JP2010530928A - 酸性銅電気めっき浴組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 前記改良された添加剤系は、(a)少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤;(b)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤;及び(c)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤とを含む。前記改良された電気めっき組成物は、プリント回路基板のスルーホールをめっきするのに使用可能である。
【選択図】なし
Description
a)少なくとも1種の可溶性銅塩、
b)酸、
c)ハロゲン化物イオン源、並びに
d)下記i)〜iii)を含む有機添加剤系:
i) 複素環式窒素化合物を含むレベリング剤、
ii) 少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、及び
iii)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤。
a)少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
b)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、及び
c)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤。
a)可溶性銅塩、並びに
b)下記i)〜iii)を含む添加剤系:
i) 少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
ii) 少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、及び
iii)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤。
a)少なくとも1種の可溶性銅塩、
b)酸、
c)ハロゲン化物イオン源、並びに、
d)下記i)〜iii)を含む有機添加剤系:
i) 複素環式窒素化合物を含むレベリング剤、
ii) 少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、及び
iii)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤。
a)少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
b)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、及び
c)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤。
i) 1種以上の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
ii) 1種以上の2価の硫黄含有有機化合物を含む光沢剤、及び
iii)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤。
下記表の記載に従い、めっき溶液を調製した。
下記表の記載に従い、めっき溶液を調製した。
Claims (34)
- a)少なくとも1種の可溶性銅塩、
b)酸、
c)ハロゲン化物イオン源、並びに
d)下記i)〜iii)を含む有機添加剤系、
i) 複素環式窒素化合物を含むレベリング剤、
ii) 少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、及び
iii)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、
を含むことを特徴とする電気めっき水溶液。 - 少なくとも1種の可溶性銅塩が、硫酸銅及び酸化銅からなる群から選択される請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 酸が、硫酸を含む請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- ハロゲン化物イオン源が、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩酸、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される塩化物イオン源を含む請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 複素環式窒素化合物が、水溶性金属含有染料である請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 水溶性金属含有染料が、テトラキス(ピリジニオメチル)銅(II)フタロシアニンクロリドである請求項5に記載の電気めっき水溶液。
- 少なくとも1種の高分子量ポリマーが、ポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノブチルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 少なくとも1種の高分子量ポリマーが、分子量が約5,000g/mol以下のポリマー、及び分子量が約970g/mol〜1,200g/molのポリマーからなる群から選択される少なくとも1つの材料を含む請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、有機スルホニウムスルホナート、有機スルホニウムカルボキシレート、及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項1に記載の電気めっき水溶液。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−ジメチルスルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−(ジフェニル)スルホニウム−1−ブタンスルホナート、エタンカルボン酸メチルブチルスルホニウム、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンカルボキシレート、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される請求項9に記載の電気めっき水溶液。
- 可溶性銅塩を含む銅電気めっき水溶液に用いられる添加剤系であって、前記添加剤系は、
a)少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
b)少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、及び
c)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤、
を含むことを特徴とする添加剤系。 - 複素環式窒素化合物が、水溶性金属含有染料である請求項11に記載の添加剤系。
- 水溶性金属含有染料が、テトラキス(ピリジニオメチル)銅(II)フタロシアニンクロリドである請求項12に記載の添加剤系。
- 少なくとも1種の高分子量ポリマーが、ポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノブチルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される請求項11に記載の添加剤系。
- 少なくとも1種の高分子量ポリマーが、分子量が約5,000g/mol以下のポリマー、及び分子量が約970g/mol〜1,200g/molのポリマーからなる群から選択される少なくとも1つの材料を含む請求項11に記載の添加剤系。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、有機スルホニウムスルホナート、有機スルホニウムカルボキシレート、及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項11に記載の添加剤系。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−ジメチルスルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−(ジフェニル)スルホニウム−1−ブタンスルホナート、エタンカルボン酸メチルブチルスルホニウム、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンカルボキシレート、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される請求項16に記載の添加剤系。
- 高温において銅を基板上に電着する方法であって、前記方法は、
銅を、めっき水溶液から前記基板上に電解堆積する工程を含み、
前記めっき水溶液が、
a)可溶性銅塩、並びに
b)下記i)〜iii)を含む添加剤系、
i) 少なくとも1種の高分子量ポリマーを含む抑制剤、
ii) 少なくとも1種の2価の硫黄化合物を含む光沢剤、及び
iii)複素環式窒素化合物を含むレベリング剤、
を含むことを特徴とする方法。 - 基板が、不規則な形状を有する請求項18に記載の方法。
- 基板が、スルーホールを有するプリント回路基板である請求項19に記載の方法。
- スルーホールのアスペクト比が約8:1以下である請求項20に記載の方法。
- 銅が、約5ASF〜約50ASFの陰極電流密度において堆積される請求項18に記載の方法。
- 酸性銅めっき浴の温度が約27℃〜約40℃である請求項18に記載の方法。
- めっき組成物が、硫酸を含む請求項18に記載の方法。
- めっき溶液が、ハロゲン化物イオン源を含む請求項18に記載の方法。
- ハロゲン化物イオン源が、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩酸、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される塩化物イオン源を含む請求項25に記載の方法。
- 複素環式窒素化合物が、水溶性金属含有染料である請求項18に記載の方法。
- 水溶性金属含有染料が、テトラキス(ピリジニオメチル)銅(II)フタロシアニンクロリドである請求項27に記載の方法。
- 少なくとも1種の高分子量ポリマーが、分子量が約5,000g/mol以下のポリマー、及び分子量が約970g/mol〜1,200g/molのポリマーからなる群から選択される少なくとも1つの材料を含む請求項18に記載の方法。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、有機スルホニウムスルホナート、有機スルホニウムカルボキシレート、及びこれらの組合せからなる群から選択される請求項18に記載の方法。
- 少なくとも1種の2価の硫黄化合物が、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−ジメチルスルホニウム−1−プロパンスルホナート、2−(ジフェニル)スルホニウム−1−ブタンスルホナート、エタンカルボン酸メチルブチルスルホニウム、ビス(ジメチルチオカルバミル)スルホニウム−1−プロパンカルボキシレート、及びこれらの1つ以上の組合せからなる群から選択される請求項30に記載の方法。
- 電気めっき溶液における抑制剤の濃度が、約0.01g/L〜約8.0g/Lである請求項18に記載の方法。
- 電気めっき溶液における光沢剤の濃度が、約0.01ppm〜約100ppmである請求項18に記載の方法。
- 電気めっき溶液におけるレベリング剤の濃度が、約0.001ppm〜約10ppmである請求項18に記載の方法。
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