JP2023036572A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一方、このとき、基板支持ピン810は、充填部材700を貫通して設けられる。
また、前記温度調節プレート1110は、面上互いに区分され、互いに独立して温度調節が可能な少なくとも2つの温度調節領域を含むことができる。
200 基板支持部
300 インナーリード部
400 処理空間圧力調節部
500 非処理空間圧力調節部
600 インナーリード駆動部
700 充填部材
800 基板支持ピン部
900 シール部
1000 マニホールド部
1100 温度調節部
Claims (20)
- 内部空間が形成され、底面の中心側に取り付け溝が形成されるプロセスチャンバと、
前記取り付け溝に内挿されるように設けられ、上面に基板が載置される基板支持部と、
前記内部空間に上下移動可能に設けられ、下降を通じて一部が前記取り付け溝に隣接した前記底面と密着して、前記内部空間を前記基板支持部が内部に位置する密閉された処理空間と、それ以外の非処理空間に分割するインナーリード部と、
前記プロセスチャンバの上部を貫通して設けられ、前記インナーリード部の上下移動を駆動するインナーリード駆動部と、
を含み、
前記インナーリード部は、
前記内部空間で上下移動するインナーリードと、前記インナーリードの内部に前記処理空間と連通され備えられるガス供給流路と、を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記インナーリード部の下部に配置され、前記ガス供給流路を介して伝達されるプロセスガスを前記処理空間に噴射するガス供給部をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給部は、
前記インナーリード部の下側に配置され、多数の噴射孔が備えられる噴射プレートを含むことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給部は、
前記噴射プレートの縁を支持し、前記インナーリード部の底面に結合する噴射プレート支持部を含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記噴射プレートは、
前記インナーリード部との間に前記プロセスガスが拡散する拡散空間を形成するように、前記インナーリード部の下側に離隔配置されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記インナーリードは、
底面に前記ガス供給部の少なくとも一部が挿入され設けられる挿入取り付け溝が形成されることを特徴とする請求項2に記載の請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給部は、
前記挿入取り付け溝に挿入され設けられた状態で、底面が前記インナーリードの底面と平面をなすことを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記インナーリードは、
底面中心側に前記ガス供給流路の終端と連結されるガス導入溝が形成されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記プロセスチャンバは、
前記インナーリード部と接触する下部面に外部から導入される前記プロセスガスを伝達するように備えられるガス導入流路を含み、
前記インナーリード部は、
下降を通じて前記底面と密着することにより、前記ガス導入流路と前記ガス供給流路とを連結して、前記ガス供給流路にプロセスガスが供給されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給流路は、
前記インナーリードの縁側の前記ガス導入流路に対応する位置に備えられ、前記ガス導入流路と連結される垂直供給流路と、前記垂直供給流路から前記インナーリードの中心側に備えられる水平供給流路を含むことを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記処理空間と連通し、前記処理空間に対する圧力を調節する処理空間圧力調節部と、
前記非処理空間と連通し、前記処理空間と独立して前記非処理空間に対する圧力を調節する非処理空間圧力調節部と、
前記処理空間圧力調節部及び前記非処理空間圧力調節部を介した前記処理空間及び前記非処理空間に対する圧力調節を制御する制御部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記処理空間圧力調節部は、
前記処理空間にプロセスガスを供給するガス供給部と、前記処理空間に対する排気を行うガス排気部と、を含み、
前記非処理空間圧力調節部は、
前記プロセスチャンバの一側面に形成されるガス排気ポートに連結され、前記非処理空間に対する排気を行う非処理空間ガス排気部と、前記プロセスチャンバの他側面に形成されるガス供給ポートに連結され、前記非処理空間に充填ガスを供給する非処理空間ガス供給部と、を含むことを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記インナーリード部の上昇前に、前記処理空間と前記非処理空間の圧力が互いに等しくなるように、前記処理空間圧力調節部及び前記非処理空間圧力調節部の少なくとも一つを制御することを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記処理空間圧力調節部を介して基板処理のために前記基板が載置される前記処理空間の圧力を常圧より高い第1圧力と常圧より低い第2圧力との間で変圧することを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記インナーリード部に設けられ、前記処理空間に位置する前記基板に対する温度を調節する温度調節部を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板支持部は、
上面に前記基板が載置される基板支持プレートと、前記取り付け溝の底を貫通して前記基板支持プレートと連結される基板支持ポストと、前記基板支持プレート内部に設けられる内部ヒータと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記温度調節部は、
前記インナーリード部に設けられ、前記基板を加熱又は冷却する温度調節プレートと、前記トップリードを貫通して前記温度調節プレートに結合するロッド部と、を含むことを特徴とする請求項15に記載の基板処理装置。 - 前記温度調節部は、
前記インナーリードの下側で前記貫通口を特徴とする請求項17に記載の基板処理装置。 - 前記温度調節プレートは、
平面上互いに区分され、互いに独立して温度調節が可能な少なくとも2つの温度調節領域を含むことを特徴とする請求項17に記載の基板処理装置。 - 前記温度調節部の加熱又は冷却を制御する温度制御部をさらに含み、
前記温度制御部は、
前記処理空間の変圧過程の間、前記基板又は前記処理空間の温度を一定に維持するように前記温度調節部を制御することを特徴とする請求項15に記載の基板処理装置。
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