JP2011009299A - 高圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部材22と下部材21とを重ね合わせることにより形成される処理空間20内にて、基板Wに対して高圧の処理流体により処理を行う高圧処理装置において、係止用突起部211は前記処理空間20の外側にて下部材21に固定して設けられ、前記下部材21の周方向に沿って互いに間隔をおいて複数配置されると共に、各々横方向に突出してその下面が係止面212を形成し、押圧部材23は上部材22を下部材21側に押圧する。また被係止用突起部231は押圧部材23に前記複数の係止用突起部211に夫々対応して設けられ、各々横方向に突出してその上面が前記係止面212に係止される被係止面232を形成する。
【選択図】図2
Description
前記処理空間の外側にて前記下部材に固定して設けられ、前記下部材の周方向に沿って互いに間隔をおいてあるいは一列に互いに間隔をおいて複数配置されると共に、各々横方向に突出してその下面が係止面を形成する係止用突起部と、
前記上部材を下部材側に押圧するための押圧部材と、
この押圧部材に前記複数の係止用突起部に夫々対応して設けられ、各々横方向に突出してその上面が前記係止面に係止される被係止面を形成する被係止用突起部と、
前記上部材と下部材とを重ね合わせて、処理空間を閉じた状態とする閉鎖位置と、これら上部材及び下部材を上下方向に離間した開放位置と、の間で上部材及び下部材を相対的に昇降させる第1の駆動機構と、
前記上部材及び下部材が閉鎖位置にあるときに、前記押圧部材の被係止用突起部をその上方側から前記係止用突起部間の間隙を介して係止用突起部の下方空間に臨むように位置させ、次いで被係止用突起部を係止用突起部の下方空間に進入させて、押圧部材が上部材を押圧した状態で前記被係止面が前記係止面に係止されるように、前記押圧部材と下部材とを相対的に移動させる第2の駆動機構と、を備えたことを特徴とする。
(a)前押圧部材の被係止面が各係止用突起部の係止面に係止された状態を維持するため、間隔をおいて隣り合う係止用突起部同士の隙間に上下方向に挿入されて、前記被係止面が係止面に係止される状態とは反対の方向への前記押圧部材と下部材との相対的な移動を規制する規制部材を備えたこと。
(b)前記係止用突起部の係止面の高さ位置は、前記被係止用突起部の被係止面がこの係止面に係止されるために近づいてくる方向に向けて徐々に高くなっており、また前記被係止面の高さ位置は、当該係止面に近づいていく方向に向けて徐々に低くなっていること。
(c)前記第1の駆動機構により昇降する昇降部材と、この昇降部材と上部材との間に介在すると共に上部材及び下部材が閉鎖位置にあるときには縮退された状態となって上部材を下部材に押し付けるように付勢される付勢手段と、を備えたこと。
(e)前記高圧の処理流体は、超臨界状態の処理流体であること。
前記押圧部材は、上部材を下部材側に押圧する代わりに下部材を上部材側に押圧するように構成され、
係止用突起部及び被係止用突起部の各々の位置関係は、上述の各高圧処理装置と上下が逆になっていること。
1 超臨界処理装置
20 処理空間
21 下部チャンバー
211 係止用突起部
212 係止面
22 内部チャンバー
223 押しバネ
23 上部チャンバー
231 被係止用突起部
232 被係止面
24 ロックプレート
241 ロック部材
41 天板部材
6 制御部
61 給電部
62 圧力検知部
Claims (7)
- 上部材と下部材とを重ね合わせることにより形成される処理空間内にて、基板に対して高圧の処理流体により処理を行う高圧処理装置において、
前記処理空間の外側にて前記下部材に固定して設けられ、前記下部材の周方向に沿って互いに間隔をおいてあるいは一列に互いに間隔をおいて複数配置されると共に、各々横方向に突出してその下面が係止面を形成する係止用突起部と、
前記上部材を下部材側に押圧するための押圧部材と、
この押圧部材に前記複数の係止用突起部に夫々対応して設けられ、各々横方向に突出してその上面が前記係止面に係止される被係止面を形成する被係止用突起部と、
前記上部材と下部材とを重ね合わせて、処理空間を閉じた状態とする閉鎖位置と、これら上部材及び下部材を上下方向に離間した開放位置と、の間で上部材及び下部材を相対的に昇降させる第1の駆動機構と、
前記上部材及び下部材が閉鎖位置にあるときに、前記押圧部材の被係止用突起部をその上方側から前記係止用突起部間の間隙を介して係止用突起部の下方空間に臨むように位置させ、次いで被係止用突起部を係止用突起部の下方空間に進入させて、押圧部材が上部材を押圧した状態で前記被係止面が前記係止面に係止されるように、前記押圧部材と下部材とを相対的に移動させる第2の駆動機構と、を備えたことを特徴とする高圧処理装置。 - 前押圧部材の被係止面が各係止用突起部の係止面に係止された状態を維持するため、間隔をおいて隣り合う係止用突起部同士の隙間に上下方向に挿入されて、前記被係止面が係止面に係止される状態とは反対の方向への前記押圧部材と下部材との相対的な移動を規制する規制部材を備えたことを特徴とする請求項1に記載の高圧処理装置。
- 前記係止用突起部の係止面の高さ位置は、前記被係止用突起部の被係止面がこの係止面に係止されるために近づいてくる方向に向けて徐々に高くなっており、また前記被係止面の高さ位置は、当該係止面に近づいていく方向に向けて徐々に低くなっていることを特徴とする請求項1または2に記載の高圧処理装置。
- 前記第1の駆動機構により昇降する昇降部材と、この昇降部材と上部材との間に介在すると共に上部材及び下部材が閉鎖位置にあるときには縮退された状態となって上部材を下部材に押し付けるように付勢される付勢手段と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の高圧処理装置。
- 前記押圧部材は、前記下部材と一体となって上部材全体を格納可能な容器形状に形成され、被係止用突起部の被係止面が係止用突起部の係止面にて係止された状態にて、これら下部材と上部材とが重ね合わされて前記処理空間を閉じた状態とする面の外周領域には、下部材と押圧部材とが密接する面が形成されることを特徴とする請求項1ないし4に記載の高圧処理装置。
- 前記高圧の処理流体は、超臨界状態の処理流体であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の高圧処理装置。
- 請求項1ないし6に記載の高圧処理装置において、
前記係止用突起部は、前記下部材に固定して設けられる代わりに前記上部材に固定して設けられ、
前記押圧部材は、上部材を下部材側に押圧する代わりに下部材を上部材側に押圧するように構成され、
係止用突起部及び被係止用突起部の各々の位置関係は、請求項1ないし6に記載の位置関係と上下が逆になっていることを特徴とする高圧処理装置。
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