmの範囲とする請求項6記載の脆性材料基板の割断方法。
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