JP2019215262A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために成された本発明に係る分光測定装置は、
a) 測定対象物の測定点から発せられた光を一つの平行光束に統合する統合光学系と、
b) 受光面を有し、該受光面上の光の強度分布を検出する検出器と、
c) 前記統合光学系で統合された平行光束を第１光束と第２光束に分割し、該第１光束と該第２光束を、それらの間に光路長差を付与しつつ前記受光面に向けて出射し、前記受光面における前記第１光束の入射領域の少なくとも一部と前記第２光束の入射領域の少なくとも一部が重複するように、前記第１光束及び前記第２光束を前記受光面に面状に入射させる位相シフタと、
d) 前記受光面における前記第１光束の入射領域と前記第２光束の入射領域が重複する領域の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えることを特徴とする。
a) 測定対象物の測定点から発せられた光を一つの平行光束に統合する統合光学系と、
b) 受光面を有し、該受光面上の光の強度分布を検出する検出器と、
c) 前記統合光学系で統合された平行光束を第１光束と第２光束に分割し、該第１光束と該第２光束を、それらの間に光路長差を付与しつつ前記受光面に向けて出射し、前記受光面における前記第１光束の入射領域の少なくとも一部と前記第２光束の入射領域の少なくとも一部が重複するように、前記第１光束及び前記第２光束を前記受光面に面状に入射させる位相シフタと、
d) 前記受光面における前記第１光束の入射領域と前記第２光束の入射領域が重複する領域の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えることを特徴とする。
上記分光測定装置においては、前記位相シフタが、前記平行光束が斜め方向から入射するように並んで配置された平面状の第１反射面及び平面状の第２反射面を有しており、
前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角、及び前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角が、いずれも異なるように、前記第１反射面と前記第２反射面が構成されていることが好ましい。
前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角、及び前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角が、いずれも異なるように、前記第１反射面と前記第２反射面が構成されていることが好ましい。
＜実験２＞
この実験では、図８に示すように、光源から発せられた光を集光レンズ、ピンホールに順に通過させ、対物レンズによって一つの平行光束に統合して位相シフタに導入した後、その反射光（基準反射光及び傾斜反射光）をカメラに入射させた。実験に用いた光源、集光レンズ、ピンホール、対物レンズ、カメラは以下の通りである。
光源：フィラメント式中赤外白色光源（Kanthal Filament IR Source, 型式：EK8620、HELIOWORKS社製）
集光レンズ：焦点距離ｆ＝１００ｍｍ
ピンホール：直径１ｍｍ
対物レンズ：焦点距離ｆ＝２５ｍｍ
カメラ：320×240画素赤外線カメラモジュールC200V（日本アビオニクス株式会社）
この実験では、図８に示すように、光源から発せられた光を集光レンズ、ピンホールに順に通過させ、対物レンズによって一つの平行光束に統合して位相シフタに導入した後、その反射光（基準反射光及び傾斜反射光）をカメラに入射させた。実験に用いた光源、集光レンズ、ピンホール、対物レンズ、カメラは以下の通りである。
光源：フィラメント式中赤外白色光源（Kanthal Filament IR Source, 型式：EK8620、HELIOWORKS社製）
集光レンズ：焦点距離ｆ＝１００ｍｍ
ピンホール：直径１ｍｍ
対物レンズ：焦点距離ｆ＝２５ｍｍ
カメラ：320×240画素赤外線カメラモジュールC200V（日本アビオニクス株式会社）
図１２及び図１４の比較から分かるように、どちらの分光特性も同じ波長範囲にピークが現れたものの、複数のライン上の画素の出力値を足し合わせる処理によって、足し合わせる前は62nmであったピークの半値幅が29nmになった。このことから、合算処理によって、高い波長分解能が実現できることが実証された。
Claims (5)
- a) 測定対象物の測定点から発せられた光を一つの平行光束に統合する統合光学系と、
b) 受光面を有し、該受光面上の光の強度分布を検出する検出器と、
c) 前記統合光学系で統合された平行光束を第１光束と第２光束に分割し、該第１光束と該第２光束を、それらの間に光路長差を付与しつつ前記受光面に向けて出射し、前記受光面における前記第１光束の入射領域の少なくとも一部と前記第２光束の入射領域の少なくとも一部が重複するように、前記第１光束及び前記第２光束を前記受光面に面状に入射させる位相シフタと、
d) 前記受光面における前記第１光束の入射領域と前記第２光束の入射領域が重複する領域の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項１に記載の分光測定装置において、
前記位相シフタが、前記平行光束が斜め方向から入射するように並んで配置された平面状の第１反射面及び平面状の第２反射面を有しており、
前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角、及び前記第１反射面に対する前記平行光束の入射角と前記第２反射面に対する前記平行光束の入射角が、いずれも異なるように、前記第１反射面と前記第２反射面が構成されていることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項１に記載の分光測定装置において、
前記位相シフタが、平面状の光導入面と平面状の光導出面を有し該光導入面と該光導出面が互いに平行な第１透過部と、平面状の光導入面と平面状の光導出面を有し該光導入面に対して該光導出面が傾いている第２透過部とを備えており、前記第１透過部の光導入面と前記第２透過部の光導入面が同一面上に位置するように構成されていることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項１〜３のいずれに記載の分光測定装置において、
前記検出器が二次元エリアセンサから成り、
前記処理部が、前記二次元エリアセンサの或るラインで検出される光の強度分布と、別のラインで検出される光の強度分布を光路長差を揃えて足し合わせることにより光の強度分布を合算し、合算された光の強度分布に基づきインターフェログラムを求めることを特徴とする分光測定装置。 - a) 測定対象物の測定点から発せられた光を統合光学系によって一つの平行光束に統合し、
b) 位相シフタによって、前記統合光学系から出射された平行光束を第１光束と第２光束に分割し、該第１光束と該第２光束を、それらの間に光路長差を付与しつつ検出器の受光面に向けて出射し、前記受光面における前記第１光束の入射領域の少なくとも一部と前記第２光束の入射領域の少なくとも一部が重複するように、前記第１光束及び前記第２光束を前記受光面に面状に入射させ、
c) 前記受光面における前記第１光束の入射領域と前記第２光束の入射領域の重複領域の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得することを特徴とする分光測定方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018112764A JP7182243B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
| US17/121,100 US11402270B2 (en) | 2018-06-13 | 2019-06-13 | Spectral measurement device and spectral measurement method |
| EP19820128.7A EP3809103A4 (en) | 2018-06-13 | 2019-06-13 | SPECTROMETER AND SPECTROSCOPIC METHOD |
| PCT/JP2019/023519 WO2019240227A1 (ja) | 2018-06-13 | 2019-06-13 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018112764A JP7182243B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019215262A JP2019215262A (ja) | 2019-12-19 |
| JP2019215262A5 true JP2019215262A5 (ja) | 2021-05-27 |
| JP7182243B2 JP7182243B2 (ja) | 2022-12-02 |
Family
ID=68918593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018112764A Active JP7182243B2 (ja) | 2018-06-13 | 2018-06-13 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP7182243B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2023225430A1 (en) * | 2022-02-28 | 2024-02-29 | Tsubasa Saito | Spectroscopic analysis device and interference light formation mechanism |
| JP7240773B1 (ja) | 2022-02-28 | 2023-03-16 | 翼 西藤 | 分光分析装置および干渉光形成機構 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5317298B2 (ja) | 2010-09-08 | 2013-10-16 | 国立大学法人 香川大学 | 分光計測装置及び分光計測方法 |
| JP5648961B2 (ja) | 2011-02-28 | 2015-01-07 | 国立大学法人 香川大学 | 分光特性測定装置及びその校正方法 |
| KR101590241B1 (ko) | 2011-02-28 | 2016-01-29 | 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠 | 광학특성 측정장치 및 광학특성 측정방법 |
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2018
- 2018-06-13 JP JP2018112764A patent/JP7182243B2/ja active Active
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