JP2011007648A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン形成前の基板検査において、設計データ303を利用して、検出された欠陥504がウェハ上の場所を示した検査マップ上のどの位置にあるを考慮して不良率506を計算する。また、不良率506に応じてパターンの位置を変更する情報を出力する。これにより、基板に欠陥があってもパターンに影響を与えなければ廃棄することなく、基板コストの削減を図ることができる。また、欠陥の位置を設計データ上で変更させることにより、不良率を下げて歩留まりの向上を図ることができる。
【選択図】図6
Description
本発明の第1の実施形態の基板検査装置は、パターン未形成のウェハに対し、設計データなどを利用して不良率を計算する場合に、ウェハの検査結果と設計データを直接重ね合わせる手法を利用した装置である。
一般例として、半径150mmのウェハにて、100μmの幅のスクライブを考えると、ウェハ面積の約2%がスクライブということになる。そのため、従来はこの2%分も含めて欠陥の個数を検討していたが、この約2%分は無視してよい。つまり、従来に比べて、1−(スクライブの面積/ウェハの面積)の欠陥の割合分を考慮すればよい。
本発明の第2の実施形態の基板検査装置は、実際に製造するプロセスを考慮する方法として、ウェハの検査結果と設計データとを直接重ね合わせるのみならず、基板の製造工程を考慮して、不良率を計算する手法を利用した装置である。
本発明の第3の実施形態の基板検査装置は、パターン未形成のウェハに対し、設計データを利用して不良率を計算した上で、パターンをずらすための情報を出力する装置である。つまり、パターン未形成の基板に対して、不良率を計算する際に、設計データを利用することで、欠陥の場所を考慮しつつ、その基板の不良率を計算し、不良率を元に、パターンの位置を変更する情報を出力する手法を利用した装置である。
101 ウェハ
110 試料検査台
111 試料ステージ(ステージ)
112 回転軸
113 回転駆動部
114 スライド駆動部
120 照明光源(照射部)
121 照明光(レーザ光)
130 散乱光検出部(検出部)
131a 検出器
131b 検出器
131c 検出器
131d 検出器
132a 増幅器
132b 増幅器
132c 増幅器
132d 増幅器
133a A/D変換器
133b A/D変換器
133c A/D変換器
133d A/D変換器
140 信号合成部
150 全体制御部(制御部)
160 ステージ制御部(制御部)
170 情報表示部
180 入力操作部
190 記憶部
195 通信部
200 条件作成画面
201 工程条件設定欄
202 感度条件設定欄
203 不良率設定欄
204 チェックボックス
205 設計データ選択ボタン
206 不良率判定設定ボタン
300 設計データ選択画面
301 設計データ一覧画面
302 設計データプレビュー画面
303 設計データ
304 設計データ名
305 範囲確認マップ
306 OKボタン
307 Cancelボタン
400 不良率判定設定画面
401 グレード
402 判定プルダウンメニュー
403 振分け先プルダウンメニュー
404 テキストボックス
405 OKボタン
406 Cancelボタン
500 結果画面
501 測定情報欄
502 検査マップ欄
503 不良率判定結果欄
504 検出された欠陥
505 検査マップ
506 不良率
507 判定結果
508 振分け先
509 設計データボタン
601 重ね合せマップ
701 ウェハ拡大マップ
702 検出欠陥
703 ウェハ縮小マップ
801 ウェハ
802 ウェハの一部
803 パターン
804 パターンが形成されない場所
901 クリーニング工程
902 パターン形成の第1の工程
903 パターン形成の第2の工程
904 パターン形成の第3の工程
905 検査工程
1001 ウェハ
1002 ウェハの一部
1003 製品
1004 製品
1005 製品
1006 スクライブ
1007 異物
1301 基板検査装置
1302 基板検査装置
1303 バス
1304 記憶装置(記憶部)
1305 サーバ(演算手段)
1401 基板検査装置
1402 基板検査装置
1403 インターネット
1404 サーバ
A 横の距離
B 縦の距離
Claims (9)
- 光を照射する照射部と、
パターン形成前の基板が置かれるとともに、この基板に前記照射部からの前記光が照射されるステージと、
前記基板からの光を検出する検出部と、
前記照射部、前記ステージおよび前記検出部を制御する制御部と、を備えた基板検査装置であって、
前記基板の設計データを保持する記憶部と、
前記設計データに対応した前記基板の不良率を、前記基板に形成すべきパターンと前記基板から検出された欠陥との位置を考慮して計算する演算手段と、を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記演算手段は、前記不良率を計算する際に、前記基板に形成すべきパターンの位置の近傍を計算することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1または2に記載の基板検査装置において、
前記基板は前記パターンが形成されない部分としてスクライブを有し、前記演算手段は前記スクライブを利用して前記基板に形成すべきパターンの位置を変更させることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項3に記載の基板検査装置において、
前記演算手段は、計算した前記不良率を考慮することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板検査装置において、
前記演算手段は、前記基板の中心を算出して、前記基板と前記設計データとの位置合わせを行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板検査装置において、
さらに前記不良率を表示する表示画面を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板検査装置において、
前記制御部および前記記憶部の全部または一部の処理に必要な情報を、ネットワークを介して送受信する通信部を有することを特徴とする基板検査装置。 - 光を用いてパターン形成前の基板の欠陥を検査する基板検査方法において、前記基板の設計データを用いて、この設計データに対応する前記基板の不良率を計算する際に、前記基板に形成すべきパターンの位置の近傍を計算することを特徴とする基板検査方法。
- 請求項8に記載の基板検査方法において、前記基板は前記パターンが形成されない部分としてスクライブを有し、前記スクライブを利用して前記基板に前記形成すべきパターンの位置を変更させることを特徴とする基板検査方法。
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JP2009151810A JP2011007648A (ja) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 基板検査装置および基板検査方法 |
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2009
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