JP2010514568A5 - - Google Patents

Description

センサユニットが少なくとも１つの、有利には複数のフォトダイオードを含んでいるのは特に有利である。ここで少なくとも１つのフォトダイオードは、有利にはＩＲビームスペクトル用に設計されている。ここでレーザービーム焦点のアライメントはここで有利には、リング状の、反射されたレーザービームが均一の強度を有するように行われる。有利にはセンサユニットは、複数のフォトダイオードから構成される。従って未加工品ないしはレーザービーム焦点の位置偏差は、フォトダイオードの個別信号（フォト電流）から求められる。有利には、４分割フォトダイオード（Vier-Quadranten-Photodiode）が設けられる。ここでは簡単な評価を介して、誤った位置付けが推測される。レーザ焦点ないしは未加工品が誤って位置付けされた場合には、実際の強度分布は、最適な均一の強度分布とは異なる。これによって種々異なるフォトダイオードが種々異なる大きさのフォト電流を出力する。同時に、伸張も拡大する。すなわち、未加工品によって反射されたレーザービームの結像の半径方向の延在が焦点ぼけによって拡大する。同じように、センサユニットとしてデジタルカメラ（例えばＣＣＤ、ＣＭＯｓ等）を設けることが可能である。ここでは、デジタルカメラのフォトダイオードはＩＲビーム領域または可視ビーム領域において作動するように構成される。有利には結像の評価は適切な画像処理ソフトウェアによって、結像の輝度分布に基づいておよび／または結像の鮮明さまたはレーザービームリングの半径方向の延在に基づいて行われる。

未加工品１２、２５によって反射されたレーザービームを、センサユニット２４上に結像するための手段２９は、レーザービーム路２７内に配置されたビーム分割器１９を含んでいる。このビーム分割器１９によって、未加工品１２、２５によって反射されたレーザービームが、レーザービーム路２７から取り出される。ここでこのビームは、円錐ミラー１５上で反射して戻され、そこで、焦点合わせ装置１４およびアキシコン９を観察ビーム路２０として通って戻る。観察ビーム路２０内にはアキシコン２１が配置されている。これによってリング状のレーザービームが生成される。これはミラー２２で９０°だけ偏向されて、焦点合わせレンズ２３によって、センサユニット２４上に焦点合わせされる。すなわち図示の実施例では、４分割フォトダイオードとして構成されているセンサユニット２４上には、継ぎ目ゾーン１７におけるレーザ光斑点の結像が投影される。例えば、回転対称の未加工品１２，２５の対称軸が光軸６と一致しない場合には、結果として均一ではない強度分布が継ぎ目ゾーン１７において生じ、これによって、ＩＲフォトダイオードとして構成されている、センサユニット２４のフォトダイオードは種々異なる強度を測定し、これによって種々異なる大きさのフォト電流を生成する。相応する信号のフォト電流はデータケーブル３０を介して、アライメント装置２８へ伝達される。アライメント装置はこの測定データに基づいて、未加工品１２、２５を次のように位置付ける（矢印方向Ｇ）。すなわち、強度分布が、未加工品１２、２５の周囲で少なくとも近似的に均一であるように位置付ける。すなわちこの場合には、未加工品１２、２５の対称軸は光軸６と一致する。付加的にまたは択一的に、アライメント装置２８は、レーザービーム路２７内の光学的構成部材に位置調整作用する。殊に、センサユニット２４としてデジタルカメラが使用される場合には、アライメント装置２８ないし図示されていない、アライメント装置２８の評価ユニットは、画像データを、結像の鮮明さ、半径方向における結像の延在、輝度分布等に関して評価する。このアライメントは有利にはアライメント装置２８によって常に次のように行われる。すなわち、均一な、および／または所望の強度分布が未加工品１２、２５上で得られるように行われる。

Claims (1)

1. 前記センサユニット（２４）は４分割フォトダイオードとしてまたはデジタルカメラとして構成されている、請求項１から４までのいずれか１項記載のレーザービーム処理装置。