JP2011002316A - 試料の重量計測方法、装置及びこれらを用いた六価クロムの分析方法、装置 - Google Patents
試料の重量計測方法、装置及びこれらを用いた六価クロムの分析方法、装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】分析試料に励起X線を照射し、励起X線の照射によって生ずる散乱X線の強度を検出し、検出された散乱X線強度に基づいて分析試料の重量を算出する。またこの重量で六価クロムの重量を除算することにより六価クロムの濃度を得る。
【選択図】図9
Description
まず、水晶振動子マイクロバランス法(QCM)は、安定性が悪く、正確な重量を得るのが難しい。
また、ウルトラミクロ天びんは、振動を受けにくい設置環境を用意する必要があり、設備コストが大きくなる。
さらに、塗装膜や化成処理皮膜中に含まれる六価クロムの定量分析に関する従来技術では、以下のような課題がある。すなわち、六価クロム濃度が、単位面積当たりの六価クロム量で得られるだけであることから、上述したRoHS(有害物質の使用制限)指令で規定されている重量濃度で得られないという問題があった。
まず、本実施の形態では、分析試料の微小重量を簡便に計測するため、試料保持材上の所望サイズ内に保持した試料に励起X線を照射し、試料から放出される散乱X線強度から試料の重量を計測する。そして、塗装膜や化成処理皮膜中に存在する六価クロムを公知の定量分析方法を用いて行い、得られた六価クロムの重量を試料の重量で除算して六価クロムの濃度を重量濃度として得る。これらの手順について概略すると以下のようになる。
(2)次に、クロムが検出された場合、試料から放出される散乱X線強度(レイリー散乱強度)から分析試料の重量を計測する。この場合、(1)(2)の順番はいずれでも良い。
Claims (6)
- 分析試料に励起X線を照射し、
前記励起X線の照射によって生ずる散乱X線の強度を検出し、
検出された散乱X線強度に基づいて前記分析試料の重量を算出する
重量計測方法。 - 前記分析試料は試料保持材の所定サイズ内に削り取られて保持される請求項1に記載の重量計測方法。
- 前記分析試料の重量の算出は、前記散乱X線強度としてのレイリー散乱強度が試料重量に依存することに基づいて算出されることを特徴とする請求項1に記載の重量計測方法。
- 分析試料に励起X線を照射する励起X線照射手段と、
前記励起X線照射手段による励起X線の照射によって生ずる散乱X線の強度を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された散乱X線強度に基づいて前記分析試料の重量を算出する算出手段と
を有する重量計測装置。 - 分析試料に励起X線を照射し、
前記励起X線の照射によって生ずる散乱X線の強度を検出するとともに、蛍光X線の強度を検出し、
検出された散乱X線強度に基づいて前記分析試料の重量を算出するとともに、検出された蛍光X線の強度に基づいて前記分析試料におけるクロムの有無を判定し、
前記クロムが存在すると判定した場合、化学分析法または表面分析法により、六価クロムの重量を得る定量分析を行い、
定量分析により得られた六価クロムの重量を算出された前記分析試料の重量で除算して六価クロムの前記分析試料における重量濃度を算出する
六価クロムの分析方法。 - 分析試料に励起X線を照射する励起X線照射手段と、
前記励起X線照射手段によって照射された励起X線によって生ずる散乱X線の強度を検出する散乱X線強度検出手段と、
前記励起X線照射手段によって照射された励起X線によって生ずる蛍光X線の強度を検出する蛍光X線強度検出手段と、
前記散乱X線強度検出手段により検出された散乱X線強度に基づいて前記分析試料の重量を算出する試料重量算出手段と、
前記蛍光X線強度検出手段により検出された蛍光X線の強度に基づいて前記分析試料におけるクロムの有無を判定する判定手段と、
前記判定手段によりクロムが存在すると判定された場合、化学分析法または表面分析法を用いて、六価クロムの重量を得る六価クロムの定量分析手段と、
前記定量分析手段による定量分析により得られた六価クロムの重量を、前記試料重量産出手段により算出された前記分析試料の重量で除算して六価クロムの前記分析試料における重量濃度を算出する重量濃度算出手段と
を有する六価クロムの分析装置。
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