JPH11314187A - 熱切断加工機用加工ヘッド - Google Patents
熱切断加工機用加工ヘッドInfo
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- JPH11314187A JPH11314187A JP10119253A JP11925398A JPH11314187A JP H11314187 A JPH11314187 A JP H11314187A JP 10119253 A JP10119253 A JP 10119253A JP 11925398 A JP11925398 A JP 11925398A JP H11314187 A JPH11314187 A JP H11314187A
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- JP
- Japan
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- processing
- processing head
- nozzle
- electrode
- refrigerant
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ドライおよび水の雰囲気中でも使用でき、加
工中にワークとのクリアランスを制御すると共にワーク
の加工熱を冷却除去し温度の安定化を図る。 【解決手段】 加工ヘッド本体３の下部に設けたセンサ
ヘッド９としてのガード電極１１内に外側ノズルナット
ホルダ１７と内側ノズルナットホルダ１３とにより固定
されたノズルナット２３にインナーノズル２５が螺合さ
れ、このインナーノズル２５の外側にアウターノズル４
７が設けられている。前記センサヘッド９内にアウター
ジャケット４３とインナージャケット４１とで冷媒通路
４５が構成され、この冷媒通路４５に接線方向より冷媒
が流入する冷媒供給路５１を設けた。而して、センサは
ドライおよび水の雰囲気中でも使用でき、倣い機能の向
上を図る。
工中にワークとのクリアランスを制御すると共にワーク
の加工熱を冷却除去し温度の安定化を図る。 【解決手段】 加工ヘッド本体３の下部に設けたセンサ
ヘッド９としてのガード電極１１内に外側ノズルナット
ホルダ１７と内側ノズルナットホルダ１３とにより固定
されたノズルナット２３にインナーノズル２５が螺合さ
れ、このインナーノズル２５の外側にアウターノズル４
７が設けられている。前記センサヘッド９内にアウター
ジャケット４３とインナージャケット４１とで冷媒通路
４５が構成され、この冷媒通路４５に接線方向より冷媒
が流入する冷媒供給路５１を設けた。而して、センサは
ドライおよび水の雰囲気中でも使用でき、倣い機能の向
上を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークに熱切断
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、熱切断加工機として例えばレーザ
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
【０００３】また、倣い機能を備えた加工ヘッドとして
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
【０００５】更に、ワークが三次元的形状の場合には、
衝突の問題があって使用できない。
衝突の問題があって使用できない。
【０００６】したがって、今までの加工ヘッドとして
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
【０００７】この発明の目的は、ドライおよび水の雰囲
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明の熱切断加工機用加工ヘッド
は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設けられ、熱切
断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出するための噴出
用穴を有すると共にワークとのクリアランスを検出する
ため第１電極となるインナーノズルと、前記加工ヘッド
本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して着脱可能に
設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙間を形成す
ると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有したアウタ
ーノズルと、で構成されていることを特徴とするもので
ある。
に請求項１によるこの発明の熱切断加工機用加工ヘッド
は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設けられ、熱切
断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出するための噴出
用穴を有すると共にワークとのクリアランスを検出する
ため第１電極となるインナーノズルと、前記加工ヘッド
本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して着脱可能に
設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙間を形成す
ると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有したアウタ
ーノズルと、で構成されていることを特徴とするもので
ある。
【０００９】したがって、この熱切断加工機用加工ヘッ
ドを用いてワークに熱切断加工を行う際には、ワークと
のクリアランスがインナーノズルとなる第１電極で制御
される。ワークとのクリアランスを一定に制御した状態
で熱切断ビームおよび加工補助ガスがインナーノズルの
先端に有した噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワ
ークに熱切断加工が行われる。
ドを用いてワークに熱切断加工を行う際には、ワークと
のクリアランスがインナーノズルとなる第１電極で制御
される。ワークとのクリアランスを一定に制御した状態
で熱切断ビームおよび加工補助ガスがインナーノズルの
先端に有した噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワ
ークに熱切断加工が行われる。
【００１０】ワークに熱切断加工を行っているときに、
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
【００１１】請求項２によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記加工ヘッド本体の先端部近傍を構成する部
品が、前記インナーノズルの第１電極の指向性を制御す
るための第２電極となりうる構成構造であることを特徴
とするものである。
加工ヘッドは、請求項１の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記加工ヘッド本体の先端部近傍を構成する部
品が、前記インナーノズルの第１電極の指向性を制御す
るための第２電極となりうる構成構造であることを特徴
とするものである。
【００１２】したがって、加工ヘッド本体とインナーノ
ズルとの間に第２電極となりうる部品を設けたことによ
り、インナーノズルの第１電極の指向性が向上される。
ズルとの間に第２電極となりうる部品を設けたことによ
り、インナーノズルの第１電極の指向性が向上される。
【００１３】請求項３によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記加工ヘッド本体に熱切断ビームおよび加工
補助ガスを通過させるための空間とは別に、前記隙間に
連通し冷媒を供給するための冷媒通路を設けてなること
を特徴とするものである。
加工ヘッドは、請求項１の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記加工ヘッド本体に熱切断ビームおよび加工
補助ガスを通過させるための空間とは別に、前記隙間に
連通し冷媒を供給するための冷媒通路を設けてなること
を特徴とするものである。
【００１４】したがって、加工ヘッド本体に設けられた
冷媒通路に冷媒が送られた後、隙間を経て噴霧用穴から
ワークへ向けて正確かつ確実に噴霧される。
冷媒通路に冷媒が送られた後、隙間を経て噴霧用穴から
ワークへ向けて正確かつ確実に噴霧される。
【００１５】請求項４によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項２の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記センサヘッドに熱切断ビームおよび加工補
助ガスを通過させるための空間とは別に、前記隙間に連
通し冷媒を供給するための冷媒通路を設けてなることを
特徴とするものである。
加工ヘッドは、請求項２の熱切断加工機用加工ヘッドに
おいて、前記センサヘッドに熱切断ビームおよび加工補
助ガスを通過させるための空間とは別に、前記隙間に連
通し冷媒を供給するための冷媒通路を設けてなることを
特徴とするものである。
【００１６】したがって、センサヘッドに設けられた冷
媒通路に冷却が送られた後、隙間を経て噴霧用穴からワ
ークへ向けて正確かつ確実に噴霧される。
媒通路に冷却が送られた後、隙間を経て噴霧用穴からワ
ークへ向けて正確かつ確実に噴霧される。
【００１７】請求項５によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記加工ヘッド本体の先端部の
アウターノズル装着部は、電気絶縁材で構成されている
と共に、前記第１電極および第２電極と筐体アースから
装着されるアウターノズルが電気的に絶縁される構造で
あることを特徴とするものである。
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記加工ヘッド本体の先端部の
アウターノズル装着部は、電気絶縁材で構成されている
と共に、前記第１電極および第２電極と筐体アースから
装着されるアウターノズルが電気的に絶縁される構造で
あることを特徴とするものである。
【００１８】請求項６によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記アウターノズルは、少なく
とも加工ヘッド本体又は加工ヘッド本体の先端部近傍を
構成する部品への装着部分が電気絶縁材で構成されてい
ると共に、前記第１電極および第２電極と筐体アースよ
り電気的に絶縁された構造であることを特徴とするもの
である。
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記アウターノズルは、少なく
とも加工ヘッド本体又は加工ヘッド本体の先端部近傍を
構成する部品への装着部分が電気絶縁材で構成されてい
ると共に、前記第１電極および第２電極と筐体アースよ
り電気的に絶縁された構造であることを特徴とするもの
である。
【００１９】請求項７によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記アウターノズルは、電気的
導通性のない非金属により構成されていることを特徴と
するものである。
加工ヘッドは、請求項１，２，３又は４の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記アウターノズルは、電気的
導通性のない非金属により構成されていることを特徴と
するものである。
【００２０】したがって、請求項５，６，７の発明では
アウターノズルは第１電極，第２電極および加工ヘッド
本体から絶縁されているので、アウターノズルより第１
電極，第２電極を影響せしめる外乱が入り込まず、第１
電極，第２電極でワークとのクリアランスが正確かつ確
実に制御される。
アウターノズルは第１電極，第２電極および加工ヘッド
本体から絶縁されているので、アウターノズルより第１
電極，第２電極を影響せしめる外乱が入り込まず、第１
電極，第２電極でワークとのクリアランスが正確かつ確
実に制御される。
【００２１】請求項８によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項１，２，３，４，５，６又は７の
熱切断加工機用加工ヘッドにおいて、前記インナーノズ
ルは、第１電極となりえるための金属製又は導通性のあ
る表面処理がなされていると共に、先端部分が噴霧され
る冷媒と、熱切断ビームおよび加工補助ガスと干渉しに
くい構成であることを特徴とするものである。
加工ヘッドは、請求項１，２，３，４，５，６又は７の
熱切断加工機用加工ヘッドにおいて、前記インナーノズ
ルは、第１電極となりえるための金属製又は導通性のあ
る表面処理がなされていると共に、先端部分が噴霧され
る冷媒と、熱切断ビームおよび加工補助ガスと干渉しに
くい構成であることを特徴とするものである。
【００２２】したがって、インナーノズルが金属製又は
導通性のある表面処理がなされているので、ワークとの
クリアランスを制御する第１電極となり、正確なクリア
ランスが得られる。また、インナーノズルの先端部分が
噴霧される冷媒と熱切断ビームおよび加工補助ガスと干
渉しにくい構成となっているので、冷媒は熱切断ビー
ム、および加工補助ガスと干渉せずにワークへ向けて噴
出されて、加工点すなわち切断カーフに流入するのが防
止されると共に加工中に発生するワークの加工熱が冷却
除去される。
導通性のある表面処理がなされているので、ワークとの
クリアランスを制御する第１電極となり、正確なクリア
ランスが得られる。また、インナーノズルの先端部分が
噴霧される冷媒と熱切断ビームおよび加工補助ガスと干
渉しにくい構成となっているので、冷媒は熱切断ビー
ム、および加工補助ガスと干渉せずにワークへ向けて噴
出されて、加工点すなわち切断カーフに流入するのが防
止されると共に加工中に発生するワークの加工熱が冷却
除去される。
【００２３】請求項９によるこの発明の熱切断加工機用
加工ヘッドは、請求項３，４，５，６，７又は８の熱切
断加工機用加工ヘッドにおいて、前記冷媒通路で冷媒を
一定方向に回転しながら前記隙間に供給するために、冷
媒通路に直交した方向より接線状に冷媒を流入する冷媒
供給路を接続せしめてなることを特徴とするものであ
る。
加工ヘッドは、請求項３，４，５，６，７又は８の熱切
断加工機用加工ヘッドにおいて、前記冷媒通路で冷媒を
一定方向に回転しながら前記隙間に供給するために、冷
媒通路に直交した方向より接線状に冷媒を流入する冷媒
供給路を接続せしめてなることを特徴とするものであ
る。
【００２４】したがって、冷媒は冷媒供給路より冷媒通
路に直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力
により十分均一化されて流れ、さらに隙間を経て噴霧用
穴からワークへ向けて噴出される。而して、加工点すな
わち切断カーフに流入するのが防止されると共に、より
一層ワークに発生した加工熱の冷却除去が行われる。
路に直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力
により十分均一化されて流れ、さらに隙間を経て噴霧用
穴からワークへ向けて噴出される。而して、加工点すな
わち切断カーフに流入するのが防止されると共に、より
一層ワークに発生した加工熱の冷却除去が行われる。
【００２５】請求項１０によるこの発明の熱切断加工機
用加工ヘッドは、請求項３，４，５，６，７，８又は９
の熱切断加工機用加工ヘッドにおいて、前記冷媒通路が
円筒形又は円錐形で構成されていることを特徴とするも
のである。
用加工ヘッドは、請求項３，４，５，６，７，８又は９
の熱切断加工機用加工ヘッドにおいて、前記冷媒通路が
円筒形又は円錐形で構成されていることを特徴とするも
のである。
【００２６】したがって、冷媒は円筒形又は円錐形の冷
媒通路から回転力により均等に隙間を経て噴霧用穴から
ワークへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生した
加工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
媒通路から回転力により均等に隙間を経て噴霧用穴から
ワークへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生した
加工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
【００２７】請求項１１によるこの発明の熱切断加工機
用加工ヘッドは、請求項８，９又は１０の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記インナーノズルの先端部分
の外形状が、裾広がりのラッパ形状であることを特徴と
するものである。
用加工ヘッドは、請求項８，９又は１０の熱切断加工機
用加工ヘッドにおいて、前記インナーノズルの先端部分
の外形状が、裾広がりのラッパ形状であることを特徴と
するものである。
【００２８】したがって、第１電極としての面もしくは
空間を確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度
の向上が図られると共に、冷媒との干渉がより一層防止
される。
空間を確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度
の向上が図られると共に、冷媒との干渉がより一層防止
される。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
【００３０】図１および図２を参照するにレーザ加工機
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
【００３１】前記フランジ５に図示省略の絶縁部材を介
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
【００３２】そして、前記内側ノズルナットホルダ１３
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
【００３３】再び図１および図２を参照するに、前記外
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
【００３４】前記冷媒通路４５より前記インナーノズル
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
【００３５】前記冷媒通路４５へ冷媒を供給するための
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
【００３６】前記アウターノズル４７は、エンジニアリ
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
【００３７】前記インナーノズル２５は、図２に示され
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は裾広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は裾広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。
【００３８】つまり、ワークＷの加工点すなわち、切断
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
【００３９】なお、上述した構成において、アシストガ
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
【００４０】上述したごとく、水を冷媒として使用して
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
【００４１】上記構成により、この熱切断加工機用加工
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
【００４２】ワークＷにレーザ加工を行っているとき
に、冷媒ガスが隙間４９を経てアウターノズル４７に有
した噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加
工中に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安
定化を図ることができる。
に、冷媒ガスが隙間４９を経てアウターノズル４７に有
した噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加
工中に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安
定化を図ることができる。
【００４３】加工ヘッド本体３とインナーノズル２５と
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
【００４４】加工ヘッド本体３に設けられた冷媒通路４
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
【００４５】センサヘッド９に設けられた冷媒通路４５
に冷却が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
に冷却が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
【００４６】アウターノズル４７は第１電極２５，第２
電極９，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁さ
れているので、アウターノズル４７より第１電極２５，
第２電極９を影響せしめる外乱が入り込まず、第１電極
２５，第２電極９でワークＷとのクリアランスを正確か
つ確実に制御せしめることができる。
電極９，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁さ
れているので、アウターノズル４７より第１電極２５，
第２電極９を影響せしめる外乱が入り込まず、第１電極
２５，第２電極９でワークＷとのクリアランスを正確か
つ確実に制御せしめることができる。
【００４７】インナーノズル２５が金属製又は導通性の
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
【００４８】冷媒は冷媒供給路５１より冷媒通路４５に
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
【００４９】冷媒は円筒形又は円錐形の冷媒通路４５か
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
【００５０】インナーノズル２５の先端の外形状５９を
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
【００５１】また、冷媒は例えば３〜５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
【００５２】なお、この発明は前述した発明の実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
【００５３】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明よ
り理解されるように、請求項１の発明によれば、この熱
切断加工機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を
行う際には、ワークとのクリアランスをインナーノズル
となる第１電極で一定に制御せしめることができる。ワ
ークとのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビ
ームおよび加工補助ガスがインナーノズルの先端に有し
た噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好
な熱切断加工を行うことができる。
り理解されるように、請求項１の発明によれば、この熱
切断加工機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を
行う際には、ワークとのクリアランスをインナーノズル
となる第１電極で一定に制御せしめることができる。ワ
ークとのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビ
ームおよび加工補助ガスがインナーノズルの先端に有し
た噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好
な熱切断加工を行うことができる。
【００５４】ワークに熱切断加工を行っているときに、
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
【００５５】請求項２の発明によれば、加工ヘッド本体
とインナーノズルとの間に第２電極となるセンサヘッド
を設けたことにより、インナーノズルの第１電極の指向
性を向上せしめることができる。
とインナーノズルとの間に第２電極となるセンサヘッド
を設けたことにより、インナーノズルの第１電極の指向
性を向上せしめることができる。
【００５６】請求項３の発明によれば、加工ヘッド本体
に設けられた冷媒通路に冷媒が送られた後、隙間を経て
噴霧用穴からワークへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧
せしめることができる。
に設けられた冷媒通路に冷媒が送られた後、隙間を経て
噴霧用穴からワークへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧
せしめることができる。
【００５７】請求項４の発明によれば、センサヘッドに
設けられた冷媒通路に冷却が送られた後、隙間を経て噴
霧用穴からワークへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せ
しめることができる。
設けられた冷媒通路に冷却が送られた後、隙間を経て噴
霧用穴からワークへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せ
しめることができる。
【００５８】請求項５，６，７の発明によれば、アウタ
ーノズルは第１電極，第２電極および加工ヘッド本体か
ら絶縁されているので、アウターノズルより第１電極，
第２電極を影響せしめる外乱が入り込まず、第１電極，
第２電極でワークとのクリアランスを正確かつ確実に制
御せしめることができる。
ーノズルは第１電極，第２電極および加工ヘッド本体か
ら絶縁されているので、アウターノズルより第１電極，
第２電極を影響せしめる外乱が入り込まず、第１電極，
第２電極でワークとのクリアランスを正確かつ確実に制
御せしめることができる。
【００５９】請求項８の発明によれば、インナーノズル
が金属製又は導通性のある表面処理がなされているの
で、ワークとのクリアランスを制御する第１電極とな
り、正確なクリアランスを得ることができる。また、イ
ンナーノズルの先端部分が噴霧される冷媒が熱切断ビー
ムおよび加工補助ガスと干渉しにくい構成となっている
ので、冷媒は熱切断ビーム、および加工補助ガスと干渉
せずにワークへ向けて噴出されて、加工点すなわち切断
カーフに流入するのを防止することができる共に加工中
に発生するワークの加工熱を冷却除去せしめることがで
きる。
が金属製又は導通性のある表面処理がなされているの
で、ワークとのクリアランスを制御する第１電極とな
り、正確なクリアランスを得ることができる。また、イ
ンナーノズルの先端部分が噴霧される冷媒が熱切断ビー
ムおよび加工補助ガスと干渉しにくい構成となっている
ので、冷媒は熱切断ビーム、および加工補助ガスと干渉
せずにワークへ向けて噴出されて、加工点すなわち切断
カーフに流入するのを防止することができる共に加工中
に発生するワークの加工熱を冷却除去せしめることがで
きる。
【００６０】請求項９の発明によれば、冷媒は冷媒供給
路より冷媒通路に直交した方向より接線状に流入される
から、遠心力により十分均一化されて流れ、さらに隙間
を経て噴霧用穴からワークへ向けて噴出される。而し
て、加工点すなわち切断カーフに流入するのを防止する
ことができると共に、より一層ワークに発生した加工熱
の冷却除去を行うことができる。
路より冷媒通路に直交した方向より接線状に流入される
から、遠心力により十分均一化されて流れ、さらに隙間
を経て噴霧用穴からワークへ向けて噴出される。而し
て、加工点すなわち切断カーフに流入するのを防止する
ことができると共に、より一層ワークに発生した加工熱
の冷却除去を行うことができる。
【００６１】請求項１０の発明によれば、冷媒は円筒形
又は円錐形の冷媒通路から回転力により均等に隙間を経
て噴霧用穴からワークへ向けてスムーズに噴出されて加
工中に発生した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図る
ことができる。
又は円錐形の冷媒通路から回転力により均等に隙間を経
て噴霧用穴からワークへ向けてスムーズに噴出されて加
工中に発生した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図る
ことができる。
【００６２】請求項１１の発明によれば、第１電極とし
ての面もしくは空間を確保し、よりワークとのクリアラ
ンスの検知精度の向上が図られると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
ての面もしくは空間を確保し、よりワークとのクリアラ
ンスの検知精度の向上が図られると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
【図１】この発明の主要部を示し、センサヘッドの断面
図である。
図である。
【図２】図１における異なった部分を示す断面図であ
る。
る。
【図３】従来例を示し、スプーン型倣いセンサを備えた
加工ヘッドの断面説明図である。
加工ヘッドの断面説明図である。
１ レーザ加工機用加工ヘッド（熱切断加工機用加工ヘ
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム）
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム）
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 熱切断加工機用加工ヘッド
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークに熱切断
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、熱切断加工機として例えばレーザ
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
【０００３】また、倣い機能を備えた加工ヘッドとして
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
【０００５】更に、ワークが三次元的形状の場合には、
衝突の問題があって使用できない。
衝突の問題があって使用できない。
【０００６】したがって、今までの加工ヘッドとして
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
【０００７】この発明の目的は、ドライおよび水の雰囲
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明の熱切断加工機用加工ヘッド
は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設けられ、熱切
断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出するための噴出
用穴を有すると共にワークとのクリアランスを検出する
ため第１電極となるインナーノズルと、前記加工ヘッド
本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して着脱可能に
設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙間を形成す
ると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有したアウタ
ーノズルとを備え、前記インナーノズルの先端部の外形
状が裾広がりのラッパ形状の構成である。
に請求項１によるこの発明の熱切断加工機用加工ヘッド
は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設けられ、熱切
断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出するための噴出
用穴を有すると共にワークとのクリアランスを検出する
ため第１電極となるインナーノズルと、前記加工ヘッド
本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して着脱可能に
設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙間を形成す
ると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有したアウタ
ーノズルとを備え、前記インナーノズルの先端部の外形
状が裾広がりのラッパ形状の構成である。
【０００９】したがって、この熱切断加工機用加工ヘッ
ドを用いてワークに熱切断加工を行う際には、ワークと
のクリアランスがインナーノズルとなる第１電極で制御
される。ワークとのクリアランスを一定に制御した状態
で熱切断ビームおよび加工補助ガスがインナーノズルの
先端に有した噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワ
ークに熱切断加工が行われる。
ドを用いてワークに熱切断加工を行う際には、ワークと
のクリアランスがインナーノズルとなる第１電極で制御
される。ワークとのクリアランスを一定に制御した状態
で熱切断ビームおよび加工補助ガスがインナーノズルの
先端に有した噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワ
ークに熱切断加工が行われる。
【００１０】ワークに熱切断加工を行っているときに、
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化が図られる。
【００１１】また、第１電極としての面もしくは空間を
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉がより一層防止され
る。
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉がより一層防止され
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
【００１３】図１および図２を参照するにレーザ加工機
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
【００１４】前記フランジ５に図示省略の絶縁部材を介
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
【００１５】そして、前記内側ノズルナットホルダ１３
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
【００１６】再び図１および図２を参照するに、前記外
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
【００１７】前記冷媒通路４５より前記インナーノズル
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
【００１８】前記冷媒通路４５へ冷媒を供給するための
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
【００１９】前記アウターノズル４７は、エンジニアリ
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
【００２０】前記インナーノズル２５は、図２に示され
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は裾広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。さらに、インナーノズル２５のラッパ形状部
分は、図１，図２より明らかなようにアウターノズル４
７の噴霧用穴４７Ｈから突出してある。
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は裾広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。さらに、インナーノズル２５のラッパ形状部
分は、図１，図２より明らかなようにアウターノズル４
７の噴霧用穴４７Ｈから突出してある。
【００２１】つまり、ワークＷの加工点すなわち、切断
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
【００２２】なお、上述した構成において、アシストガ
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
【００２３】上述したごとく、水を冷媒として使用して
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
【００２４】上記構成により、この熱切断加工機用加工
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
【００２５】ワークＷにレーザ加工を行っているとき
に、冷媒が隙間４９を経てアウターノズル４７に有した
噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加工中
に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安定化
を図ることができる。
に、冷媒が隙間４９を経てアウターノズル４７に有した
噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加工中
に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安定化
を図ることができる。
【００２６】加工ヘッド本体３とインナーノズル２５と
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
【００２７】加工ヘッド本体３に設けられた冷媒通路４
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
【００２８】センサヘッド９に設けられた冷媒通路４５
に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
【００２９】アウターノズル４７は第１電極２５，第２
電極１１，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁
されているので、アウターノズル４７より第１電極２
５，第２電極１１を影響せしめる外乱が入り込まず、第
１電極２５，第２電極１１でワークＷとのクリアランス
を正確かつ確実に制御せしめることができる。
電極１１，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁
されているので、アウターノズル４７より第１電極２
５，第２電極１１を影響せしめる外乱が入り込まず、第
１電極２５，第２電極１１でワークＷとのクリアランス
を正確かつ確実に制御せしめることができる。
【００３０】インナーノズル２５が金属製又は導通性の
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
【００３１】冷媒は冷媒供給路５１より冷媒通路４５に
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
【００３２】冷媒は円筒形又は円錐形の冷媒通路４５か
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
【００３３】インナーノズル２５の先端の外形状５９を
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
【００３４】また、冷媒は例えば３〜５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
【００３５】なお、この発明は前述した発明の実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
【００３６】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明よ
り理解されるように、請求項１の発明によれば、この熱
切断加工機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を
行う際には、ワークとのクリアランスをインナーノズル
となる第１電極で一定に制御せしめることができる。ワ
ークとのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビ
ームおよび加工補助ガスがインナーノズルの先端に有し
た噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好
な熱切断加工を行うことができる。
り理解されるように、請求項１の発明によれば、この熱
切断加工機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を
行う際には、ワークとのクリアランスをインナーノズル
となる第１電極で一定に制御せしめることができる。ワ
ークとのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビ
ームおよび加工補助ガスがインナーノズルの先端に有し
た噴出用穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好
な熱切断加工を行うことができる。
【００３７】ワークに熱切断加工を行っているときに、
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
【００３８】また、第１電極としての面もしくは空間を
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉をより一層防止せしめ
ることができる。
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉をより一層防止せしめ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の主要部を示し、センサヘッドの断面
図である。
図である。
【図２】図１における異なった部分を示す断面図であ
る。
る。
【図３】従来例を示し、スプーン型倣いセンサを備えた
加工ヘッドの断面説明図である。
加工ヘッドの断面説明図である。
【符号の説明】 １ レーザ加工機用加工ヘッド（熱切断加工機用加工ヘ
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム） ─────────────────────────────────────────────────────
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム） ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年８月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 熱切断加工機用加工ヘッド
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークに熱切断
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
加工を行う際に用いる熱切断加工機用加工ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、熱切断加工機として例えばレーザ
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
加工機に用いられる加工ヘッドは、ワークとのクリアラ
ンスを検出するセンサ機能を持たないもの、又はノズル
がダブル形状で外側を冷却用流体（水、ガスまたは水噴
霧）が流れている形式のものが一般的に採用されてい
る。
【０００３】また、倣い機能を備えた加工ヘッドとして
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
は、例えば、図３に示された構成の加工ヘッドが知られ
ている。すなわち、加工ヘッド１０１のノズル形状はシ
ングルノズルまたはダブルノズルであり、加工ヘッド１
０１の下部にスプーン型をしたリング状のセンサチップ
１０３が設けられている。この加工ヘッド１０１は、レ
ーザビーム、アシストガスと同軸で冷却水を噴出する
が、そのノズル自体はセンサ機能を持ち得ず、リング状
センサチップ１０３が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
来のレーザ加工機に用いられるノズルとして倣い機能を
備えたスプーン型のリング状センサチップ１０３では、
倣い機能はあるが、その精度（ノズルギャップの調整
等）に問題があり、実用に即さない。また、加工領域の
制限を受け、サン幅に制限が生じ、加工中にこのセンサ
チップ１０３を退避させなければならないが、実際問題
として退避することができない。
【０００５】更に、ワークが三次元的形状の場合には、
衝突の問題があって使用できない。
衝突の問題があって使用できない。
【０００６】したがって、今までの加工ヘッドとして
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
は、ドライな雰囲気でも水雰囲気中でも静電容量センサ
が影響を受けない類の倣いセンサ付きの加工ヘッドはな
かった。
【０００７】この発明の目的は、ドライおよび水の雰囲
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
気中でも使用でき、加工中にワークとのクリアランスを
制御すると共にワークの加工熱を冷却除去し温度の安定
化を図るようにした熱切断加工機用加工ヘッドを提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述のごとき問題に鑑み
て、本発明は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設け
られ、熱切断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出する
ための噴出用穴を有すると共にワークとのクリアランス
を検出するため第１電極となるインナーノズルと、前記
加工ヘッド本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して
着脱可能に設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙
間を形成すると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有
したアウターノズルとを備え、前記インナーノズルは、
下側が小径となるテーパ部の下部に形成したくびれ部の
下側先端部の外形状が、末広がりのラッパ形状であり、
このくびれ部分及びラッパ形状部分は、アウターノズル
の噴霧用穴から突出した構成である。
て、本発明は、加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設け
られ、熱切断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出する
ための噴出用穴を有すると共にワークとのクリアランス
を検出するため第１電極となるインナーノズルと、前記
加工ヘッド本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して
着脱可能に設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙
間を形成すると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有
したアウターノズルとを備え、前記インナーノズルは、
下側が小径となるテーパ部の下部に形成したくびれ部の
下側先端部の外形状が、末広がりのラッパ形状であり、
このくびれ部分及びラッパ形状部分は、アウターノズル
の噴霧用穴から突出した構成である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
面に基づいて詳細に説明する。なお、熱切断加工機用加
工ヘッドとしてレーザ加工機用加工ヘッドを対象として
説明するが、この機種に限定するものでない。
【００１０】図１および図２を参照するにレーザ加工機
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
用加工ヘッド１に設けた加工ヘッド本体３にフランジ５
が図示を省略したが締結部材にて一体的に固着されてい
る。
【００１１】前記フランジ５に図示省略の絶縁部材を介
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
して加工ヘッド本体３の先端部近傍を構成する部品とし
てのセンサヘッド９を構成する部材として第２電極とな
るガード電極１１が固着されている。このガード電極１
１の内部に内側ノズルナットホルダ１３が設けられ、こ
の内側ノズルナットホルダ１３の軸中心には熱切断ビー
ムとしてのレーザビームＬＢおよび加工補助ガス（アシ
ストガス）を通過せしめるための円錘状の空間１５が形
成されている。前記内側ノズルナットホルダ１３の外側
には外側ノズルナットホルダ１７が装着されている。
【００１２】そして、前記内側ノズルナットホルダ１３
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
の下部には、絶縁材料で製作された絶縁カラー１９を介
し、また外側ノズルナットホルダ１７には絶縁材料で製
作された絶縁カップ２１を介してノズルナット２３が固
定支持されている。このノズルナット２３は、インナー
ノズル２５のネジ相手となりセンタ電極となるものであ
る。より詳細には、ノズルナット２３の下部内側にはネ
ジ部２７が形成され、このネジ部２７にインナーノズル
２５が螺合して固定されるものである。また、ノズルナ
ット２３にはケーブル２９が連結され、このケーブル２
９はコネクタ３１，３３に連結され、図１に示したごと
く空間部３５内に設けられ、コネクタ３７より機外のケ
ーブルに接続されている。なお、符号３９は、コネクタ
３７をスパッタより保護するカバーである。
【００１３】再び図１および図２を参照するに、前記外
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
側ノズルナットホルダ１７の外側にはインナージャケッ
ト４１が装着されていて、このインナージャケット４１
は非金属製であり、電気的に絶縁する材質で構成されて
いる。また、前記インナージャケット４１の外方にはア
ウタージャケット４３が装着されていて、このアウター
ジャケット４３と前記インナージャケット４１との間の
円錘形状の空間に冷媒が流れる冷媒通路４５が形成され
ている。この冷媒通路４５は円筒形状であっても構わな
い。なお、アウタージャケット４３も非金属製であり、
電気的に絶縁する材質（電気絶縁材）で構成されてい
る。
【００１４】前記冷媒通路４５より前記インナーノズル
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
２５の外側壁面とアウターノズル４７との間に形成され
た隙間４９を通って冷媒（冷却ガスまたは冷却水）はア
ウターノズル４７の先端に有した噴霧用穴４７Ｈから噴
出される。
【００１５】前記冷媒通路４５へ冷媒を供給するための
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
構成は、図１に示されているごとく、センサヘッド９で
あるガード電極１１に前記冷媒通路４５に直交した方向
より冷媒が供給される冷媒供給路５１が設けられてい
る。より詳細には、冷媒供給路５１は、供給用継手５３
と短管５５とアウタージャケット４３の外周に形成した
流路５７とで構成され、流路５７は前記冷媒通路４５に
対して接線方向より冷媒が供給されるように設けられて
いる。したがって、外部より冷媒供給路５１に供給され
た冷媒は、接線方向より冷媒通路４５に入り遠心力によ
り十分均一化された流れで噴霧されるので、冷却効果を
上げることができる。
【００１６】前記アウターノズル４７は、エンジニアリ
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
ングプラスチックもしくはセラミックス等の非金属で構
成されている。または金属製である場合には加工ヘッド
本体３に装着される部分が電気絶縁材で構成されてい
て、前記ガード電極１１またはインナーノズル２５およ
び筐体アースから電気的に絶縁され着脱可能に固定され
ている。
【００１７】前記インナーノズル２５は、図２に示され
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は末広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。より詳細にはインナーノズル２５の外形は、
図１，図２より明らかなように、下側が小径となるテー
パ部に形成してあり、このテーパ部の下部に形成したく
びれ部の下側に前記ラッパ形状部分を備えた構成であっ
て、このくびれ部分とラッパ形状部分は、図１，図２よ
り明らかなようにアウターノズル４７の噴霧用穴４７Ｈ
から突出してある。
ているごとく、レーザビームＬＢおよび加工補助ガスを
ワークＷへ照射せしめる噴出用穴２５Ｈを有していると
共に、先端の外形状５９は末広がりのラッパ形状をな
し、冷媒の流れがアシストガスと干渉しないよう配慮さ
れている。より詳細にはインナーノズル２５の外形は、
図１，図２より明らかなように、下側が小径となるテー
パ部に形成してあり、このテーパ部の下部に形成したく
びれ部の下側に前記ラッパ形状部分を備えた構成であっ
て、このくびれ部分とラッパ形状部分は、図１，図２よ
り明らかなようにアウターノズル４７の噴霧用穴４７Ｈ
から突出してある。
【００１８】つまり、ワークＷの加工点すなわち、切断
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
カーフに冷媒が届かないようにしている。しかも、先端
の外形状５９をラッパ形状にすることで電極としての面
（もしくは空間）を確保し、より検知精度の向上を図る
ことができる。
【００１９】なお、上述した構成において、アシストガ
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
スあるいは冷媒の漏れを防ぐため適所に図示省略のシー
ル部材が設けられていると共に、アウタージャケット４
３，ノズルナット２３の回り止めとして図示省略のピン
が設けられている。また、符号６１はカバーである。
【００２０】上述したごとく、水を冷媒として使用して
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
も、ドライの場合の加工時と同一のセンサ性能を持つこ
とができ、調整の正確化、調整の便利性等倣い機能の向
上を図ることができる。
【００２１】上記構成により、この熱切断加工機用加工
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
ヘッド１を用いてワークＷにレーザ加工を行う際には、
ワークＷとのクリアランスをインナーノズル２５となる
第１電極で一定に制御せしめることができる。ワークＷ
とのクリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビーム
としてのレーザビームおよび加工補助ガスがインナーノ
ズル２５の先端に有した噴出用穴２５ＨからワークＷへ
向けて噴出されてワークＷに良好なレーザ加工を行うこ
とができる。
【００２２】ワークＷにレーザ加工を行っているとき
に、冷媒が隙間４９を経てアウターノズル４７に有した
噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加工中
に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安定化
を図ることができる。
に、冷媒が隙間４９を経てアウターノズル４７に有した
噴霧用穴４７ＨからワークＷへ向けて噴霧されて加工中
に発生したワークＷの加工熱を冷却除去し温度の安定化
を図ることができる。
【００２３】加工ヘッド本体３とインナーノズル２５と
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
の間に第２電極となるセンサヘッド９を設けたことによ
り、インナーノズル２５の第１電極の指向性を向上せし
めることができる。
【００２４】加工ヘッド本体３に設けられた冷媒通路４
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
５に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈ
からワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめ
ることができる。
【００２５】センサヘッド９に設けられた冷媒通路４５
に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
に冷媒が送られた後、隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けて冷媒を正確かつ確実に噴霧せしめる
ことができる。
【００２６】アウターノズル４７は第１電極２５，第２
電極１１，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁
されているので、アウターノズル４７より第１電極２
５，第２電極１１を影響せしめる外乱が入り込まず、第
１電極２５，第２電極１１でワークＷとのクリアランス
を正確かつ確実に制御せしめることができる。
電極１１，加工ヘッド本体３および筐体アースから絶縁
されているので、アウターノズル４７より第１電極２
５，第２電極１１を影響せしめる外乱が入り込まず、第
１電極２５，第２電極１１でワークＷとのクリアランス
を正確かつ確実に制御せしめることができる。
【００２７】インナーノズル２５が金属製又は導通性の
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
ある表面処理がなされているので、ワークＷとのクリア
ランスを制御する第１電極２５となり、正確なクリアラ
ンスを得ることができる。また、インナーノズル２５の
先端部分が噴霧される冷媒がレーザビームおよび加工補
助ガスと干渉しにくい構成となっているので、冷媒はレ
ーザビーム、および加工補助ガスと干渉せずにワークＷ
へ向けて噴出されて、加工点すなわち切断カーフに流入
するのを防止することができると共に加工中に発生する
ワークの加工熱を冷却除去せしめることができる。
【００２８】冷媒は冷媒供給路５１より冷媒通路４５に
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
直交した方向より接線状に流入されるから、遠心力によ
り十分均一化されて流れ、さらに隙間４９を経て噴霧用
穴４７ＨからワークＷへ向けて噴出される。而して、加
工点すなわち切断カーフに流入するのを防止することが
できると共に、より一層ワークＷに発生した加工熱の冷
却除去を行うことができる。
【００２９】冷媒は円筒形又は円錐形の冷媒通路４５か
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
ら回転力により均等に隙間４９を経て噴霧用穴４７Ｈか
らワークＷへ向けてスムーズに噴出されて加工中に発生
した加工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができ
る。
【００３０】インナーノズル２５の先端の外形状５９を
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
ラッパ形状部としたので、第１電極２５としての面もし
くは空間を確保し、よりワークＷとのクリアランスの検
知精度の向上を図ることができると共に、冷媒との干渉
をより一層防止せしめることができる。
【００３１】また、冷媒は例えば３〜５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
圧縮空気と防錆材が混入された水とを混合器で混合し、
導電率２０００μｓ／ｃｍ以下もしくはそれに近い値の
ものを使うのが好ましい。
【００３２】なお、この発明は前述した発明の実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。例えば、冷
媒通過用のインナージャケット４１とアウタージャケッ
ト４３の壁面に絶縁物質のコーティングをしても良く、
冷媒は直接アウターノズル４７に接続し供給しても良
い。更に、インナーノズル２５はシングルノズルとした
がダブルノズルでも良い。加工ヘッド本体３内にセンサ
ヘッド９を設けないものであっても対応できるものであ
る。
【００３３】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明よ
り理解されるように、本発明によれば、この熱切断加工
機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を行う際に
は、ワークとのクリアランスをインナーノズルとなる第
１電極で一定に制御せしめることができる。ワークとの
クリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビームおよ
び加工補助ガスがインナーノズルの先端に有した噴出用
穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好な熱切断
加工を行うことができる。
り理解されるように、本発明によれば、この熱切断加工
機用加工ヘッドを用いてワークに熱切断加工を行う際に
は、ワークとのクリアランスをインナーノズルとなる第
１電極で一定に制御せしめることができる。ワークとの
クリアランスを一定に制御した状態で熱切断ビームおよ
び加工補助ガスがインナーノズルの先端に有した噴出用
穴からワークへ向けて噴出されてワークに良好な熱切断
加工を行うことができる。
【００３４】ワークに熱切断加工を行っているときに、
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
冷媒が隙間を経てアウターノズルに有した噴霧用穴から
ワークへ向けて噴霧されて加工中に発生したワークの加
工熱を冷却除去し温度の安定化を図ることができる。
【００３５】また、第１電極としての面もしくは空間を
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉をより一層防止せしめ
ることができる。
確保し、よりワークとのクリアランスの検知精度の向上
が図られると共に、冷媒との干渉をより一層防止せしめ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の主要部を示し、センサヘッドの断面
図である。
図である。
【図２】図１における異なった部分を示す断面図であ
る。
る。
【図３】従来例を示し、スプーン型倣いセンサを備えた
加工ヘッドの断面説明図である。
加工ヘッドの断面説明図である。
【符号の説明】 １ レーザ加工機用加工ヘッド（熱切断加工機用加工ヘ
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム）
ッド） ３ 加工ヘッド本体 ９ センサヘッド １１ ガード電極 １３ 内側ノズルナットホルダ １５ 空間 １７ 外側ノズルナットホルダ ２３ ノズルナット ２５ インナーノズル ２５Ｈ 噴出用穴 ４１ インナージャケット ４３ アウタージャケット ４５ 冷媒通路 ４７ アウターノズル ４７Ｈ 噴霧用穴 ４９ 冷媒噴霧通路 ５１ 冷媒供給路 ５９ ラッパ状部 ＬＢ レーザビーム（熱切断ビーム）
Claims (11)
- 【請求項１】 加工ヘッド本体の先端に着脱可能に設け
られ、熱切断ビームおよび加工補助ガスを通過噴出する
ための噴出用穴を有すると共にワークとのクリアランス
を検出するため第１電極となるインナーノズルと、前記
加工ヘッド本体の先端に前記インナーノズルを囲繞して
着脱可能に設けられ、インナーノズルの外側壁面とで隙
間を形成すると共に冷媒を噴霧するための噴霧用穴を有
したアウターノズルと、で構成されていることを特徴と
する熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項２】 前記加工ヘッド本体の先端部近傍を構成
する部品が、前記インナーノズルの第１電極の指向性を
制御するための第２電極となりうる構成構造であること
を特徴とする請求項１記載の熱切断加工機用加工ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記加工ヘッド本体に熱切断ビームおよ
び加工補助ガスを通過させるための空間とは別に、前記
隙間に連通し冷媒を供給するための冷媒通路を設けてな
ることを特徴とする請求項１記載の熱切断加工機用加工
ヘッド。 - 【請求項４】 前記加工ヘッド本体の先端部近傍を構成
する部品に熱切断ビームおよび加工補助ガスを通過させ
るための空間とは別に、前記隙間に連通し冷媒を供給す
るための冷媒通路を設けてなることを特徴とする請求項
２記載の熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項５】 前記加工ヘッド本体の先端部のアウター
ノズル装着部は、電気絶縁材で構成されていると共に、
前記第１電極および第２電極と筐体アースから装着され
るアウターノズルが電気的に絶縁される構造であること
を特徴とする請求項１，２，３又は４記載の熱切断加工
機用加工ヘッド。 - 【請求項６】 前記アウターノズルは、少なくとも加工
ヘッド本体又は加工ヘッド本体の先端部近傍を構成する
部品への装着部分が電気絶縁材で構成されていると共
に、前記第１電極および第２電極と筐体アースより電気
的に絶縁された構造であることを特徴とする請求項１，
２，３又は４記載の熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項７】 前記アウターノズルは、電気的導通性の
ない非金属により構成されていることを特徴とする請求
項１，２，３又は４記載の熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項８】 前記インナーノズルは、第１電極となり
えるための金属製又は導通性のある表面処理がなされて
いると共に、先端部分が噴霧される冷媒と、熱切断ビー
ムおよび加工補助ガスと干渉しにくい構成であることを
特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７記載の
熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項９】 前記冷媒通路で冷媒を一定方向に回転し
ながら前記隙間に供給するために、冷媒通路に直交した
方向より接線状に冷媒を流入する冷媒供給路を接続せし
めてなることを特徴とする請求項３，４，５，６，７又
は８記載の熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項１０】 前記冷媒通路が円筒形又は円錐形で構
成されていることを特徴とする請求項３，４，５，６，
７，８又は９記載の熱切断加工機用加工ヘッド。 - 【請求項１１】 前記インナーノズルの先端部分の外形
状が、裾広がりのラッパ形状であることを特徴とする請
求項８，９又は１０記載の熱切断加工機用加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119253A JPH11314187A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 熱切断加工機用加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119253A JPH11314187A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 熱切断加工機用加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11314187A true JPH11314187A (ja) | 1999-11-16 |
Family
ID=14756759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10119253A Pending JPH11314187A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 熱切断加工機用加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11314187A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100409993C (zh) * | 2006-04-06 | 2008-08-13 | 龙岩理尚精密机械有限公司 | 数控激光切割头及其制造方法 |
| JP2009034982A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | National Applied Research Lab | 脆性材料のカッチング装置 |
| JP2011125906A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Komatsu Ntc Ltd | レーザ加工用ノズル |
| JP2013215743A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
| EP2261179B1 (en) * | 2009-06-09 | 2016-12-21 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Cooling nozzle, cooling method using the same, and brittle material substrate division method |
| CN106312328A (zh) * | 2015-07-07 | 2017-01-11 | 王爱华 | 一种激光切割装置 |
| CN109834395A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-04 | 奔腾激光(温州)有限公司 | 一种水雾冷却激光切割系统及其切割方法 |
| EP3533559A4 (en) * | 2016-10-27 | 2019-10-23 | Amada Holdings Co., Ltd. | METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING COOLING WATER TO A LASER MACHINING HEAD, AND METHOD FOR PRODUCING COOLING WATER |
| US20220234138A1 (en) * | 2021-01-28 | 2022-07-28 | II-VI Delaware, Inc | Nozzle adapter for laser cutting head |
| WO2022249831A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | コマツ産機株式会社 | レーザ加工機、及び、レーザ加工機用のノズルユニット |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP10119253A patent/JPH11314187A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100409993C (zh) * | 2006-04-06 | 2008-08-13 | 龙岩理尚精密机械有限公司 | 数控激光切割头及其制造方法 |
| JP2009034982A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | National Applied Research Lab | 脆性材料のカッチング装置 |
| EP2261179B1 (en) * | 2009-06-09 | 2016-12-21 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Cooling nozzle, cooling method using the same, and brittle material substrate division method |
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| JP2013215743A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
| CN106312328A (zh) * | 2015-07-07 | 2017-01-11 | 王爱华 | 一种激光切割装置 |
| US11878370B2 (en) | 2016-10-27 | 2024-01-23 | Amada Holdings Co., Ltd. | Method of and apparatus for supplying cooling water to laser processing head and method of producing cooling water |
| EP3533559A4 (en) * | 2016-10-27 | 2019-10-23 | Amada Holdings Co., Ltd. | METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING COOLING WATER TO A LASER MACHINING HEAD, AND METHOD FOR PRODUCING COOLING WATER |
| CN109834395A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-04 | 奔腾激光(温州)有限公司 | 一种水雾冷却激光切割系统及其切割方法 |
| KR20220109321A (ko) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 투-식스 델라웨어, 인코포레이티드 | 레이저 커팅 헤드용 노즐 어댑터 |
| US20220234138A1 (en) * | 2021-01-28 | 2022-07-28 | II-VI Delaware, Inc | Nozzle adapter for laser cutting head |
| US12103105B2 (en) * | 2021-01-28 | 2024-10-01 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Nozzle adapter for laser cutting head |
| WO2022249831A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | コマツ産機株式会社 | レーザ加工機、及び、レーザ加工機用のノズルユニット |
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